單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)(編輯修改稿)
2025-01-19 07:09 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 流體孔中心與所對應(yīng)螺紋的中心的偏差不大于 。 左端蓋及銅螺母 對中針 纜索管的對中 晶體提升腔拆裝及調(diào)整 2提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn) 磁流體密封的 O型圈和軸。在 O型圈上抹少量的真空脂將有助于提升腔的裝入。 2裝回把提升腔固定到底板上的兩顆螺釘。 2裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。 2裝回鋼絲繩，并重新檢查限位開關(guān)的設(shè)置。 2裝回剛性聯(lián)軸器和卡環(huán)，確定聯(lián)軸器上的十字塊仍在正確位置。 在鋼絲繩上裝上籽晶夾頭。 3將稱重傳感器腔的航空插頭重新插上。 籽晶鋼纜的對中 安放對中靶在坩堝軸的托盤上，保證其位于托盤正中。 安裝對中針在籽晶夾頭的一端。 定位坩堝使對中靶在要求的熔體水平位置。 抽空單晶爐且維持在 20Torr靜態(tài)壓力。 降下籽晶夾頭，使對中針幾乎觸及對中靶。 從另一個(gè)觀察窗觀察對中針是否正對對中靶中心。 如對中針沒有正對對中靶中心，則松開固定籽晶提升裝置的三個(gè)壓緊塊。 調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對中針正對對中靶中心。 上緊三個(gè)壓緊塊，觀察對中針是否有偏差。 拆下對中靶和對中針。 晶升離合器的調(diào)整 使用 合器，當(dāng)離合器通電時(shí)，固定離合器右側(cè)的定位螺釘。 離合器斷電，取出塞尺，重新通電，檢查是否吸合。 離合器斷電，用 塞尺檢查間隙是否有變化。 反復(fù)測試幾次，至離合器吸合、分離正常。 晶體提升機(jī)構(gòu)維護(hù)周期表 設(shè)備名稱 維修周期 步驟 籽晶鋼纜 每次運(yùn)行 檢查磨損、損壞情況 籽晶提升滑輪及卷絲輪 每個(gè)月 清潔并檢查對中性 晶轉(zhuǎn)和晶升皮帶 3個(gè)月 檢查磨損 /對中和張力 晶轉(zhuǎn)、晶升電機(jī)噪聲、刷磨損 3個(gè)月 檢查碳刷長度 聯(lián)軸器緊定螺釘 3個(gè)月 檢查緊固性 晶升離合器組件的調(diào)整 3個(gè)月 檢查離合器間隙及動(dòng)作 坩堝提升機(jī)構(gòu) ?
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