集成電路制造技術(shù)-資料下載頁(yè)
2025-01-06 18:34本頁(yè)面
【正文】 Si2→ WCl 4↑+SiCl 4↑n 腐蝕 polySi：氟化物（ CF SF6） 各向同性； 氯化物（ Cl HCl） 各向異性， 選擇性好（多晶硅 /SiO2）。 干法刻蝕鋁及鋁合金的干法腐蝕n 幾個(gè)工藝問(wèn)題：①Al 2O3的去除：濺射、濕法腐蝕；②CuCl 2的去除：濕法腐蝕、濺射；③ 刻蝕后的侵蝕： HCl+Al → AlCl 3↑+H 2n 鋁及鋁合金的用途：柵電極、互連線、接觸； n 鋁合金： AlSi、 AlAu、 AlCu；n 刻蝕方法： RIE、等離子體；n 刻蝕劑： BCl CCl CHCl3； Cl*+ Al → AlCl 3↑ Cl*+ AlSi → AlCl 3↑+ SiCl 4 ↑ Cl*+ AlCu → AlCl 3↑+ CuCl 2 （不揮發(fā)） 干法刻蝕 干法刻蝕和濕法刻蝕的比較 刻蝕總結(jié)濕法刻蝕： 刻蝕 3μ m以上線條n 優(yōu)點(diǎn)：工藝簡(jiǎn)單，選擇性好。n 缺點(diǎn)：各向異性差，難于獲得精細(xì)圖形。干法腐蝕： 刻蝕 3μ m以下線條n 優(yōu)點(diǎn)：各向異性強(qiáng)；分辨率高； n 靜夜四無(wú)鄰，荒居舊業(yè)貧。 一月 21一月 21Thursday, January 28, 2023n 雨中黃葉樹(shù)，燈下白頭人。 13:11:4913:11:4913:111/28/2023 1:11:49 PMn 1以我獨(dú)沈久，愧君相見(jiàn)頻。 一月 2113:11:4913:11Jan2128Jan21n 1故人江海別，幾度隔山川。 13:11:4913:11:4913:11Thursday, January 28, 2023n 1乍見(jiàn)翻疑夢(mèng)，相悲各問(wèn)年。 一月 21一月 2113:11:4913:11:49January 28, 2023n 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見(jiàn)青山。 28 一月 20231:11:49 下午 13:11:49一月 21n 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 一月 211:11 下午 一月 2113:11January 28, 2023n 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 2023/1/28 13:11:4913:11:4928 January 2023n 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 1:11:49 下午 1:11 下午 13:11:49一月 21n 沒(méi)有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 一月 21一月 21Thursday, January 28, 2023n 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒(méi)有。 13:11:4913:11:4913:111/28/2023 1:11:49 PMn 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 一月 2113:11:4913:11Jan2128Jan21n 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無(wú)限完美。 13:11:4913:11:4913:11Thursday, January 28, 2023n 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 一月 21一月 2113:11:4913:11:49January 28, 2023n 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 28 一月 20231:11:49 下午 13:11:49一月 21n 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 一月 211:11 下午 一月 2113:11January 28, 2023n 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 2023/1/28 13:11:4913:11:4928 January 2023n 1空山新雨后，天氣晚來(lái)秋。 1:11:49 下午 1:11 下午 13:11:49一月 21n 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 一月 21一月 21Thursday, January 28, 2023n 閱讀一切好書(shū)如同和過(guò)去最杰出的人談話。 13:11:4913:11:4913:111/28/2023 1:11:49 PMn 1越是沒(méi)有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 一月 2113:11:4913:11Jan2128Jan21n 1越是無(wú)能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。 13:11:4913:11:4913:11Thursday, January 28, 2023n 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 一月 21一月 2113:11:4913:11:49January 28, 2023n 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 28 一月 20231:11:49 下午 13:11:49一月 21n 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。 一月 211:11 下午 一月 2113:11January 28, 2023n 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023/1/28 13:11:4913:11:4928 January 2023n 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 1:11:49 下午 1:11 下午 13:11:49一月 21MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看專家告訴
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