單晶制絨設備培訓ppt課件(參考版)
2025-01-13 16:01本頁面
【正文】 。中聯(lián)酸洗機的運行操作當各工藝條件滿足后，點擊 “原點搜索 ”，等屏幕左下角 “原點指示 ”顯示 “已到原點 ”后，分別點擊 “自動模式 ”“清洗已準備 ”“機械手運行 ”，設備即進入自動運行狀態(tài)。電源啟動運轉(zhuǎn)準備中聯(lián)酸洗機的運行操作主畫面進入 “主畫面 ”后，按屏幕右下角的 “菜單欄 ”，即進入菜單，對設備各項功能、工藝參數(shù)進行設置。開機檢查及關機參照制絨設備。 甩干機運行及操作第二步：等待溫度控制器上的溫度顯示達到設定值；第三步：點擊 “開門 ”按鈕，打開蓋板，放入裝載硅片的片盒后，雙手按住 “關門 ”按鈕，直至蓋板關到位；第四步：按 “運行 ”按鈕進行工作；第五步：甩干結(jié)束，蜂鳴器響后按 “開門 ”按鈕，打開蓋板取出片盒。酸洗設備 去 PSG設備 甩干機甩干設備開機前檢查壓縮空氣、氮氣、純水： 閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮氣壓力 46bar。開始按鈕單晶制絨設備的關機1. 確保 槽內(nèi)無花籃 ；2. 將設備切換到手動狀態(tài)， 通過觸摸屏排掉槽內(nèi)液體，并加 DI水清洗干凈；、純水預熱槽電源開關；、氮氣、壓縮空氣閥門。點擊畫面中的 “有 ”按鈕，則會顯示有籃，點擊 “無 ”顯示無籃。設置好補液量，手動按 “ON”按鈕對所需工藝槽 DI水、 NAHO、 IPA進行補液 單晶制絨設備運行及操作第四步：確認無報警后，再點擊 “監(jiān)控畫面 ”檢查設備槽體的溫度、液位是否達到標準，監(jiān)控顯示的花籃要與槽體里的一致。點擊 “加熱 ON”按鈕，對所對應槽進行加熱，加熱時 “加熱”標識顯示為綠色。點擊各對應槽體的 “閥 ON”，打開閥門排液，在排液前需對排液時間進行設置。點
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