單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)(編輯修改稿)
2025-01-19 07:09 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 流體孔中心與所對(duì)應(yīng)螺紋的中心的偏差不大于 。 左端蓋及銅螺母 對(duì)中針 纜索管的對(duì)中 晶體提升腔拆裝及調(diào)整 2提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn) 磁流體密封的 O型圈和軸。在 O型圈上抹少量的真空脂將有助于提升腔的裝入。 2裝回把提升腔固定到底板上的兩顆螺釘。 2裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。 2裝回鋼絲繩，并重新檢查限位開關(guān)的設(shè)置。 2裝回剛性聯(lián)軸器和卡環(huán)，確定聯(lián)軸器上的十字塊仍在正確位置。 在鋼絲繩上裝上籽晶夾頭。 3將稱重傳感器腔的航空插頭重新插上。 籽晶鋼纜的對(duì)中 安放對(duì)中靶在坩堝軸的托盤上，保證其位于托盤正中。 安裝對(duì)中針在籽晶夾頭的一端。 定位坩堝使對(duì)中靶在要求的熔體水平位置。 抽空單晶爐且維持在 20Torr靜態(tài)壓力。 降下籽晶夾頭，使對(duì)中針幾乎觸及對(duì)中靶。 從另一個(gè)觀察窗觀察對(duì)中針是否正對(duì)對(duì)中靶中心。 如對(duì)中針沒有正對(duì)對(duì)中靶中心，則松開固定籽晶提升裝置的三個(gè)壓緊塊。 調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對(duì)中針正對(duì)對(duì)中靶中心。 上緊三個(gè)壓緊塊，觀察對(duì)中針是否有偏差。 拆下對(duì)中靶和對(duì)中針。 晶升離合器的調(diào)整 使用 合器，當(dāng)離合器通電時(shí)，固定離合器右側(cè)的定位螺釘。 離合器斷電，取出塞尺，重新通電，檢查是否吸合。 離合器斷電，用 塞尺檢查間隙是否有變化。 反復(fù)測(cè)試幾次，至離合器吸合、分離正常。 晶體提升機(jī)構(gòu)維護(hù)周期表 設(shè)備名稱 維修周期 步驟 籽晶鋼纜 每次運(yùn)行 檢查磨損、損壞情況 籽晶提升滑輪及卷絲輪 每個(gè)月 清潔并檢查對(duì)中性 晶轉(zhuǎn)和晶升皮帶 3個(gè)月 檢查磨損 /對(duì)中和張力 晶轉(zhuǎn)、晶升電機(jī)噪聲、刷磨損 3個(gè)月 檢查碳刷長(zhǎng)度 聯(lián)軸器緊定螺釘 3個(gè)月 檢查緊固性 晶升離合器組件的調(diào)整 3個(gè)月 檢查離合器間隙及動(dòng)作 坩堝提升機(jī)構(gòu) ?
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