單晶爐的機械結(jié)構(gòu)與維修研討-全文預(yù)覽
【正文】 新插上。、裝回剛性聯(lián)軸器和卡環(huán)，確定聯(lián)軸器上的十字塊仍在正確位置。、裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。的裝入。2將對中針從提升腔下面晶轉(zhuǎn)磁流體孔放入，檢查鋼纜、將對中針從提升腔下面晶轉(zhuǎn)磁流體孔放入，檢查鋼纜螺紋與磁流體孔中心的位置，保證磁流體孔中心與所對螺紋與磁流體孔中心的位置，保證磁流體孔中心與所對應(yīng)螺紋的中心的偏差不大于應(yīng)螺紋的中心的偏差不大于 。2裝回提升腔左端蓋的蓋板，擰緊固定螺釘。裝回花鍵軸左端的滾動軸承。1將右端蓋裝回提升腔，上緊固定螺釘。1拆下把銅螺母固定到蓋端上的、拆下把銅螺母固定到蓋端上的 4顆螺釘，取下銅螺顆螺釘，取下銅螺母。9 松開壓力滾子組件固定到提升腔上的 4顆螺釘，拆下 壓力滾子組件。拆裝鋼絲繩時纜索管位置晶體提升腔拆裝及調(diào)整 取出壓力輥子組件 右端蓋 左端蓋取出右端蓋 花鍵軸、纜索管取出晶轉(zhuǎn)磁流體10 拆下提升腔右端蓋的 4顆螺釘。把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞、把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封的提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封的 O型圈型圈和軸。拆下把提升腔固定到晶升底板上的兩個螺、拆下把提升腔固定到晶升底板上的兩個螺釘。小心不要把聯(lián)軸器上的十字塊跌落。將纜索管下降到如左圖所示位置之后，取下、將纜索管下降到如左圖所示位置之后，取下鋼絲繩。 工藝過程加熱器籽晶CCD坩堝提升旋轉(zhuǎn)機構(gòu)坩堝? 抽真空? 檢漏? 調(diào)壓? 熔料? 穩(wěn)定? 熔接? 引晶? 放肩? 轉(zhuǎn)肩? 等徑? 收尾? 停爐? 氧化籽晶提升旋轉(zhuǎn)機構(gòu)單晶棒液面測溫儀熱場測溫儀氬氣流量熔 料引 晶放 肩等 晶收 尾TDR85AZJS全自動 晶體生長爐整體結(jié)構(gòu)尺寸爐體電控柜電源柜總重整體結(jié)構(gòu)尺寸接口尺寸? 籽晶提升機構(gòu)經(jīng)過靜平衡和動平衡測試? 帶稱重傳感器? 快慢速雙電機? 外置限位調(diào)節(jié)? 觀測玻璃窗? 光電編碼計行程晶體提升機構(gòu)晶體提升機構(gòu)晶體提升機構(gòu)結(jié)構(gòu)（主視）晶體提升機構(gòu)結(jié)構(gòu)（俯視）晶體提升腔拆裝及調(diào)整拔下稱重傳感器腔上的航空插頭。 將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進行 高溫熔化（大于 1450℃ ） ，在 低真空度 和 氬氣保護 下，通過籽晶插入多晶硅熔體后，在籽晶周圍形成過冷態(tài)并進行有規(guī)律結(jié)晶生長，形成一根單晶棒體。、從鋼絲繩上取
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