單晶爐機械結(jié)構(gòu)-在線瀏覽
2025-02-02 07:09本頁面
【正文】 多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進行 高溫熔化 （ 大于 1450℃ ） ， 在 低真空度 和 氬氣保護 下 ，通過籽晶插入多晶硅熔體后 ， 在籽晶周圍形成過冷態(tài)并進行有規(guī)律結(jié)晶生長 ， 形成一根單晶棒體 。 從鋼絲繩上取下籽晶夾頭。 松開第二級蝸輪蝸桿減速箱輸出軸上卡環(huán)的內(nèi)六角螺釘，松開剛性連軸器右側(cè)的緊定螺釘，將其向外滑出。 松開行程塊的 2顆固定螺釘，卸下同步帶。螺釘是從底板下面向上旋進的。 松開 2顆鉸鏈螺釘，使稱重腔與提升腔脫離。 11 拆下提升腔左端蓋的蓋板，用銅棒敲擊花鍵軸，將 其向右端推出，同時順時針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管從銅螺母的螺紋上脫開，將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封作為一個整體從提升腔內(nèi)抽出。 13 松開并取下把花鍵軸滑套固定到纜索管上的 4顆螺釘。 14 將纜索管從花鍵滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花鍵軸，否則，滾珠將會從滾槽中掉下來。 1拆下把銅螺母固定到蓋端上的 4顆螺釘，取下銅螺母。 1將右端蓋裝回提升腔，上緊固定螺釘。 裝回花鍵軸左端的滾動軸承。 2裝回提升腔左端蓋的蓋板，擰緊固定螺釘。 2將對中針從提升腔下面晶轉(zhuǎn)磁流體孔放入，檢查鋼纜螺紋與磁流體孔中心的位置，保證磁流體孔中心與所對應(yīng)螺紋的中心的偏差不大于 。在 O型圈上抹少量的真空脂將有助于提升腔的裝入。 2裝回稱重腔，擰緊鉸鏈螺釘。 2裝回剛性聯(lián)軸器和卡環(huán)，確定聯(lián)軸器上的十字塊仍在正確位置。 3將稱重傳感器腔的航空插頭重新插上。 安裝對中針在籽晶夾頭的一端。 抽空單晶爐且維持在 20Torr靜態(tài)壓力。 從另一個觀察窗觀察對中針是否正對對中靶中心。 調(diào)整壓緊塊側(cè)面的頂緊螺釘使對中針正對對中靶中心。 拆下對中靶和對中針。 離合器斷電，取出塞尺，重新通電，檢查是否吸合。 反復(fù)測試幾次，至離合器吸合、分離正常。 松開坩堝旋轉(zhuǎn)電機齒輪箱組件并從坩堝軸上拆下旋轉(zhuǎn)皮帶。 松開坩堝軸上的固定冷卻管的 3只緊定螺釘，向下取出旋轉(zhuǎn)接頭
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