單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu)與維修研討(編輯修改稿)
2025-01-19 07:09 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 向下放到底板上，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn) 磁流體密封的磁流體密封的 O型圈和軸。在型圈和軸。在 O型圈上抹少量的真空脂將有助于提升腔型圈上抹少量的真空脂將有助于提升腔的裝入。的裝入。2裝回把提升腔固定到底板上的兩顆螺釘。、裝回把提升腔固定到底板上的兩顆螺釘。2裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。、裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。2裝回鋼絲繩，并重新檢查限位開關(guān)的設(shè)置。、裝回鋼絲繩，并重新檢查限位開關(guān)的設(shè)置。2裝回剛性聯(lián)軸器和卡環(huán)，確定聯(lián)軸器上的十字塊仍在正確位置。、裝回剛性聯(lián)軸器和卡環(huán)，確定聯(lián)軸器上的十字塊仍在正確位置。在鋼絲繩上裝上籽晶夾頭。、在鋼絲繩上裝上籽晶夾頭。3將稱重傳感器腔的航空插頭重新插上。、將稱重傳感器腔的航空插頭重新插上。籽晶鋼纜的對(duì)中安放對(duì)中靶在坩堝軸的托盤上，保證其、安放對(duì)中靶在坩堝軸的托盤上，保證其位于托盤正中。位于托盤正中。安裝對(duì)中針在籽晶夾頭的一端。、安裝對(duì)中針在籽晶夾頭的一端。定位坩堝使對(duì)中靶在要求的熔體水平位、定位坩堝使對(duì)中靶在要求的熔體水平位置。置。抽空單晶爐且維持在、抽空單晶爐且維持在 20Torr靜態(tài)壓力。靜態(tài)壓力。降下籽晶夾頭，使對(duì)中針幾乎觸及對(duì)中、降下籽晶夾頭，使對(duì)中針幾乎觸及對(duì)中靶。靶。從另一個(gè)觀察窗觀察對(duì)中針是否正對(duì)對(duì)、從另一個(gè)觀察窗觀察對(duì)中針是否正對(duì)對(duì)中靶中心。中靶中心。如對(duì)中針沒有正對(duì)對(duì)中靶中心，則松開、如對(duì)中針沒有正對(duì)對(duì)中靶中心，則松開固定籽晶提升裝置的三個(gè)壓緊塊。固定籽晶提升裝置的三個(gè)壓緊塊。調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對(duì)中針正、調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對(duì)中針正對(duì)對(duì)中靶中心。對(duì)對(duì)中靶中心。上緊三個(gè)壓緊塊，觀察對(duì)中針是否有偏、上緊三個(gè)壓緊塊，觀察對(duì)中針是否有偏差。差。拆下對(duì)中靶和對(duì)中針。、拆下對(duì)中靶和對(duì)中針。晶升離合器的調(diào)整使用 合器，當(dāng)離合器通電時(shí)，固定離合器右側(cè)的定位螺釘。離合器斷電，取出塞尺，重新通電，檢查是否吸合。離合器斷電，用 塞尺檢查間隙是否有變化。反復(fù)測試幾次，至離合器吸合、分離正常。晶體提升機(jī)構(gòu)維護(hù)周期表設(shè)備 名稱 維 修周期 步 驟籽晶 鋼纜 每次運(yùn)行 檢查 磨 損 、 損 壞情況籽晶提升滑 輪 及卷 絲輪 每個(gè)月 清 潔 并 檢查對(duì) 中性晶 轉(zhuǎn) 和晶升皮 帶 3個(gè)月 檢查 磨 損 /對(duì) 中和 張 力晶轉(zhuǎn)、晶升電機(jī)噪聲、刷磨損 3個(gè)月 檢查碳刷長度聯(lián)軸 器 緊 定螺 釘 3個(gè)月 檢查緊 固性晶升離合器 組 件的 調(diào) 整 3個(gè)月 檢查 離合器 間
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