ldk單晶爐熱場(chǎng)ppt課件-在線瀏覽
2025-01-25 02:48本頁(yè)面
【正文】 置在蓋板與爐壁接觸處，是為了防止熱量和氣體從爐壁與蓋板的縫隙間通過(guò)。 (1)安裝前 安裝熱場(chǎng)前，尤其是新熱場(chǎng)，應(yīng)仔細(xì)擦拭干凈，去除表面浮塵土，檢查部件的質(zhì)量，整個(gè)爐室在進(jìn)行安裝熱場(chǎng)前也必須擦拭完畢。 石墨電極安裝時(shí)，左右對(duì)齊，處在同一水平面上，不可傾斜，同時(shí)要和托桿對(duì)中。 二、熱場(chǎng)的安裝與煅燒 ? 安裝電極 → 爐底碳?xì)?→ 反射底板 → 下保溫罩 → 石墨環(huán)、石英環(huán) → 加熱器 → 中保溫罩 → 石墨托桿 → 石墨托盤 → 裝三瓣堝 → 下降主爐室 → 上保溫罩 → 導(dǎo)氣孔→ 保溫蓋板 → 裝導(dǎo)流筒 → 壓環(huán) 熱場(chǎng)安裝順序示意圖 二、熱場(chǎng)的安裝與煅燒 (3)對(duì)中順序 在整個(gè)安裝過(guò)程中，要求整個(gè)熱系統(tǒng)對(duì)中良好，同心度高，需要嚴(yán)格對(duì)中： ① 坩堝軸與加熱器的對(duì)中。然后將鋼板尺平放在坩堝軸上，觀察兩者之間的間隙，間隙是否保持不變，加熱器圓心是否對(duì)中。 二、熱場(chǎng)的安裝與煅燒 ② 加熱器與石墨坩堝的對(duì)中：轉(zhuǎn)動(dòng)托碗，調(diào)整堝位，讓石墨坩堝與加熱器口水平（此時(shí)的堝位成為平口堝位），再稍許移動(dòng)加熱器電極，與托碗對(duì)中，這時(shí)石墨坩堝和加熱器口之間的間隙四周都一致。注意可徑向移動(dòng)，不得轉(zhuǎn)動(dòng)，否則測(cè)溫孔就對(duì)不準(zhǔn)了。 此外 : ⑤ 下保溫罩和電極之間的間隙前后一致，切不可大意造成短路打火。 二、熱場(chǎng)的安裝與煅燒 (4)煅燒 新的熱場(chǎng)需要在真空下煅燒，煅燒時(shí)間約 10小時(shí)左右，煅燒 3～ 5次，方能投入使用。 煅燒功率，不同的熱場(chǎng)不一樣，一般要比引晶溫度高， CZ1爐子煅燒最高功率一般在 110KW。熱系統(tǒng)內(nèi)的溫度分布狀態(tài)叫 熱場(chǎng) 。在單晶生長(zhǎng)過(guò)程中，熱場(chǎng)是會(huì)發(fā)生變化，稱為 動(dòng)態(tài)熱場(chǎng) 。 三、熱場(chǎng)的溫度梯度 (2)溫度梯度的概念 為了描述熱場(chǎng)中不同點(diǎn)的溫度分布及分布狀態(tài)，下面給大家介紹一個(gè)“溫度梯度”這個(gè)概念。也即 單位距離內(nèi)溫度的變化率。那么 A點(diǎn)到 B點(diǎn)的溫度梯度是： 通常用 表示在 r 方向上的變化率。 dTdr三、熱場(chǎng)的溫度梯度 dTdr0dTdr?0dTdr ?(3)靜態(tài)熱場(chǎng)的溫度分布 下圖為靜態(tài)熱場(chǎng)的溫度分布狀況：沿著加熱器中心軸線測(cè)量溫度的變化發(fā)現(xiàn)加熱器的 中心溫度最高 ， 向上向下都是逐漸降低的 ，它的變化率稱為 縱向溫度梯度 ，用 表示。 dTdr三、熱場(chǎng)的溫度梯度 (4)晶體生長(zhǎng)時(shí)的溫度梯度 單晶硅生長(zhǎng)時(shí)，熱場(chǎng)中存在 固體、熔體兩種形態(tài)。 熔體中的縱向溫度梯度 和徑向溫度梯度 。 LdTdy??????三、熱場(chǎng)的溫度梯度 SdTdr
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1