[工學]微系統(tǒng)設(shè)計與制造第4章-資料下載頁
2025-01-16 05:31本頁面
【正文】 的工程力學 2022/2/13 40 )(11)2 32()1( 2 3 zTMhzhNE TTzz ?????? ???????位移分量： （ 452b） )232( 3 TT MhzhNExu ??)232( 3 TT MhzhNEyv ??]23)()1[()1(1)(43320223TTzTMhzNhzdzzTEEyxEhMw????????????? ?， x方向 （ 453a） ， y方向 （ 453b） ， z方向 （ 453c） 微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 41 法向熱力 和熱力矩 根據(jù)溫度函數(shù) 表示為： TN TM )(zT??? hhT dzzTEN )(?（ 454a） ??? hhT z d zzTEM )(?（ 454b） 其中， 是熱膨脹系數(shù)， 是楊氏膜量， 是材料的泊松比。 ?E?微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 42 溫度沿厚度方向變化的梁中的熱應力 如 圖 440梁的橫截面積 相應的慣性矩為 。 bhA 2?3/2 3bhI ?彎應力是我們關(guān)心的主要應力分量： IbMzAbNzETzx TTxx)()(),( ???? ??（ 455） 相應的應變分量為： )]([1),( TTxx bMIzAbNEzx ???（ 456a） )()1()]([),( zTEbMIzAbNEzx TTzz ???? ?????（ 456b） 微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 43 0?xz?沿 x方向的位移分量為： )]([),( TT bMIzAbNExzxu ??（ 457a） 沿 z方向的位移分量為： ???????zTTTdzzTEbMIzAbNExEIbMzxw02)()1()](2[2),(???（ 457b） 由熱力引起的 法向力和彎矩 ( 和 )分別用式 （ 454a） 和 （ 454b） 表示。 TN TM微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 44 彎曲梁的曲率按照下面方程計算： EIbM T???1 （ 4 58） 其中， 為彎曲梁的曲率半徑 。 ： 應力強度因子： 斷裂韌度 界面斷裂力學 應力強度因子 ：應力強度場使裂紋以三種不同的 模式發(fā)生變形他們分別是： 模式 1：斷開模式； 模式 2：邊緣滑移模式； 模式3: 撕裂模式。 應力強度因子 K用來分析裂紋周圍的應力場。裂紋的應力 和位移分量分別為 ： ?()I I I I I Iij ijK o r K o r K fr???微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 45 微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 46 （ 4－ 62） ()ij I I I I I I iu K o rK o rK r g ?? 斷裂韌度 圖 4－ 45a中的緊湊拉伸 （ CT） 試樣； 圖 4－ 45b中三點彎曲試樣； 界面斷裂力學 針對圖 4－ 46中不同材料的粘接面，兩種粘接材料有不同的性能參數(shù)分界面在垂直方向和側(cè)面剪切方向 微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 47 微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 48 微系統(tǒng)設(shè)計中的工程力學 2022/2/13 49
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