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正文內(nèi)容

單晶制絨設(shè)備培訓(xùn)ppt課件-展示頁

2025-01-19 16:01本頁面
  

【正文】 DI水 漂洗 60S DI水 噴淋 60S HCL、 HF 酸洗 120S DI水 漂洗 60S酸洗工 作 流 程 HF 酸洗 120S 上料臺(tái) 甩干 下料臺(tái) DI水 噴淋 120S DI水 噴淋 60S DI水 漂洗 60S DI水 漂洗 60S去 PSG DI水 低速噴淋 30S 上料 高速吹 N2 180S 卸料甩干機(jī)制絨設(shè)備開機(jī)前檢查壓縮空氣、氮?dú)?、純水? 閥門處于打開狀態(tài),壓縮空氣、氮?dú)鈮毫?46barDI水CDAN2 CDA調(diào)壓閥N2調(diào)壓閥制絨設(shè)備開機(jī)前檢查化學(xué)品補(bǔ)液槽按要求配液 純水預(yù)熱槽溫度達(dá)到設(shè)定值刻度標(biāo)尺 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第一步:打開設(shè)備電控柜總電源,依次打開各功能電源開關(guān)電控柜內(nèi)各電源開關(guān) 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第二步:等待觸摸屏顯示后,進(jìn)入主界面進(jìn)行工藝參數(shù)設(shè)置參數(shù)設(shè)置按鈕 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作點(diǎn)擊 “參數(shù)設(shè)置進(jìn)入 ”按鈕后,彈出密碼框,輸入密碼后,按 “確認(rèn) ”按鈕即可進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置項(xiàng)。 去 PSG機(jī): 用 HF去除硅片表面的磷硅玻璃。?     ?     ?          ?     ?  2022910單 晶 清 洗 設(shè) 備 培 訓(xùn) 概 述? 第一部分:單晶清洗設(shè)備的組成? 第二部分:單晶清洗設(shè)備的開機(jī)
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