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正文內(nèi)容

年產(chǎn)2100噸高效單晶硅項目環(huán)境影響專項分析-展示頁

2025-07-04 13:15本頁面
  

【正文】 間污染物排放情況可知,本項目在營運期對周圍環(huán)境的影響主要有廢氣、廢水、固體廢物及廢液、設(shè)備噪聲等。89廢水帶走硅料212168.07圖12 單晶硅生產(chǎn)過程硅平衡圖單位 :t/a 切割液廢水帶走選料1722.39726.32廢氣帶走酸422混酸(氫氟酸、硝酸)污水處理站圖13 單晶硅生產(chǎn)過程氟平衡圖酸洗廢液酸霧凈化塔廠家回收排放廢氣單位 :t/a 廢水廢水淋洗廢水80固廢 用排水平衡本項目建成運行后,新鮮水用量為4355m3/d,平均小時用水量為726m3,本項目用排水狀況見表17。高效單晶硅棒2100坩堝余料68。表16 工程生產(chǎn)產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析項目產(chǎn)污環(huán)節(jié)主要污染物廢氣原料腐蝕酸洗酸霧(氟化物、NOx)無組織排放氟化物廢水生產(chǎn)廢水水洗工段生產(chǎn)廢水(HNOHF、硅粉)斷頭尾、滾磨、磨面工段純水制備純水制備濃水軟水制備軟化廢水循環(huán)冷卻系統(tǒng)循環(huán)冷卻水酸霧淋洗凈化處理淋洗廢水辦公生活區(qū)辦公生活污水固體廢物及廢液拆爐工段破廢的坩堝(石英)廢水處理站泥渣原料酸洗工段酸性廢液(HNOHF、H2SiF6)圓棒切方工段切割液(聚乙二醇和碳化硅)噪聲生產(chǎn)區(qū)高噪聲設(shè)備(制冷機組、冷卻塔、各類泵)噪聲 物料平衡及水平衡 物料平衡根據(jù)生產(chǎn)工藝設(shè)計參數(shù),計算出本項目生產(chǎn)的物料平衡,硅平衡圖見圖12,氟平衡圖見圖13。本項目生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)詳見圖11。切割液為聚乙二醇和碳化硅的混合物,由廠家回收。(9)圓棒切方將硅圓棒切成準(zhǔn)四方型,得到最終產(chǎn)品單晶硅方棒。頭尾料和坩堝余料一起回用至選料工段。(6)拆爐待爐溫冷卻后,將爐內(nèi)坩堝及余料取出,余料主要為多晶硅,此部分坩堝余料回用至選料工段,單晶硅棒進入下一道工序。當(dāng)硅熔體的溫度穩(wěn)定之后,將籽晶浸入硅熔體中,然后將籽晶快速向上提升,長完細(xì)頸之后,降低溫度與拉速,使得晶體的直徑漸漸增長到所要大小,借著拉速與溫度的不斷調(diào)整,可使晶棒直徑誤差維持在正負(fù)2mm之間的等徑,單晶硅棒取自于等徑部分。(4)裝爐將配好的原料裝入爐內(nèi)、抽真空和充氬氣。本項目原料清洗使用的酸為HF 和HNO3的混酸。(1)選料根據(jù)產(chǎn)品要求,將作為原料的多晶硅、頭尾料、堝底料按類分選。 工程生產(chǎn)工藝及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 本項目高效單晶硅棒生產(chǎn)工藝介紹本項目高效單晶硅棒的生產(chǎn)采用直拉式(摻磷拉制N型高效單晶),將高純度的多晶硅,在密閉的爐膛內(nèi)熔化后,用單晶硅種子(籽晶)在熔化的硅液中逐漸生長出單晶硅的過程。本工程循環(huán)冷卻水用于工藝?yán)鋮s。然后分別通過各支管,接至各單晶爐。液氬為低溫貯存,液氬低溫貯罐為真空絕熱容器。氬氣貯罐設(shè)在生產(chǎn)廠房動力區(qū)附近的室外空地。純水制備濃水回用至酸霧淋洗塔,軟化廢水部分回用至斷頭尾、滾磨、磨面工段,其余部分外排。前處理部分首先由純水原水泵加壓送至純水站,經(jīng)機械過濾、活性碳過濾等預(yù)處理后,由熱交換器換熱至25℃,再經(jīng)過RO過濾器過濾,進入二級RO裝置,制成10MΩ純水,進入初級純水箱。本項目單晶爐冷卻軟水的用量為717 m3/d,清洗原料的純水用量為196m3/d。本項目用電由集中區(qū)11萬伏變電站引來,在動力中心站內(nèi)建設(shè)35KV總降壓變電站一座,內(nèi)設(shè)35KV高壓配電設(shè)備、35KV/10KV主變壓器,將供電電壓由35KV降為10KV,為10KV終端變配電所供電,變電所內(nèi)設(shè)10KV/、10KV/。 供電 項目用電量估計37424萬度/年。本項目所需自來水由集中區(qū)預(yù)留接口引入,且能滿足項目生產(chǎn)和生活用水要求。表15 工程生產(chǎn)主要設(shè)備一覽表序號設(shè)備名稱制造廠家/規(guī)格數(shù)量(臺/套)一、洗晶車間1泡料池國產(chǎn)42清洗機國產(chǎn)83烘箱國產(chǎn)64打磨機國產(chǎn)21二、單晶及切片車間1單晶爐國產(chǎn)1802切片機日本453帶鋸國產(chǎn)114線切方機HCT500S125少子壽命掃描儀匈牙利施耐博WT200036電阻率檢測儀匈牙利施耐博RT10037紅外探傷儀匈牙利施耐博18其它測試儀器/19單晶表面拋光機國產(chǎn)7三、輔助工程1冷卻塔國產(chǎn)122制冷機組國產(chǎn)33軟水、純水制備設(shè)施國產(chǎn)1 公用工程 供排水本項目自來水消耗量為234萬噸/年。 項目建設(shè)內(nèi)容本項目主要建設(shè)內(nèi)容詳見表14。用于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池等。不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料。溶于氫氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和鹽酸。熔點1410℃。具有半導(dǎo)體性質(zhì),是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料灰色金屬光澤。常溫下不活潑,高溫下與氧、氮、硫等反應(yīng)。/4多晶硅性質(zhì):硬度介于鍺和石英之間,室溫下質(zhì)脆,切割時易碎裂。與酸發(fā)生中和反應(yīng)并放熱。能與普通金屬發(fā)生反應(yīng),放出氫氣而與空氣形成爆炸性混合物.大鼠吸入LC50 49 ppm/4小時2氫氟酸無色透明有刺激性臭味的液體, 與水混溶, 相對密度(水=1)(75%);相對密度(空氣=1)腐蝕性極強。濃硝酸煙霧吸入后可引起急性氮氧化物中毒。具有強氧化性、強腐蝕性。表13 工程主要原輔材料及產(chǎn)品理化、毒理性質(zhì)序號名稱理化性質(zhì)危險特性毒性指標(biāo)1硝酸純品為無色透明發(fā)煙液體,有酸味, 相對密度(水=1)(無水),相對密度(空氣=1), 與水混溶, (20℃)。表12 本工程主要原料及動力消耗情況一覽表序號名 稱規(guī) 格噸產(chǎn)品消耗量年耗量1多晶硅/1.03t/t6889.56t2籽晶碳含量 ppma,晶向100,材料等級一級3.09根/t5184根3石英坩堝高純石英坩堝15.3只/ t25714只4氬氣/4480萬m35HF、 HNO3的混酸40%HF和60% HNO3(濃度分別為18%、26%) t/t混酸726。 產(chǎn)品規(guī)格本項目產(chǎn)品高效單晶硅棒規(guī)格為8英寸,主要是用于制造太陽能電池片生產(chǎn)用的硅片。硅的單晶體具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體,不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料,%,%以上。常溫下不活潑,高溫下與氧、氮、硫等反應(yīng)。 產(chǎn)品性質(zhì)及用途化學(xué)名稱:單晶硅(Si,產(chǎn)品)性質(zhì):灰色金屬光澤,~,熔點1410℃,沸點2355℃。 工程基本情況 工程基本情況根據(jù)現(xiàn)場調(diào)查,項目擬建地現(xiàn)狀為農(nóng)田,工程基本情況見表11。項目擬建廠址位于某南部承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移集中區(qū),購買工藝及輔助設(shè)備儀器302(套)。年產(chǎn)2100噸高效單晶硅項目環(huán)境影響專項分析光能有限公司年產(chǎn)2100噸高效單晶硅項目環(huán)境影響專項分析目 錄1 工程概況 1 工程基本情況 1 工程生產(chǎn)工藝及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析 6 物料平衡及水平衡 9 本工程營運期污染因素分析 11 清潔生產(chǎn)方案及建議 17 工程污染物產(chǎn)生與排放狀況 192 防污減污措施評價 21 廢氣治理措施分析 21 廢水治理措施分析 23 本項目廢水排入漯河市污水凈化中心處理的可行性分析 27 固體廢物治理措施分析 28 噪聲防治措施分析 30 環(huán)保措施匯總及環(huán)保投資估算 31 環(huán)境監(jiān)控計劃 32 “三同時”竣工驗收內(nèi)容 323 環(huán)境風(fēng)險分析 34 風(fēng)險識別 34 環(huán)境風(fēng)險分析評價級別及范圍 36 最大可信事故 37 風(fēng)險防范措施和應(yīng)急措施 40 事故應(yīng)急預(yù)案 44 風(fēng)險事故應(yīng)急監(jiān)測及投資費用估算 45 環(huán)境風(fēng)險評價結(jié)論 461 工程概況主要從事單晶硅棒、單晶硅片及多晶硅錠、多晶硅片的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售服務(wù)。本項目是以多晶硅為主要原料,生產(chǎn)2100t/a高效單晶硅棒(折合1680t/a單晶硅方棒)。本項目產(chǎn)品高效單晶硅棒規(guī)格為8英寸,屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》(2005年本)中國家鼓勵發(fā)展的“6英寸及以上單晶硅、多晶硅及晶片制造”,因此項目建設(shè)符合國家產(chǎn)業(yè)政策的要求。表11 工程基本情況一覽表序號類 別建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模1項目名稱300兆瓦硅片太陽能光伏項目2建設(shè)性質(zhì)新建3建設(shè)地點某南部承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移集中區(qū)4項目投資5工作制度年工作8000h,折合333天,項目生產(chǎn)采用四班三運轉(zhuǎn),每天運行24h6勞動定員員工共計2050人7原輔材料原料多晶硅、籽晶、硝酸和氫氟酸的混酸等8公用工程供水自來水消耗量為234萬噸/年,本項目所需自來水由預(yù)留接口引入,能滿足要求供電項目用電量約37424萬度/年,引自11萬伏變電站9污水治理工程廢水處理站設(shè)計處理規(guī)模為3500m3/d,采用“中和+絮凝沉淀”工藝10排水去向污水在廠內(nèi)治理達標(biāo)后通過管網(wǎng)進入集中區(qū)內(nèi)當(dāng)涂縣污水凈化中心處理,處理達標(biāo)后排入黑河 產(chǎn)品方案、性質(zhì)及規(guī)格 產(chǎn)品方案本項目是以多晶硅為主要原料生產(chǎn)高效單晶硅棒,生產(chǎn)規(guī)模為每年單晶硅爐出爐高效單晶硅棒2100噸,折合產(chǎn)品單晶方棒1680噸/年,折合最終產(chǎn)品14000萬硅片。溶于氫氟酸和硝酸的混合酸,不溶于水、硝酸和鹽酸。具有半導(dǎo)體性質(zhì),是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料。單晶硅按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等用途:單晶硅主要用于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池,用于制大功率整流器、大功率晶體管、二極管、開關(guān)器件等 。 原輔材料及動力消耗本工程主要原輔材料及動力消耗情況見表12。32t6NaOH片堿 t/t424t7切割液聚乙二醇和碳化硅(1:) t/t146.9t8水/863 m3/t234萬m39電/37424萬度 原輔材料理化性質(zhì)本工程主要原輔材料及產(chǎn)品理化、毒理性質(zhì)見表13。本項目混酸中用到的硝酸濃度為26%。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發(fā)生劇烈反應(yīng),甚至引起燃燒,與堿金屬能發(fā)生劇烈反應(yīng)硝酸液及硝酸蒸氣對皮膚和粘膜有強刺激和腐蝕作用。吸入可引起肺炎。遇H發(fā)泡劑立即燃燒。 LC501276ppm,1小時(大鼠吸入),有劇毒3氫氧化鈉白色不透明固體,易潮解,易溶于水、乙醇、甘油,不溶于丙酮,相對密度(水=1),(739℃)本品不會燃燒,遇水和水蒸氣大量放熱,形成腐蝕性溶液。具有強腐蝕性。加熱至800℃以上即有延性,1300℃時顯出明顯變形。高溫熔融狀態(tài)下,具有較大的化學(xué)活潑性,能與幾乎任何材料作用。~。沸點2355℃。5單晶硅性質(zhì):硅的單晶體,是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體。%,%以上。用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成。表14 工程主要建設(shè)內(nèi)容表序號項 目建設(shè)內(nèi)容1主體工程洗晶廠房、倉庫、單晶及硅片廠房等2輔助工程動力廠房、氬氣罐區(qū)、純水制備、循環(huán)冷卻系統(tǒng)等3環(huán)保工程污水處理設(shè)施、廢氣處理設(shè)施等4辦公區(qū)綜合辦公樓、員工宿舍、餐廳等 工程主要設(shè)備本工程主要設(shè)備詳見表15。集中區(qū)用水由當(dāng)涂縣自來水公司供給,黃太路要鋪設(shè)有管徑為DN400(mm)的供水主干管,項目擬建廠址附近有預(yù)留接口,水質(zhì)滿足國家《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》要求。工程排水采取雨污分流,雨水直接排入集聚區(qū)的雨水管網(wǎng),污水在廠內(nèi)治理達標(biāo)后通過集中區(qū)污水管網(wǎng)進入當(dāng)涂縣污水凈化中心,處理后排入黑河。本項目部分工藝設(shè)備及消防用電設(shè)備屬一級用電負(fù)荷,其余均屬于二級用電負(fù)荷。 輔助工程 純水、軟水制備本項目生產(chǎn)中多晶硅料的清洗工段使用純水,爐體冷卻需用到軟水,其中純水制備時的前段工序可制得項目所需的軟水。純水系統(tǒng)分成前處理和后處理兩部分,均設(shè)置在動力廠房內(nèi)。后處理部分由純水加壓泵從初級純水箱取水,經(jīng)殺菌、脫氣、離子交換進入終端純水箱,最終由純水輸送泵經(jīng)殺菌、熱交換器、混床、超濾送至用戶,循環(huán)回水再回至終端純水箱。 氬氣系統(tǒng)單晶爐使用氬氣作保護氣,最大量450m3/h,平時用量350m3/h。液氬低溫槽車到接卸區(qū)后,接通貯罐與槽車的汽液相管,利用槽車的自身壓力將低溫液氬卸至貯罐。使用時,利用貯罐的壓力將液氬送入氣化器自然氣化,通過氬氣總管輸送至主機房。 循環(huán)冷卻系統(tǒng)本項目采用雙級板式換熱系統(tǒng),共建循環(huán)冷卻塔12座,冷卻塔循環(huán)水量為1000m3/h。 動力廠房動力廠房為單層鋼筋砼框架結(jié)構(gòu),鋼筋混凝土屋頂,層高7米;建筑火災(zāi)危險類別為戊類;主要包括變電站、制冷機組、純水站、控制室和值班室等。主要工藝過程包括:選料、清洗(酸洗、水洗)、配料、裝爐、拉晶、拆爐、斷頭尾、測試、圓棒切方、滾磨,磨面和切片。(2)清洗依次用酸、純水進行清洗,除去原料表面的雜質(zhì),此工段產(chǎn)生的污染物主要為廢液、酸性廢水和酸霧等。Si + 4HNO3 + 6HFH2SiF6 +
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