橢偏光法測(cè)量薄膜的厚度和折射率畢業(yè)論文-資料下載頁
2025-06-23 20:46本頁面
【正文】 用兩個(gè)不同消光位置的測(cè)量值求平均可以消除δA 引入的誤差，而δP 和δ2 對(duì)儀器的使用誤差不可忽視，儀器使用中應(yīng)確定橢偏儀器誤差θ=δP+δ2，并用測(cè)得的值對(duì)其樣品的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行修正。橢偏儀可以測(cè)量漫反射粗糙而薄的膜的厚度和折射率，實(shí)驗(yàn)表明，入射角較大時(shí)，測(cè)量誤差較小，可用“多角入射法”直接判斷膜厚周期的整數(shù)倍，從而求得薄膜的真實(shí)厚度。但對(duì)于漫反射系數(shù)和粗糙面厚度的確定還存在一些問題需要深入探討?！緟⒖嘉墨I(xiàn)】[1] [英]，[M].背景：國防工業(yè)出版社，1965[2] 莫黨、陳樹光、黃炳忠. SiSiO2膜的橢圓偏振光譜 [J].物理學(xué)報(bào)，1980,29（5）：673
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