【文章內(nèi)容簡介】 蝕刻液各項指標的不同可以直接導(dǎo)致干濕蝕刻的比重有很大的差別，至于優(yōu)劣與否還需要進一步的考察。2．具體產(chǎn)品標準的差異性分析由于信息的局限性，目前我們只掌握了成洪磷一家關(guān)于 TFT 和 IC 用磷酸的標準。據(jù)悉，國內(nèi)只有他一家取得了電子級磷酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)上的突破，也就是說只有成洪磷成功的生產(chǎn)出 grade 1 和 grade 2，兩個電子級磷酸的產(chǎn)品，其具體指標如表所示：級別 顆粒/μm 含量/ 1 各種金屬雜質(zhì)含量 適用半導(dǎo)體 IC/μmMOS ≥5 27 ≤*10 4 ≥5BVI ≥2 3 ≤(1n)*10 8 ≥3BVII ≥2 2 ≤(1n)*10 8 2SEMIC1 ≥1 25 ≤*10 7 ≥C7,BVⅢ ≥ 25 ≤*10 8 C8, BVⅣ ≥ 5 ≤*10 9 C12, BVⅤ ≥ TBD ≤*10 10 13 / 41成洪磷電子級磷酸標準成洪磷電子級磷酸標準 Items Unit用于液晶顯示器（TFTLCD）的鋁刻蝕劑 用于半導(dǎo)體（IC）芯片清洗和腐蝕H3P04 WT% Color ppm ≤10 ≤10NO3 ppm ≤5 ≤SO4 ppm ≤10 ≤5CL ppm ≤1 ≤AL ppb ≤100 ≤50K ppb ≤100 ≤50Sb ppb ≤500 ≤400As ppb ≤50 ≤10Bi ppb ≤20 ≤10Ba ppb ≤50 ≤20B ppb ≤50 ≤30Cd ppb ≤50 ≤10Ca ppb ≤400 ≤150Cr ppb ≤50 ≤30Co ppb ≤50 ≤30Cu ppb ≤20 ≤20Au ppb ≤50 ≤10Ga ppb ≤10 ≤10Fe ppb ≤400 ≤150Pb ppb ≤50 ≤30Li ppb ≤20 ≤10Mg ppb ≤50 ≤20Mn ppb ≤50 ≤20Ni ppb ≤50 ≤20Ag ppb ≤30 ≤10Na ppb ≤100 ≤50Sn ppb ≤30 ≤20Sr ppb ≤20 ≤10Ti ppb ≤100 ≤50Zn ppb ≤100 ≤50還原性物質(zhì)ppm ≤10 ≤10微粒（最多）Pcs/ml ≤100 ≤50如上表數(shù)據(jù)所示，成洪磷所用的 TFT 和 IC 用磷酸標準是不同的，但是為了更加準確的判斷他們之間的不同以及差異程度，我們在這里用統(tǒng)計的方法對其14 / 41進行假設(shè)，希望得到一個相對合理的結(jié)論。假設(shè)他們的指標為準確值而不是一個區(qū)間范圍并用 SPSS 來統(tǒng)計他們的不同程度。其實驗結(jié)果如下。Paired Samples StatisticsMean N Std. Deviation Std. ErrorMeanPair 1 TFT 31 IC 31 Paired Samples Test Paired Differences t dfSig. (2tailed) Mean Std. Deviation Std. Error Mean95% Confidence Interval of the Difference Lower Upper Pair 1 TFT IC 30 .001Paired samples test 是統(tǒng)計學(xué)中專門用來估算同一產(chǎn)品的兩個不同方面差異性的實驗，其可信度很高。其中最為重要的結(jié)果是 Sig. Twotailed, 如,就標志著我們比較的兩組數(shù)據(jù)趨勢是完全不同的。如上表所示，成洪磷的 TFT 用和 IC 用電子級磷酸的 Sig. Twotailed ，這說明其兩種產(chǎn)品指標之間存在很大的差異性，其中 TFT 用磷酸的 Deviation 是，而 IC 用磷酸為 ，這表明 IC 用磷酸標準明顯高于其生產(chǎn)的TFT 用磷酸。關(guān)于它們之間的不同的程度我們可以用下列公式計算得出：Eta Squared= t2 / (t2 +N1)≈(=差異程度較小， .06=差異程度適中，.14=差異程度較大)%說明成洪磷的 TFT 和 IC 用磷酸標準本質(zhì)區(qū)別非常大。關(guān)于具體的差異程度，我們可以用 TFT 的指標為基數(shù)來計算平均值的方法估算出來，最后結(jié)果約為 50%，這就意味著成洪磷的 IC 用磷酸標準高于其TFT 用磷酸標準約一半左右。圖：成洪磷電子級磷酸標準趨勢圖15 / 410100200300400500600AL Sb Bi B Ca Co Au Fe Li Mn Ag Sn Tippb TFT用 標 準IC用 標 準在 TFTLCD 制成中因線寬遠較半導(dǎo)體制成大， （估計大 1μm）所以他們使用的磷酸標準存在著差異。專業(yè)人士認為 TFT 用與 IC 用磷酸的不同主要在于線寬的品質(zhì)上。TFTLCD 大概在 ；而 IC 在 左右。 由于 TFTLCD的線寬大一些，所準許的微塵顆粒比 IC 要多一些。因此，線寬的不同可以是造成 TFT 用和 IC 用磷酸不同的一個本質(zhì)原因。全球 TFTLCD 企業(yè)主要集中在臺灣,日本和韓國這三個國家，再加上中國大陸地區(qū)的幾個企業(yè)，總體來說 TFTLCD 生產(chǎn)線電子級使用也集中在上述三個國家中。種種信息表明，TFTLCD行業(yè)處于產(chǎn)業(yè)周期的回升階段，該上升趨勢至少要維持到2022年。三星、夏普、友達、8代線，到2022年大約有7條7代以上的線建成。IC的新生產(chǎn)線也都在投資建設(shè)中。預(yù)計2022年之前全球的電子級磷酸容量在10萬噸左右。信息顯示，全球電子級磷酸擴產(chǎn)的企業(yè)都在日本。日本急速擴產(chǎn)有兩種可能：一是為了滿足市場的增長；二是為了和其他企業(yè)爭奪現(xiàn)有市場。不管是哪一種可能性，都意味著要進入這個市場，就要和日本的企業(yè)進行競爭是必然的。16 / 41從整個世界磷酸市場的需求供給分布來看，主要的磷酸需求地區(qū)和電子級磷酸生產(chǎn)地區(qū)都集中在亞洲，又特別以日本、韓國、臺灣和中國大陸四個國家地區(qū)為重中之重。5 大陸電子級磷酸市場綜述目前大陸市場電子級磷酸的用量大約就在 3500 噸左右?？紤]目前在建的項目：龍騰光電 5 代線，4 萬片，天馬 代，3 萬片（07 年），磷酸用量每月將增加 100120 噸。預(yù)計 2022 年大陸電子級磷酸年消耗量可以達到 5000 噸。除了以磷酸形式進口的以外，估計大量的需求是以進口磷酸蝕刻液來滿足的。蝕刻液的進口量由于數(shù)據(jù)無法單獨提出來，而無從知道。但是我們可以大致推算蝕刻液用量和磷酸用量的比例。我們知道 05 年的磷酸進口量大約是1400 噸，而根據(jù)下表測算出的實際需求量應(yīng)該是 3500 多噸，那么就是說明了以蝕刻液方式進口的磷酸應(yīng)該大約是 2100 噸。也就是說以蝕刻液方式進口的磷酸用量大約是以磷酸方式進口的 倍。企業(yè) 磷酸用量上廣電 840 噸/年京東方 720 噸/年吉林彩晶 360 噸/年TFTLCD小計 1920 噸/年中芯國際 720 噸/年臺積電 100 噸/年和艦科技 60 噸/年上海宏力 200 噸/年上海先進 60 噸/年上海華虹 60 噸/年IC首鋼日電 60 噸/年17 / 41其他：上海貝嶺、無錫華潤、無錫 58 所、紹興華越、寧波國微明華、燕東、福建福順、沈陽 47 所、天水天光、西安 771 所、重慶 24 所、杭州士蘭、中緯積體、樂山菲尼克斯、上海新進等20 噸/年/條線，約有 20 條線小計 1660 噸/年合計 3580 噸/年6．電子級磷酸進出口分析 大陸進出口數(shù)據(jù)分析 2022 年中國大陸磷酸進口統(tǒng)計2022 年中國大陸磷酸進口統(tǒng)計 單位：噸進口國 進口量日本 臺灣 韓國 美國 其他 合計 2022 年中國進口磷酸 3239 噸，可以認為都是用于液晶顯示器和 IC 行業(yè)或2022年 中 國 磷 酸 進 口 結(jié) 構(gòu) 圖美 國1% 韓 國10%日 本61%臺 灣20%其 他8%美 國韓 國日 本臺 灣其 他18 / 41更高級別的電子級磷酸。中國主要從日本進口電子級磷酸，2022 年從日本進口磷酸 1954 噸，占進口總量的 61%，其次是臺灣和韓國，分別占進口總量的 20%和10%。隨著國內(nèi) TFTLCD 和 IC 的發(fā)展，中國對電子級磷酸的需要越來越大，平均以 30%的年需求量遞增，按此計算，預(yù)計 2022 年，中國電子級磷酸需求量將達到 4500 噸左右，不包括進口蝕刻液中所含磷酸。 主要進口單位上廣電磷酸使用情況我們分析了上廣電 05 年，06 年，07 年的進口磷酸數(shù)據(jù)，得到以下信息。上廣電 2022 年進口磷酸 824 噸，平均每月用量 噸。每月進口量如下圖；上廣電 05 年~07 年磷酸進口量統(tǒng)計 單位:噸中 國 05~07年 進 口 磷 酸 增 長 圖14762199323949% 47%05001000150020222500300035002022 2022 2022 進 口 數(shù) 量增 長 率上 廣 電 07年 每 月 磷 酸 進 口 量18950075800132650379009475010380075800568507580075800758 00202204000060000800001000001202201400001 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12磷 酸 用 量 （ 千 克 ）上 廣 電 05~07磷 酸 進 口 量 和 年 增 長 率416891 824114%%010020030040050060070080090010002022 2022 202201進 口 量增 長 率19 / 41上廣電 2022 年進口磷酸 824 噸，平均單價是 美元/千克。從圖上看出，2022 年比 2022 年進口減少了 67 噸，基本上是上廣電一個月的用量。2022 年和2022 年上廣電進口量相差不大，這是上廣電已經(jīng)實現(xiàn)生產(chǎn)并穩(wěn)定發(fā)展的一個信號，排除上廣電擴產(chǎn)因素以此預(yù)計 2022 年上廣電磷酸用量將在 850~900 噸之間。 其它企業(yè)高純磷酸使用情況2022 年大陸其它 IC 廠家進口磷酸表 單位:噸單位 進口量上海宏力 上海先進 上海華虹 90無錫華晶 海力士 中芯國際 臺積電 和艦科技 首鋼日電 中緯積體 成都成芯 中國大陸其他使用高純磷酸的廠家，例如京東方、龍騰光電等并沒有海關(guān)數(shù)據(jù)可以查閱。我們分析這些廠家直接是進口蝕刻液的，另外，中國海關(guān)數(shù)據(jù)顯示中國從韓國進口磷酸 317 噸，而韓國海關(guān)數(shù)據(jù)顯示，韓國出口到中國的磷酸是 422 噸，相差 100 多噸，可能這就是蝕刻液部分。20 / 416． 2022 年臺灣進出口數(shù)據(jù) 進口主要進口交易國和交易量 單位：噸國別 比利時 美國 中國 韓國 日本 馬來西亞 其它數(shù)量 22571 2022 年臺灣共進口磷酸 40189 噸，其中中國大陸貢獻了 22571 噸，但從價格上判斷不是電子級磷酸，最多也就是澄星集團所謂的“準電子級” 磷酸。 出口2022 年臺灣磷酸出口海關(guān)數(shù)據(jù)表 單位：噸交易國 巴基斯坦 日本 中國 澳大利亞 厄瓜多爾 泰國 馬來西亞 其它 合計數(shù)量 1476 1227 609 308 269 147 129 204 4370臺 灣 2022年 磷 酸 進 口 交 易 國 所 占 比 重比 利 時4%日 本10%其 它0%中 國56%馬 來 西 亞2%美 國1%韓 國27% 比 利 時日 本其 它中 國馬 來 西 亞美 國韓 國2022年 臺 灣 磷 酸 出 口 貿(mào) 易 圖馬 來 西 亞3% 中 國14%日 本28%澳 大 利 亞7%其 它5%泰 國3%巴 基 斯 坦34%厄 瓜 多 爾6% 馬 來 西 亞中 國日 本澳 大 利 亞其 它泰 國巴 基 斯 坦厄 瓜 多 爾21 / 412022 年臺灣共出口磷酸共計 4370 噸，其中電子級磷酸是 2081 噸，占出口總量的 %。電子級磷酸主要出口到中國、日本、馬來西亞等。 日本 2022 年度磷酸進出口數(shù)據(jù) 進口2022 年日本磷酸進口數(shù)據(jù)表 單位：噸國別 馬來西亞 中國 韓國 摩洛哥 越南 英國 德國 美國 臺灣 其它數(shù)量 458 22114 482 9217 121 292 3 18 1227 10477表中有顏色底紋的是電子級磷酸，即是進口價格大于 1 美元/千克。日本從中國進口 2 萬多噸磷酸，買給中國 2 千多噸磷酸，進出比 10 比 1，幾年差不多都是如此。2022 年日本電子級磷酸進口交易圖2022 年