單晶爐異常處理-文庫(kù)吧資料
2025-08-01 11:57本頁(yè)面
【正文】 質(zhì)量差兩個(gè)可能原因引起。3 化料過程中加熱功率不能過高，堝位不能降得太低。解決途徑：1 石英坩堝的生產(chǎn)廠商要保證其生產(chǎn)的坩堝從用料到生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)都符合質(zhì)量要求。6石英堝在使用時(shí)因操作不當(dāng),如與石墨堝磕碰，或裝料時(shí)與料磕碰或塌料時(shí)料與堝磕碰等原因產(chǎn)生隱裂而導(dǎo)致漏硅。4原料內(nèi)雜質(zhì)太多對(duì)石英堝腐蝕嚴(yán)重導(dǎo)致漏硅。2上部硅料熔完后，由于硅的液體密度比固體密度大，底部沒熔完的料往往會(huì)翻上來，上翻的過程中有可能將堝拉破。由于導(dǎo)致坩堝滲硅漏硅的因素并不是很多，但在沒有明顯特征的情況下很難定性到底是什么原因，可能是其中的一種也可能是其中幾種共同作用的結(jié)果。滲硅漏硅和滲硅的處理在于：拆爐時(shí)找到石英坩堝的初始漏點(diǎn)或裂紋，再根據(jù)漏點(diǎn)或裂紋情況（位置、形狀、異常發(fā)生時(shí)間等），仔細(xì)分析可能存在的情況，主要看石英坩堝在裝料結(jié)束之前是否受損。 。 2 在單晶生產(chǎn)的整個(gè)過程中應(yīng)嚴(yán)格按照工藝規(guī)程認(rèn)真操作。石英坩堝在生產(chǎn)、清洗、包裝中受到玷污，也將發(fā)生析晶。4 熔料時(shí)溫度過高或時(shí)間過長(zhǎng)，也將加重析晶的程度。2 在操作過程中，因操作方法不當(dāng)也會(huì)產(chǎn)生析晶：如在防止石英坩堝和裝填硅料的過程中，帶入的汗水、口水、油污、塵埃等。現(xiàn)象：在石英坩堝壁被熔硅浸泡過的區(qū)域，出現(xiàn)黑點(diǎn)，嚴(yán)重時(shí)會(huì)有大塊硅料附著在坩堝壁上。 5. 熔料時(shí)應(yīng)選用合適的熔料溫度以降低析晶的程度。 3 拉晶所用的原料純度一定要符合生產(chǎn)要求，如果原料本身所含雜質(zhì)較多，在熔料過程中也會(huì)造成析晶。解決途徑：1 石英坩堝的生產(chǎn)廠商要保證其生產(chǎn)的坩堝從用料到生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)都符合質(zhì)量要求。石英坩堝在生產(chǎn)，清洗，包裝中受到玷污，發(fā)生析晶 （包括液位線以上的部分） 這樣石英坩堝原有的厚度會(huì)減薄，強(qiáng)度也隨之下降，容易發(fā)生變形。4原料質(zhì)量參差不齊，所含雜質(zhì)遠(yuǎn)高于原生多晶，酸洗工藝不盡完善，這對(duì)坩堝的正常使用影響也非常大，主要表現(xiàn)在容易發(fā)生嚴(yán)重析晶。2熔料時(shí)溫度過高或時(shí)間過長(zhǎng)，由于硅熔點(diǎn)為1420℃，一般的熔料溫度在1550~1600℃左右，如果熔料溫度過高，在熔料過程中極易發(fā)生變形?？赡艿脑颍?，在液位線上的料與石英坩堝的接觸呈面接觸狀態(tài)， 這在熔料過程中容易發(fā)生掛邊導(dǎo)致坩堝變形。，坩堝上口向內(nèi)凸出過多，當(dāng)熔完料堝位上升到正常引晶位置時(shí)，已碰撞到導(dǎo)流筒，這將直接導(dǎo)致不能拉晶的嚴(yán)重后果。6. 熔料時(shí)應(yīng)選用合適的熔料溫度以減少析晶或降低析晶的程度。尤其是堿金屬離子的存在，將會(huì)降低析晶溫200 ～3
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