【正文】 測系統(tǒng)，為了保證A/D工作條件，電信號的幅度要求不能小于600mV，在此要求得到滿足的條件下。 （4）壓電陶瓷的回程誤差壓電陶瓷由于自身性能，在漂移修正的過程中存在回程誤差。經(jīng)實驗測量壓電陶瓷回程誤差為3nm。（5）偏振分光鏡的非線性誤差在激光外差干涉納米測量中，偏振分光鏡存在非線性誤差，在偏振分光鏡存在5176。旋轉(zhuǎn)角誤差的情況下。（6）光學元件膨脹誤差測量過程中，隨著真空加熱爐的升溫并向環(huán)境輻射能量，干涉光路所在的環(huán)境溫度發(fā)生變化，引起石英臺以及光學器件的膨脹變化，引起的誤差為67nm。 （7）振動在實驗過程中，由于真空系統(tǒng)、恒溫系統(tǒng)以及環(huán)境的振動帶來的誤差為4nm。（8）漂移修正誤差通過系統(tǒng)改進，大大減小了信號的漂移，通過測量，由修正引起的測量誤差4nm。 溫度測量不確定度溫度測量不確定度包括：溫度測量數(shù)字儀表的測量精度，測溫熱電偶的準確度，測量溫場的均勻性。（1）數(shù)字儀表的精度用8位半的數(shù)字多用表3458A來測量K熱電偶的熱電勢，其測量熱電勢精度能達到104mV，取均勻分布。（2）測溫熱電偶的準確度本套裝置所用的熱電偶是K型，%，取均勻分布。（3）測量溫場的均勻性爐子中間放樣品部分溫場分布不一致性在常溫、300℃、600℃、800℃、 K、 K、 K。 不確定度總表 測量不確定度總表不確定度項目不確定度數(shù)值（K1）常溫300℃600℃800℃樣品長度測量測量重復性1010101010101010電子數(shù)顯卡尺的分辨率109109109109形變量測量測量重復性109109109109激光穩(wěn)定性1013101310131013計數(shù)器分辨率1010101010101010壓電陶瓷回程誤差109109109109偏振分光鏡非線性誤差109109109109光學器件膨脹誤差108108108108振動109109109109信號漂移109109109109溫度測量測量儀表分辨率109109109109熱電偶準確度109109109109樣品溫度均勻性108108108108合成標準不確定度108108108108擴展標準不確定度(k=2)108108108108 小結(jié)不確定度就是對測量結(jié)果質(zhì)量的定量表征，測量結(jié)果的可用性很大程度上取決于其測量不確定度的大小，可以這樣講，不確定度評定就是對實驗過程誤差的來源因素進行評價，從而清楚的看出影響實驗準確度的主要因素，有利于改進實驗裝置，提高實驗測試結(jié)果的準確性。本章依據(jù)熱膨脹率計算公式，分析了不確定度的來源，并逐一定量的分析對測量結(jié)果影響的大小，即對不確定度來源分量進行評定，最后根據(jù)計算公式得到總的合成不確定度，使本裝置的測量結(jié)果與國外發(fā)達國家裝置的測量結(jié)果具有可比性。本章主要對738奧氏體不銹鋼和單晶硅的熱膨脹率的測量結(jié)果在常溫、300℃、600℃、800℃進行了不確定度評定。通過測量不確定度評定，可以看出，測量光路器件的膨脹形變誤差、樣品溫度均勻性對不確定度有重要的影響。第7章 全文總結(jié)本文利用中國計量科學研究院建立的材料線膨脹率測量裝置，以美國國家標準技術(shù)研究院提供的738奧氏體不銹鋼和單晶硅為樣品，實驗測量其在常溫、300℃、600℃、800℃時的熱膨脹率，并在實驗的基礎(chǔ)上對測量結(jié)果進行了國際比較，對影響測量的因素進行了分析討論，對裝置進行了改進以及開發(fā)了一套新的自動測量軟件，最后重點對該測量裝置的測量不確定度進行了全面分析。結(jié)論如下：1．該裝置在常溫、300℃、600℃、800℃時的測量相對標準偏差分別為：%，%，%，%。結(jié)果表明，該裝置有較高的重復性。2．該裝置測量結(jié)果與國際數(shù)據(jù)比較，相對偏差在3%以內(nèi)。3．信號漂移、溫場梯度、光學元件、升溫速率和升溫步長都是影響測量結(jié)果的因素。通過這些因素進行分析討論，得到了該裝置的性能參數(shù)，并對裝置進行了提高，同時為以后裝置的提高提供了依據(jù)。4．熱膨脹測量不確定度的分析結(jié)果：108K1，在300℃108K1，在600℃108K1，在800℃108K1。為了提高測量精度和測量效率，進一步工作如下：1. 提高計數(shù)器的計數(shù)性能，確保形變測量準確。2. 確保測量光路環(huán)境溫度的穩(wěn)定，減小因光學元件形變帶來的誤差。3. 提高加熱爐的溫場均勻性。4. 提高控溫系統(tǒng)的通信能力，將現(xiàn)有測量軟件與控溫系統(tǒng)相結(jié)合，進一步提高測量的自動化水平。5. 進一步進行不同升溫速率比較、不同升溫步長測量比較、以及進行升溫測量與降溫測量的比較等實驗。參考文獻[1] .[2] , , . 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