ldk單晶爐熱場ppt課件-文庫吧資料
2024-12-14 02:48本頁面
【正文】 然兩點間的溫度差越大，則 越大，則溫度梯度越大，反之，兩點間溫度差越小，則 越小，則溫度梯度越小，如果 說明由 A點到 B點溫度是升高的，如果 說明由 A點到 B點的溫度是下降的。 三、熱場的溫度梯度 如下圖所示， A點到 B點的溫度變化為 T1T2 ，距離變化為 r1r2 。 溫度梯度是指熱場中某點 A的溫度指向周圍鄰近某點 B的溫度的變化率。 單晶生長時，由于不斷發(fā)生物相的轉(zhuǎn)化 (液相轉(zhuǎn)化為固相 )，不斷放出固相潛熱，同時，晶體越拉越長，熔體液面不斷下降，熱量的傳導、輻射等情況都在發(fā)生變化，所以熱場是變化的，稱為動態(tài)熱場。煅燒時，熱系統(tǒng)內(nèi)的溫度分布相對穩(wěn)定，稱為 靜態(tài)熱場 。 二、熱場的安裝與煅燒 (1)熱場的概念 熱場也稱溫度場。使用后，每拉晶4～ 8爐后也要煅燒一次。 ⑥測溫孔對一致。 ④保溫蓋和加熱器對中：升起托桿，讓三瓣鍋其與保溫蓋水平，調(diào)整保溫蓋的位置，使得四周間隙一致。 二、熱場的安裝與煅燒 ③保溫罩和加熱器對中：調(diào)整保溫罩位置，做到保溫罩內(nèi)壁與加熱器外壁之間四周間隙一致。接著裝 托盤，托盤的中心也要跟加熱器對中。將托桿穩(wěn)定的裝在下軸上，將下軸轉(zhuǎn)動，目測是否偏擺。 放上加熱器之后，加熱器的電極孔要與下面的電極板的兩孔對準。 (2)安裝 安裝順序一般是 由下而上，由內(nèi)到外。 ? 右上圖是壓環(huán)，右下圖為安裝后的效果圖。導流筒主要是為了控制熱場的溫度梯度和引導氬氣流。即兩層環(huán)狀石墨之間夾一層石墨碳氈組成， 其內(nèi)徑的大小與導流筒外徑相匹配， 平穩(wěn)的放在保溫罩面板上。這樣，上保溫罩上面就存在幾個排氣孔，這些排氣孔保證在高溫下蒸發(fā)的氣體的排出。 ? 排氣的方式有上排氣和下排氣。 ? 中、上保溫罩的作用也是為了減少熱量的損失。 石墨碳氈的包裹層數(shù)視情況而定。 石墨坩堝、坩堝托桿和坩堝托盤 保溫罩 ? 保溫罩分為上保溫罩、中保溫罩和下保溫罩。 ? 坩堝托桿、坩堝托盤 共同構(gòu)成了石墨坩堝的支撐體，要求和下軸結(jié)合牢固，對中性良好，在下軸轉(zhuǎn)動時，托桿及托盤的偏擺度 ≤。它們從節(jié)約成本、使用方便來比較各有所長。它的內(nèi)徑加工尺寸與石英坩堝的外形尺寸相配合，同時，石墨坩堝本身也需要具有一定的強度，來承受硅料和坩堝的重量。 ? 右上圖為石墨電極示意圖、右下圖為連接石墨電極和加熱器的 石墨螺栓 。 石墨電極 ? 石墨電極的作用，一是平穩(wěn)的固定 加熱器 ，二是通過它對加熱器 輸送電流 ，因此要求電極厚重，結(jié)實耐用，它與金屬電極和加熱器的接觸面要光滑、平穩(wěn)，保證接觸良好，通電時不打火。 加熱器 ? 一般情況下，加熱器是 高純石墨 加工，
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