【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 蝕刻液各項(xiàng)指標(biāo)的不同可以直接導(dǎo)致干濕蝕刻的比重有很大的差別，至于優(yōu)劣與否還需要進(jìn)一步的考察。2．具體產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的差異性分析由于信息的局限性，目前我們只掌握了成洪磷一家關(guān)于 TFT 和 IC 用磷酸的標(biāo)準(zhǔn)。據(jù)悉，國(guó)內(nèi)只有他一家取得了電子級(jí)磷酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)上的突破，也就是說(shuō)只有成洪磷成功的生產(chǎn)出 grade 1 和 grade 2，兩個(gè)電子級(jí)磷酸的產(chǎn)品，其具體指標(biāo)如表所示：級(jí)別 顆粒/μm 含量/ 1 各種金屬雜質(zhì)含量 適用半導(dǎo)體 IC/μmMOS ≥5 27 ≤*10 4 ≥5BVI ≥2 3 ≤(1n)*10 8 ≥3BVII ≥2 2 ≤(1n)*10 8 2SEMIC1 ≥1 25 ≤*10 7 ≥C7,BVⅢ ≥ 25 ≤*10 8 C8, BVⅣ ≥ 5 ≤*10 9 C12, BVⅤ ≥ TBD ≤*10 10 13 / 41成洪磷電子級(jí)磷酸標(biāo)準(zhǔn)成洪磷電子級(jí)磷酸標(biāo)準(zhǔn) Items Unit用于液晶顯示器（TFTLCD）的鋁刻蝕劑 用于半導(dǎo)體（IC）芯片清洗和腐蝕H3P04 WT% Color ppm ≤10 ≤10NO3 ppm ≤5 ≤SO4 ppm ≤10 ≤5CL ppm ≤1 ≤AL ppb ≤100 ≤50K ppb ≤100 ≤50Sb ppb ≤500 ≤400As ppb ≤50 ≤10Bi ppb ≤20 ≤10Ba ppb ≤50 ≤20B ppb ≤50 ≤30Cd ppb ≤50 ≤10Ca ppb ≤400 ≤150Cr ppb ≤50 ≤30Co ppb ≤50 ≤30Cu ppb ≤20 ≤20Au ppb ≤50 ≤10Ga ppb ≤10 ≤10Fe ppb ≤400 ≤150Pb ppb ≤50 ≤30Li ppb ≤20 ≤10Mg ppb ≤50 ≤20Mn ppb ≤50 ≤20Ni ppb ≤50 ≤20Ag ppb ≤30 ≤10Na ppb ≤100 ≤50Sn ppb ≤30 ≤20Sr ppb ≤20 ≤10Ti ppb ≤100 ≤50Zn ppb ≤100 ≤50還原性物質(zhì)ppm ≤10 ≤10微粒（最多）Pcs/ml ≤100 ≤50如上表數(shù)據(jù)所示，成洪磷所用的 TFT 和 IC 用磷酸標(biāo)準(zhǔn)是不同的，但是為了更加準(zhǔn)確的判斷他們之間的不同以及差異程度，我們?cè)谶@里用統(tǒng)計(jì)的方法對(duì)其14 / 41進(jìn)行假設(shè)，希望得到一個(gè)相對(duì)合理的結(jié)論。假設(shè)他們的指標(biāo)為準(zhǔn)確值而不是一個(gè)區(qū)間范圍并用 SPSS 來(lái)統(tǒng)計(jì)他們的不同程度。其實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下。Paired Samples StatisticsMean N Std. Deviation Std. ErrorMeanPair 1 TFT 31 IC 31 Paired Samples Test Paired Differences t dfSig. (2tailed) Mean Std. Deviation Std. Error Mean95% Confidence Interval of the Difference Lower Upper Pair 1 TFT IC 30 .001Paired samples test 是統(tǒng)計(jì)學(xué)中專(zhuān)門(mén)用來(lái)估算同一產(chǎn)品的兩個(gè)不同方面差異性的實(shí)驗(yàn)，其可信度很高。其中最為重要的結(jié)果是 Sig. Twotailed, 如,就標(biāo)志著我們比較的兩組數(shù)據(jù)趨勢(shì)是完全不同的。如上表所示，成洪磷的 TFT 用和 IC 用電子級(jí)磷酸的 Sig. Twotailed ，這說(shuō)明其兩種產(chǎn)品指標(biāo)之間存在很大的差異性，其中 TFT 用磷酸的 Deviation 是，而 IC 用磷酸為 ，這表明 IC 用磷酸標(biāo)準(zhǔn)明顯高于其生產(chǎn)的TFT 用磷酸。關(guān)于它們之間的不同的程度我們可以用下列公式計(jì)算得出：Eta Squared= t2 / (t2 +N1)≈(=差異程度較小， .06=差異程度適中，.14=差異程度較大)%說(shuō)明成洪磷的 TFT 和 IC 用磷酸標(biāo)準(zhǔn)本質(zhì)區(qū)別非常大。關(guān)于具體的差異程度，我們可以用 TFT 的指標(biāo)為基數(shù)來(lái)計(jì)算平均值的方法估算出來(lái)，最后結(jié)果約為 50%，這就意味著成洪磷的 IC 用磷酸標(biāo)準(zhǔn)高于其TFT 用磷酸標(biāo)準(zhǔn)約一半左右。圖：成洪磷電子級(jí)磷酸標(biāo)準(zhǔn)趨勢(shì)圖15 / 410100200300400500600AL Sb Bi B Ca Co Au Fe Li Mn Ag Sn Tippb TFT用 標(biāo) 準(zhǔn)IC用 標(biāo) 準(zhǔn)在 TFTLCD 制成中因線寬遠(yuǎn)較半導(dǎo)體制成大， （估計(jì)大 1μm）所以他們使用的磷酸標(biāo)準(zhǔn)存在著差異。專(zhuān)業(yè)人士認(rèn)為 TFT 用與 IC 用磷酸的不同主要在于線寬的品質(zhì)上。TFTLCD 大概在 ；而 IC 在 左右。 由于 TFTLCD的線寬大一些，所準(zhǔn)許的微塵顆粒比 IC 要多一些。因此，線寬的不同可以是造成 TFT 用和 IC 用磷酸不同的一個(gè)本質(zhì)原因。全球 TFTLCD 企業(yè)主要集中在臺(tái)灣,日本和韓國(guó)這三個(gè)國(guó)家，再加上中國(guó)大陸地區(qū)的幾個(gè)企業(yè)，總體來(lái)說(shuō) TFTLCD 生產(chǎn)線電子級(jí)使用也集中在上述三個(gè)國(guó)家中。種種信息表明，TFTLCD行業(yè)處于產(chǎn)業(yè)周期的回升階段，該上升趨勢(shì)至少要維持到2022年。三星、夏普、友達(dá)、8代線，到2022年大約有7條7代以上的線建成。IC的新生產(chǎn)線也都在投資建設(shè)中。預(yù)計(jì)2022年之前全球的電子級(jí)磷酸容量在10萬(wàn)噸左右。信息顯示，全球電子級(jí)磷酸擴(kuò)產(chǎn)的企業(yè)都在日本。日本急速擴(kuò)產(chǎn)有兩種可能：一是為了滿(mǎn)足市場(chǎng)的增長(zhǎng)；二是為了和其他企業(yè)爭(zhēng)奪現(xiàn)有市場(chǎng)。不管是哪一種可能性，都意味著要進(jìn)入這個(gè)市場(chǎng)，就要和日本的企業(yè)進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)是必然的。16 / 41從整個(gè)世界磷酸市場(chǎng)的需求供給分布來(lái)看，主要的磷酸需求地區(qū)和電子級(jí)磷酸生產(chǎn)地區(qū)都集中在亞洲，又特別以日本、韓國(guó)、臺(tái)灣和中國(guó)大陸四個(gè)國(guó)家地區(qū)為重中之重。5 大陸電子級(jí)磷酸市場(chǎng)綜述目前大陸市場(chǎng)電子級(jí)磷酸的用量大約就在 3500 噸左右。考慮目前在建的項(xiàng)目：龍騰光電 5 代線，4 萬(wàn)片，天馬 代，3 萬(wàn)片（07 年），磷酸用量每月將增加 100120 噸。預(yù)計(jì) 2022 年大陸電子級(jí)磷酸年消耗量可以達(dá)到 5000 噸。除了以磷酸形式進(jìn)口的以外，估計(jì)大量的需求是以進(jìn)口磷酸蝕刻液來(lái)滿(mǎn)足的。蝕刻液的進(jìn)口量由于數(shù)據(jù)無(wú)法單獨(dú)提出來(lái)，而無(wú)從知道。但是我們可以大致推算蝕刻液用量和磷酸用量的比例。我們知道 05 年的磷酸進(jìn)口量大約是1400 噸，而根據(jù)下表測(cè)算出的實(shí)際需求量應(yīng)該是 3500 多噸，那么就是說(shuō)明了以蝕刻液方式進(jìn)口的磷酸應(yīng)該大約是 2100 噸。也就是說(shuō)以蝕刻液方式進(jìn)口的磷酸用量大約是以磷酸方式進(jìn)口的 倍。企業(yè) 磷酸用量上廣電 840 噸/年京東方 720 噸/年吉林彩晶 360 噸/年TFTLCD小計(jì) 1920 噸/年中芯國(guó)際 720 噸/年臺(tái)積電 100 噸/年和艦科技 60 噸/年上海宏力 200 噸/年上海先進(jìn) 60 噸/年上海華虹 60 噸/年IC首鋼日電 60 噸/年17 / 41其他：上海貝嶺、無(wú)錫華潤(rùn)、無(wú)錫 58 所、紹興華越、寧波國(guó)微明華、燕東、福建福順、沈陽(yáng) 47 所、天水天光、西安 771 所、重慶 24 所、杭州士蘭、中緯積體、樂(lè)山菲尼克斯、上海新進(jìn)等20 噸/年/條線，約有 20 條線小計(jì) 1660 噸/年合計(jì) 3580 噸/年6．電子級(jí)磷酸進(jìn)出口分析 大陸進(jìn)出口數(shù)據(jù)分析 2022 年中國(guó)大陸磷酸進(jìn)口統(tǒng)計(jì)2022 年中國(guó)大陸磷酸進(jìn)口統(tǒng)計(jì) 單位：噸進(jìn)口國(guó) 進(jìn)口量日本 臺(tái)灣 韓國(guó) 美國(guó) 其他 合計(jì) 2022 年中國(guó)進(jìn)口磷酸 3239 噸，可以認(rèn)為都是用于液晶顯示器和 IC 行業(yè)或2022年 中 國(guó) 磷 酸 進(jìn) 口 結(jié) 構(gòu) 圖美 國(guó)1% 韓 國(guó)10%日 本61%臺(tái) 灣20%其 他8%美 國(guó)韓 國(guó)日 本臺(tái) 灣其 他18 / 41更高級(jí)別的電子級(jí)磷酸。中國(guó)主要從日本進(jìn)口電子級(jí)磷酸，2022 年從日本進(jìn)口磷酸 1954 噸，占進(jìn)口總量的 61%，其次是臺(tái)灣和韓國(guó)，分別占進(jìn)口總量的 20%和10%。隨著國(guó)內(nèi) TFTLCD 和 IC 的發(fā)展，中國(guó)對(duì)電子級(jí)磷酸的需要越來(lái)越大，平均以 30%的年需求量遞增，按此計(jì)算，預(yù)計(jì) 2022 年，中國(guó)電子級(jí)磷酸需求量將達(dá)到 4500 噸左右，不包括進(jìn)口蝕刻液中所含磷酸。 主要進(jìn)口單位上廣電磷酸使用情況我們分析了上廣電 05 年，06 年，07 年的進(jìn)口磷酸數(shù)據(jù)，得到以下信息。上廣電 2022 年進(jìn)口磷酸 824 噸，平均每月用量 噸。每月進(jìn)口量如下圖；上廣電 05 年~07 年磷酸進(jìn)口量統(tǒng)計(jì) 單位:噸中 國(guó) 05~07年 進(jìn) 口 磷 酸 增 長(zhǎng) 圖14762199323949% 47%05001000150020222500300035002022 2022 2022 進(jìn) 口 數(shù) 量增 長(zhǎng) 率上 廣 電 07年 每 月 磷 酸 進(jìn) 口 量18950075800132650379009475010380075800568507580075800758 00202204000060000800001000001202201400001 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12磷 酸 用 量 （ 千 克 ）上 廣 電 05~07磷 酸 進(jìn) 口 量 和 年 增 長(zhǎng) 率416891 824114%%010020030040050060070080090010002022 2022 202201進(jìn) 口 量增 長(zhǎng) 率19 / 41上廣電 2022 年進(jìn)口磷酸 824 噸，平均單價(jià)是 美元/千克。從圖上看出，2022 年比 2022 年進(jìn)口減少了 67 噸，基本上是上廣電一個(gè)月的用量。2022 年和2022 年上廣電進(jìn)口量相差不大，這是上廣電已經(jīng)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)并穩(wěn)定發(fā)展的一個(gè)信號(hào)，排除上廣電擴(kuò)產(chǎn)因素以此預(yù)計(jì) 2022 年上廣電磷酸用量將在 850~900 噸之間。 其它企業(yè)高純磷酸使用情況2022 年大陸其它 IC 廠家進(jìn)口磷酸表 單位:噸單位 進(jìn)口量上海宏力 上海先進(jìn) 上海華虹 90無(wú)錫華晶 海力士 中芯國(guó)際 臺(tái)積電 和艦科技 首鋼日電 中緯積體 成都成芯 中國(guó)大陸其他使用高純磷酸的廠家，例如京東方、龍騰光電等并沒(méi)有海關(guān)數(shù)據(jù)可以查閱。我們分析這些廠家直接是進(jìn)口蝕刻液的，另外，中國(guó)海關(guān)數(shù)據(jù)顯示中國(guó)從韓國(guó)進(jìn)口磷酸 317 噸，而韓國(guó)海關(guān)數(shù)據(jù)顯示，韓國(guó)出口到中國(guó)的磷酸是 422 噸，相差 100 多噸，可能這就是蝕刻液部分。20 / 416． 2022 年臺(tái)灣進(jìn)出口數(shù)據(jù) 進(jìn)口主要進(jìn)口交易國(guó)和交易量 單位：噸國(guó)別 比利時(shí) 美國(guó) 中國(guó) 韓國(guó) 日本 馬來(lái)西亞 其它數(shù)量 22571 2022 年臺(tái)灣共進(jìn)口磷酸 40189 噸，其中中國(guó)大陸貢獻(xiàn)了 22571 噸，但從價(jià)格上判斷不是電子級(jí)磷酸，最多也就是澄星集團(tuán)所謂的“準(zhǔn)電子級(jí)” 磷酸。 出口2022 年臺(tái)灣磷酸出口海關(guān)數(shù)據(jù)表 單位：噸交易國(guó) 巴基斯坦 日本 中國(guó) 澳大利亞 厄瓜多爾 泰國(guó) 馬來(lái)西亞 其它 合計(jì)數(shù)量 1476 1227 609 308 269 147 129 204 4370臺(tái) 灣 2022年 磷 酸 進(jìn) 口 交 易 國(guó) 所 占 比 重比 利 時(shí)4%日 本10%其 它0%中 國(guó)56%馬 來(lái) 西 亞2%美 國(guó)1%韓 國(guó)27% 比 利 時(shí)日 本其 它中 國(guó)馬 來(lái) 西 亞美 國(guó)韓 國(guó)2022年 臺(tái) 灣 磷 酸 出 口 貿(mào) 易 圖馬 來(lái) 西 亞3% 中 國(guó)14%日 本28%澳 大 利 亞7%其 它5%泰 國(guó)3%巴 基 斯 坦34%厄 瓜 多 爾6% 馬 來(lái) 西 亞中 國(guó)日 本澳 大 利 亞其 它泰 國(guó)巴 基 斯 坦厄 瓜 多 爾21 / 412022 年臺(tái)灣共出口磷酸共計(jì) 4370 噸，其中電子級(jí)磷酸是 2081 噸，占出口總量的 %。電子級(jí)磷酸主要出口到中國(guó)、日本、馬來(lái)西亞等。 日本 2022 年度磷酸進(jìn)出口數(shù)據(jù) 進(jìn)口2022 年日本磷酸進(jìn)口數(shù)據(jù)表 單位：噸國(guó)別 馬來(lái)西亞 中國(guó) 韓國(guó) 摩洛哥 越南 英國(guó) 德國(guó) 美國(guó) 臺(tái)灣 其它數(shù)量 458 22114 482 9217 121 292 3 18 1227 10477表中有顏色底紋的是電子級(jí)磷酸，即是進(jìn)口價(jià)格大于 1 美元/千克。日本從中國(guó)進(jìn)口 2 萬(wàn)多噸磷酸，買(mǎi)給中國(guó) 2 千多噸磷酸，進(jìn)出比 10 比 1，幾年差不多都是如此。2022 年日本電子級(jí)磷酸進(jìn)口交易圖2022 年