ldk單晶爐熱場ppt課件-展示頁
2024-12-17 02:48本頁面
【正文】 每個(gè)半圓筒各位一組，縱向開縫分瓣，組成串聯(lián)電阻，兩組并聯(lián)后形成串并聯(lián)回路。目前絕大多數(shù)加熱器為筒狀，硅單晶分廠 CZ1廠房使用的是 直筒式 形狀的加熱器。 熱 場 示 意 圖 加熱器 ? 加熱器 是熱場中很重要的部件，是直接的發(fā)熱體，溫度最高的時(shí)候可以達(dá)到 1600℃ 以上。 一、熱場結(jié)構(gòu) 一、熱場結(jié)構(gòu) ?直拉單晶爐的熱系統(tǒng)，也就是所謂的熱場，是指為了熔化硅料，并使單晶生長保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。因此，找到較好的熱場條件，配置最佳的熱場，是非常重要的直拉單晶工藝技術(shù)。不好的熱場容易使單晶變成多晶，或者根本無法引晶。內(nèi)容 ? 熱場的結(jié)構(gòu)示意圖；各部件介紹 ? 熱場的安裝；熱場水平與中心調(diào)整；熱場的煅燒 ? 熱場的概念；溫度梯度的概念； 靜態(tài)熱場的溫度分布；動平衡態(tài)熱場的分布 晶體生長的溫度梯度：徑向溫度梯度與縱向溫度梯度 ? 熱場的優(yōu)劣對單晶硅的質(zhì)量有很大影響。合適的熱場，能夠生長出高質(zhì)量的單晶。有的熱場雖然能夠生長單晶，但質(zhì)量較差，有位錯(cuò)和其它結(jié)構(gòu)缺陷。 ? 熱場有大有小，它是按照所用的石英坩堝的直徑大小來劃分的，目前國內(nèi)熱場從￠ 12″～ ￠ 28 ″都有，但以￠ 18″～ ￠ 22″居多。 ?熱場一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝 (三瓣堝 )、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，且為了防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。 ? 常見的加熱器有三種形狀，筒狀、杯狀、螺旋狀。右圖為加熱器。 ? 右下圖是倒立的加熱器，由圖可知，在加熱器下面有兩個(gè)清晰的連接孔，這些孔是用來連接 石墨電極 。石墨電極也是有高純石墨加工而成。 石墨螺栓 電極圖 石墨坩堝、坩堝托桿和坩堝托盤 ? 石墨坩堝，也就是所謂的 三瓣堝 ，主要是用來盛放石英坩堝。 ? 石墨坩堝，有單體，兩瓣合體，以及 CZ1所使用的三瓣合體等不同形狀。右圖為三瓣堝的實(shí)物圖。 ? 支撐體的高度是可以調(diào)節(jié)的，這樣可以保證熔料時(shí)，坩堝有合適的低堝位，而拉晶時(shí)，有足夠的堝跟隨動行程。 ? 保溫罩是由一個(gè)保溫筒外面包裹 石墨碳?xì)?而成。 ? 下保溫罩組成了底部的保溫系統(tǒng)，它的作用是加強(qiáng)堝底保溫，提高堝底溫度，減少熱量損失。只不過保溫罩外面的石墨碳?xì)值膶訑?shù)不一樣，這樣使得溫度梯度不一樣。CZ1廠房現(xiàn)在使用的比較多的是 上排氣 。 保溫罩 熱 場 示 意 圖 保溫蓋、導(dǎo)流筒 ? 保溫蓋由保溫上蓋、保溫碳?xì)趾捅叵律w組成。 ? 導(dǎo)流筒，由內(nèi)外筒之間夾一層石墨碳?xì)纸M成。 壓環(huán) ? 壓環(huán)，由幾截弧形環(huán)構(gòu)成的一個(gè)圓形環(huán)狀石墨件，它放
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