【正文】 步：將裝好硅片的料籃放于上料臺(tái)后，按開始按鈕，即進(jìn)行生產(chǎn)。?That’s all .Thank you. / 謝謝 ，再見。 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作鼓泡加水手動(dòng)畫面 手動(dòng)補(bǔ)液設(shè)置點(diǎn)擊 “鼓泡閥 ON”或 “加水閥 ON可對(duì)所需槽進(jìn)行鼓泡或加水。? 　 　　? 　　 　? 　　　　　　 　　? 　　　　? 　2022910單 晶 清 洗 設(shè) 備 培 訓(xùn) 概 述? 第一部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的組成? 第二部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的開機(jī)? 第三部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備操作? 第四部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的關(guān)機(jī)單晶清洗設(shè)備的組成一、單晶制絨機(jī) 單晶制絨槽式主體 /一臺(tái) 上下料臺(tái) /各一個(gè) NaOH、 IPA補(bǔ)液系統(tǒng) /一套 純水預(yù)熱槽 /一個(gè) 電控柜 /一個(gè)二、酸洗機(jī) 酸洗槽式主體 /一臺(tái) 上下料臺(tái) /各一個(gè) 電控柜 /一個(gè)三、去 PSG機(jī) 去 PSG槽式主體 /一臺(tái) 上下料臺(tái) /各一個(gè) 電控柜 /一個(gè)四、甩干機(jī)單晶清洗設(shè)備功能介紹單晶槽式制絨機(jī)： 用堿性溶液（ NAOH）清洗硅片表面的污 損， 并在硅片表面刻蝕出金字塔形的絨面。設(shè)置好補(bǔ)液量，手動(dòng)按 “ON”按鈕對(duì)所需工藝槽 DI水、 NAHO、 IPA進(jìn)行補(bǔ)液 單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第四步：確認(rèn)無報(bào)警后，再點(diǎn)擊 “監(jiān)控畫面 ”檢查設(shè)備槽體的溫度、液位是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，監(jiān)控顯示的花籃要與槽體里的一致。點(diǎn)擊畫面中的 “有 ”按鈕，則會(huì)顯示有籃，點(diǎn)擊 “無 ”顯示無籃。 去 PSG機(jī)： 用 HF去除硅片表面的磷硅玻璃。槽蓋手動(dòng)畫面 排水手動(dòng)畫面 單晶制絨設(shè)備