單晶爐的機械結(jié)構(gòu)與維修研討(專業(yè)版)
【正文】 確認 O型圈已經(jīng)裝好，把翻板閥關(guān)閉。1在坩堝軸和磁流體內(nèi)的、在坩堝軸和磁流體內(nèi)的 O型圈上涂上少許的真空脂，型圈上涂上少許的真空脂，將坩堝軸從爐底板的上部滑入坩堝旋轉(zhuǎn)磁流體密封。松開坩堝軸上的固定冷卻管的、松開坩堝軸上的固定冷卻管的 3只緊定螺釘，向下取只緊定螺釘，向下取出旋轉(zhuǎn)接頭和冷卻管。調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對中針正、調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對中針正對對中靶中心。3將稱重傳感器腔的航空插頭重新插上。顆螺釘。一起從提升腔內(nèi)抽出。顆固定螺釘，卸下同步帶。 工藝過程加熱器籽晶CCD坩堝提升旋轉(zhuǎn)機構(gòu)坩堝? 抽真空? 檢漏? 調(diào)壓? 熔料? 穩(wěn)定? 熔接? 引晶? 放肩? 轉(zhuǎn)肩? 等徑? 收尾? 停爐? 氧化籽晶提升旋轉(zhuǎn)機構(gòu)單晶棒液面測溫儀熱場測溫儀氬氣流量熔 料引 晶放 肩等 晶收 尾TDR85AZJS全自動 晶體生長爐整體結(jié)構(gòu)尺寸爐體電控柜電源柜總重整體結(jié)構(gòu)尺寸接口尺寸? 籽晶提升機構(gòu)經(jīng)過靜平衡和動平衡測試? 帶稱重傳感器? 快慢速雙電機? 外置限位調(diào)節(jié)? 觀測玻璃窗? 光電編碼計行程晶體提升機構(gòu)晶體提升機構(gòu)晶體提升機構(gòu)結(jié)構(gòu)（主視）晶體提升機構(gòu)結(jié)構(gòu)（俯視）晶體提升腔拆裝及調(diào)整拔下稱重傳感器腔上的航空插頭。把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞、把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封的提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封的 O型圈型圈和軸。1將右端蓋裝回提升腔，上緊固定螺釘。的裝入。、安裝對中針在籽晶夾頭的一端。、拆下對中靶和對中針。、從坩堝軸磁流體密封的底部取下夾緊圈和旋轉(zhuǎn)帶輪。、在坩堝旋轉(zhuǎn)磁流體密封底部重新裝上夾緊圈。充入氬氣，做一次隔離實驗以確保翻板閥調(diào)整后密封良好。、在坩堝軸組件上重新裝上旋轉(zhuǎn)接頭夾緊圈并緊固。、從提升架上提起磁流體密封。扎起。靶。、裝回鋼絲繩，并重新檢查限位開關(guān)的設(shè)置。2將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封作為、將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封作為一個整體從提升腔右側(cè)送入，逆時針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜一個整體從提升腔右側(cè)送入，逆時針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管擰入銅螺母，將右端蓋完全壓入提升腔，上緊索管擰入銅螺母，將右端蓋完全壓入提升腔，上緊 4顆顆固定螺釘。12 用小拉馬取下花鍵軸左端的滾動軸承。松開第二級蝸輪蝸桿減速箱輸出軸上卡環(huán)的
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