材料分析方法第五章透射電鏡的結(jié)構(gòu)-資料下載頁
2025-03-19 16:18本頁面
【正文】 ? 如果把中間鏡的物平面和物鏡的后焦面重合，則在熒光屏上得到 所選區(qū)域的 電子衍射花樣，這就是電鏡中的 衍射操作 ，如圖 (b)。 (3)、投影鏡 ? 作用： 把經(jīng)中間鏡形成的像（電子衍射花樣）進(jìn)一步放大，并投影到熒光屏上，形成終像。 ? 它和物鏡一樣，是一個(gè)強(qiáng)磁短焦距透鏡，具有高放大倍數(shù)，可放大 100倍左右。 ? 成像電子束進(jìn)入投影鏡時(shí)孔徑角很?。s 103rad） ,因此它的景深和焦距都非常大。 觀察與記錄系統(tǒng) ? 在投影鏡之下是像的觀察和記錄系統(tǒng)。 ? 透過觀察窗可在熒光屏上看像和聚焦。 ? 像的記錄可采用多種方法，如照相機(jī)構(gòu)、電視攝像機(jī)、慢掃描 CCD照相機(jī)等。 ? 在熒光屏下面放置一個(gè)可以自動(dòng)換片的照相暗盒。照相時(shí)只要把熒光屏豎起，電子束即可使照相底片曝光。 第三節(jié) 透射電鏡的主要部件 ? 一、樣品臺(tái) ? 透射電鏡的樣品是放置在物鏡的上、下極靴之間。 ? 由于這里的空間很小，所以透射電鏡的樣品也很小，通常是直徑 2～ 3mm、 厚度約為 200納米的薄片。 ? 樣品臺(tái)的作用： ? ① 承載樣品 ； ? ② 使樣品能作平移、傾斜（調(diào)節(jié)試樣的晶體學(xué)方向）、旋轉(zhuǎn)，以選擇感興趣的樣品區(qū)域或位向進(jìn)行觀察和分析。 ? 側(cè)插式雙傾 樣品臺(tái) : ? 晶體結(jié)構(gòu)分析中用得最普遍 ! ? 包括測(cè)角試樣臺(tái)和樣品桿兩部分。 ? “側(cè)插” :就是樣品桿從極靴的側(cè)面進(jìn)入物鏡中。 ? 樣品夾在頂端的杯狀空間內(nèi)； ? 從真空腔外部通過樣品桿來操作樣品。 ? 側(cè)插雙軸傾斜試樣架示意圖 ? 對(duì)試樣的操作是通過試樣室外邊的試樣移動(dòng)機(jī)械裝置來完成的。 二、消像散器 ? 消像散器一般都安裝在透鏡的上、下極靴之間。 ? 作用： 把物鏡的固有的橢圓形磁場(chǎng)校正成接近軸對(duì)稱的圓形磁場(chǎng)。 ? 通過調(diào)整消像散器磁場(chǎng)的方向與大小，就可以把固有的橢圓形磁場(chǎng)校正成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱磁場(chǎng)，起到消除像散的作用。 三、光 闌 ? 作用： 主要是擋掉發(fā)散的電子，保證電子束的相干性和照射區(qū)域。 ? 材料： 都用無磁性的金屬（鉑、鉬等）制造。 ? 可動(dòng)光闌的結(jié)構(gòu)： ? 四個(gè)一組的光闌片被安裝在光闌支架上 （ 如圖 ） ； ? 使用時(shí) ， 按需要分檔推入鏡筒 ， 使光闌孔中心位于電子束的軸線上 ， 以便選擇不同孔徑的光闌 。 第二聚光鏡光闌 ? 位置： 在雙聚光鏡系統(tǒng)中 ，安裝在第二聚光鏡 的后焦面上 。 ? 作用： 限制電子束的照明孔徑角 。 ? 常用第二聚光鏡光闌孔直徑范圍： 20～ 400μm。 物鏡光闌 ? 位置：通常被放在物鏡的 后焦面 上。 ? 作用： ? ① 提高成像質(zhì)量。 減小物鏡的孔徑半角，從而減小像差（球差，像散和色差），得到質(zhì)量較高的顯微圖像。 ? ② 進(jìn)行明、 暗場(chǎng)的成像操作 。利用明、暗場(chǎng)圖像的對(duì)比分析，可方便地進(jìn)行物相鑒定和缺陷分析。 ? ③ 提高圖像的襯度 ? 電子束通過薄膜樣品后產(chǎn)生散射和衍射。散射角 (或衍射角 )較大的電子被光闌擋住，不能繼續(xù)進(jìn)入鏡筒成像，從而就會(huì)在像平面上形成具有一定襯度的圖像。因此物鏡光闌又叫做襯度光闌。 ? 常用物鏡光闌孔的直徑范圍 ： 20～ 120μ m。 選區(qū)光闌 ? 目的： 用于選擇樣品上的一個(gè)微小區(qū)域進(jìn)行衍射分析。 ? 方案一：在樣品上放一個(gè)光闌，使電子束只能通過光闌限定的微區(qū)。 (這無法實(shí)現(xiàn) ) ? 方案二：將光闌放在物鏡的 像平面 位置，此光闌稱為選區(qū)光闌。這樣布置達(dá)到的選區(qū)效果與光闌放在樣品平面處是完全一樣的；且光闌孔的直徑可以做得比較大。（ 可行 ） ? 一般選區(qū)光闌孔的直徑范圍： 20～ 400μ m。
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