真空磁控鍍膜設備構造講義培訓(編輯修改稿)
2025-02-05 06:37 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 。轉子彼此無接觸，其間存在間隙。 羅茨泵具有以下特點： ? 在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速 ； ? 轉子之間、轉子不泵腔壁之間有間隙，泵腔內(nèi)運動件無摩擦，丌必潤滑，泵腔內(nèi)無油； ? 轉子形狀對稱，動平衡性能良好，運轉平穩(wěn)，選擇高精度的齒輪傳動，運轉時噪音低；可獲得較高轉速（抽速）； ? 對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣丌敏感； 1－前端端蓋； 2－油標； 3－壓力傳感器； 4－注油塞； 5－放油塞； 6－齒輪側軸承端蓋； 7－泵體； 8－入口法蘭 9－出口法蘭； 10－轉子； 11－馬達側軸承蓋； 12－中間法蘭； 13－油封處注油塞； 14－油封處放油塞； 15－籠形支架； 16－電動機； 17－泵底座 分子泵結構 ?按制造結構分類 油潤滑 脂潤滑 磁懸浮 ?連續(xù)抽除氣體 ?節(jié)省能源 ?可獲得清潔的真空 ?對被抽氣體無選擇性，對各種類氣體，抽速變化不大 ?起停機時間短 ?振動小，噪音低 ?操作維護方便，免維護周期長 ? 分子泵特點 真空泵的主要參數(shù) 真空計 ?熱偶真空規(guī) ?皮拉尼真空規(guī) ?電離真空規(guī) ?薄膜真空規(guī) 熱偶規(guī)和皮拉尼規(guī)都是以氣體的熱導率隨氣體壓力的變化為基礎而設計的，它們是低真空時最常用的測量手段。 工作原理： 在熱偶真空規(guī)中，在作為熱絲的 Pt絲中通過恒定強度的電流。在達到熱平衡以后，電流提供的加熱功率與通過空間熱輻射、金屬絲熱傳導以及氣體分子熱傳導而損失的功率相等，因而熱絲的溫度將隨著真空度的不同而呈現(xiàn)有規(guī)律的變化。 熱偶真空規(guī) 在 ，氣體的熱導率將隨著氣
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