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單晶制絨設(shè)備培訓ppt課件-wenkub

2023-01-25 16:01:16 本頁面
 

【正文】 單晶清洗設(shè)備的開機? 第三部分:單晶清洗設(shè)備操作? 第四部分:單晶清洗設(shè)備的關(guān)機單晶清洗設(shè)備的組成一、單晶制絨機 單晶制絨槽式主體 /一臺 上下料臺 /各一個 NaOH、 IPA補液系統(tǒng) /一套 純水預熱槽 /一個 電控柜 /一個二、酸洗機 酸洗槽式主體 /一臺 上下料臺 /各一個 電控柜 /一個三、去 PSG機 去 PSG槽式主體 /一臺 上下料臺 /各一個 電控柜 /一個四、甩干機單晶清洗設(shè)備功能介紹單晶槽式制絨機: 用堿性溶液( NAOH)清洗硅片表面的污 損, 并在硅片表面刻蝕出金字塔形的絨面。 單晶制絨設(shè)備主體 上下料臺上料臺 下料臺NAOH、 IPA自動補液系統(tǒng) 純水預熱槽 電控柜內(nèi)部圖 壓縮空氣、氮氣和純水供應(yīng)管工 作 流 程 NAHO預處理 60S 上料臺 DI水 噴淋 25S DI水 漂洗 10S HF 酸洗 10S DI水 漂洗 10SNAOH、 IPA、輔助劑 制絨 1100S DI水 漂洗 10S DI水 漂洗 30S NAOH、 H2O2 去損傷 180S 下料臺單晶制絨工 作 流 程 HCL 酸洗 120S 上料臺
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