單晶爐的機械結構與維修研討-全文預覽
【正文】 新插上。、裝回剛性聯軸器和卡環(huán)，確定聯軸器上的十字塊仍在正確位置。、裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。的裝入。2將對中針從提升腔下面晶轉磁流體孔放入，檢查鋼纜、將對中針從提升腔下面晶轉磁流體孔放入，檢查鋼纜螺紋與磁流體孔中心的位置，保證磁流體孔中心與所對螺紋與磁流體孔中心的位置，保證磁流體孔中心與所對應螺紋的中心的偏差不大于應螺紋的中心的偏差不大于 。2裝回提升腔左端蓋的蓋板，擰緊固定螺釘。裝回花鍵軸左端的滾動軸承。1將右端蓋裝回提升腔，上緊固定螺釘。1拆下把銅螺母固定到蓋端上的、拆下把銅螺母固定到蓋端上的 4顆螺釘，取下銅螺顆螺釘，取下銅螺母。9 松開壓力滾子組件固定到提升腔上的 4顆螺釘，拆下 壓力滾子組件。拆裝鋼絲繩時纜索管位置晶體提升腔拆裝及調整 取出壓力輥子組件 右端蓋 左端蓋取出右端蓋 花鍵軸、纜索管取出晶轉磁流體10 拆下提升腔右端蓋的 4顆螺釘。把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞、把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞提升腔的內孔以及晶轉磁流體密封的提升腔的內孔以及晶轉磁流體密封的 O型圈型圈和軸。拆下把提升腔固定到晶升底板上的兩個螺、拆下把提升腔固定到晶升底板上的兩個螺釘。小心不要把聯軸器上的十字塊跌落。將纜索管下降到如左圖所示位置之后，取下、將纜索管下降到如左圖所示位置之后，取下鋼絲繩。 工藝過程加熱器籽晶CCD坩堝提升旋轉機構坩堝? 抽真空? 檢漏? 調壓? 熔料? 穩(wěn)定? 熔接? 引晶? 放肩? 轉肩? 等徑? 收尾? 停爐? 氧化籽晶提升旋轉機構單晶棒液面測溫儀熱場測溫儀氬氣流量熔 料引 晶放 肩等 晶收 尾TDR85AZJS全自動 晶體生長爐整體結構尺寸爐體電控柜電源柜總重整體結構尺寸接口尺寸? 籽晶提升機構經過靜平衡和動平衡測試? 帶稱重傳感器? 快慢速雙電機? 外置限位調節(jié)? 觀測玻璃窗? 光電編碼計行程晶體提升機構晶體提升機構晶體提升機構結構（主視）晶體提升機構結構（俯視）晶體提升腔拆裝及調整拔下稱重傳感器腔上的航空插頭。 將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內進行 高溫熔化（大于 1450℃ ） ，在 低真空度 和 氬氣保護 下，通過籽晶插入多晶硅熔體后，在籽晶周圍形成過冷態(tài)并進行有規(guī)律結晶生長，形成一根單晶棒體。、從鋼絲繩上取
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