單晶爐異常處理-資料下載頁
2025-07-26 11:57本頁面
【正文】 晶棒產(chǎn)生裂紋的原因很多，主要有晶棒冷卻不足導(dǎo)致裂紋，還有在晶棒搬運(yùn)過程中由于磕碰產(chǎn)生裂紋或截?cái)鄷r(shí)產(chǎn)生裂紋。晶棒裂紋的可能原因有：、搬運(yùn)或磕碰產(chǎn)生裂紋（具體原因應(yīng)詢問此步驟相關(guān)人員）預(yù)防措施：1. A段：；然后看晶升計(jì)長提升單晶100mm至導(dǎo)流筒上部；拉速保持在3mm/min提升20min后看計(jì)長按晶快速提升單晶500mm；拉速保持在3mm/min提升單晶20min后看計(jì)長按晶快速上升單晶至副室，將晶升歸零并關(guān)閉電源。：，使單晶自動(dòng)上升，晶轉(zhuǎn)設(shè)定為2r/min,堝轉(zhuǎn)為0轉(zhuǎn)。18寸熱場(chǎng)冷卻4小時(shí)，20寸熱場(chǎng)冷卻5小時(shí)，避免磕碰。3. 晶棒未拉出（悶爐）：晶棒未拉出導(dǎo)致悶爐或提料，其可能的原因可以分為：，由于原料中渣太多，導(dǎo)致引放轉(zhuǎn)不活或等徑長度不夠就斷棱。，由于坩堝質(zhì)量有問題，于是出現(xiàn)坩堝涂層脫落、石英砂脫落等導(dǎo)致悶爐。，由此導(dǎo)致引放轉(zhuǎn)、等徑時(shí)有渣落下，導(dǎo)致悶爐。排氣孔未清理徹底導(dǎo)致氣流紊亂，產(chǎn)生悶爐：如重錘老化導(dǎo)致拉制過程中掉渣下去，導(dǎo)致悶爐。：如拉制時(shí)氬氣未開，導(dǎo)致拉不出晶棒悶爐。悶爐，預(yù)防措施：，防止原料中渣太多，導(dǎo)致的悶爐。，防止清爐未清干凈，排氣孔不通。三瓣堝可能的質(zhì)量缺陷：1．設(shè)計(jì)缺陷。因?yàn)檫@個(gè)原因坩堝斷裂后表現(xiàn)一般就是在r部與上部坩堝結(jié)合部位，一般為橫向斷裂，且一般是兩側(cè)斷口低中間高；如果是全部裂開后再拼到一起的話，可以明顯發(fā)現(xiàn)兩端拼接口不能重合。真正的原因是在使用后坩堝上部壁厚均勻部分和下部逐漸變厚部分的應(yīng)力集中在這個(gè)部位，造成應(yīng)力集中，最終造成三瓣坩堝斷裂。2．加工缺陷。這類原因造成的坩堝斷裂后表現(xiàn)一般是從接縫處開裂，然后蔓延開。通常是沿垂直方向裂開，這類問題發(fā)生后比較容易發(fā)現(xiàn)。造成這類問題的原因主要是接縫過渡的角度(一般是105176?；蛘?15176。)在相交點(diǎn)部分，沒有采用倒圓角緩沖，加之加工過程中刀尖部分對(duì)堝體的微觀撕裂，以及使用過程中坩堝本身的應(yīng)力，造成開裂。3．原料缺陷。這個(gè)原因其實(shí)是最大的原因。因?yàn)槭釄灞旧淼奈锢硇阅?，主要是?dǎo)熱、熱膨脹這兩方面的原因，導(dǎo)致坩堝在速冷速熱的情況下，容易產(chǎn)生應(yīng)力且不容易消除；另外在石墨生產(chǎn)過程中，石墨的壓型、浸漬、焙燒、石墨化和提純過程時(shí)間長，不容易監(jiān)測(cè)檢驗(yàn)，雖然整體表現(xiàn)比較均一，但是在同一塊石墨內(nèi)部各個(gè)部分之間還是存在一定的差異性，這就決定了石墨從根本上會(huì)存在一定的問題。
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