化學(xué)法提純單晶硅ppt課件-展示頁
2025-05-15 12:13本頁面
【正文】 一定比例的混合氣體。 ? （ 4）凈化后的三氯氫硅采用高溫還原工藝，以高純的 SiHCl3在 H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。 ? （ 3）第二步驟中產(chǎn)生的氣態(tài)混合物還需要進(jìn)一步提純，需要分解 :過濾硅粉，冷凝 11 SiНС13,SiC14，而氣態(tài) Н2,НС1返回到反應(yīng)中或排放到大氣中。其化學(xué)反應(yīng) Si+HCl→SiHCl3+H2↑ 反應(yīng)溫度為 300度，該反應(yīng)是放熱的。 生產(chǎn)流程 ? （ 1）石英砂在電弧爐中冶煉提純到 98%并生成工業(yè)硅，其化學(xué)反應(yīng)SiO2+C→Si+CO2↑ 10 西門子法（三氯氫硅還原法） （ 2）為了滿足高純度的需要，必須進(jìn)一步提純。 6 7 西門子法（三氯氫硅還原法） ? （一）、西門子法（三氯氫硅還原法） ? 西門子法（三氯氫硅還原法）是以 HCL（或 ClH2）和冶金級工業(yè)硅為原料，將粗硅（工業(yè)硅）粉與 HCL在高溫下合成為 SiHCl3，然后對 SiHCl3進(jìn)行化學(xué)精制提純，接著對 SiHCL3進(jìn)行多級精餾，使其純度達(dá)到 9個 9以上，其中金屬雜質(zhì)總含量應(yīng)降到 ，最后在還原爐中 1050℃ 的硅芯上用超高純的氫氣對 SiHCL3進(jìn)行還原而長成高純多晶硅棒。 5 多晶硅生產(chǎn)技術(shù)主要有： ? 改良西門子法 ? 硅烷法 ? 流化床法。 電子級硅（ EG）：一般要求含Si%以上，超高純達(dá)到%～ %（ 9～ 11個 9）。 4 化學(xué)法制取單晶硅 太陽級硅 (SG)：純度介于冶金級硅與電子級硅之間，至今未有明確界定。 原料 →多晶硅 → 單晶硅 3 化學(xué)法制取單晶硅 一、多晶硅 多晶硅產(chǎn)品分類 : 多晶硅按純度分類可以分為冶金級（工業(yè)硅）、太陽能級、電子級 冶金級硅（ MG）：是硅的氧化物在電弧爐中被碳還原而成。1 化學(xué)法制取單晶硅 2 化學(xué)法制取單晶硅 生產(chǎn)過程 ? 單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅，然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。熔融的單質(zhì)硅在凝固時硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒，則這些晶粒平行結(jié)合起來便結(jié)晶成單晶硅。一般含 Si為 9095%以上，高達(dá) %以上。一般認(rèn)為含 Si在 %–%（ 4～ 6個 9）。其導(dǎo)電性介于 104–1010歐厘米。 ? 正在研發(fā)的還有冶金法、氣液沉積法、重?fù)焦鑿U料法等制造
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1