電子顯微技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-28 18:02 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 上可形成 ≤2nm的光斑，但由于透鏡象散的影響，實際光斑尺寸較大。透鏡的象散主要來源于色差和球差。色差使光斑成為一漫散圓斑，直徑為 dc=（ E/E0） CCα E/E0為電鏡的高壓分辨率； CC為色差系數(shù)； α為透鏡孔徑半角。 球差的影響也使光斑成一漫散射圓斑，半徑為 RS=1/2 CSα3 CS為球差系數(shù)。 ? 因此，最終實際光斑尺寸一般為 5nm左右。由此可見，儀器分辨率的進一步改善必須通過采用更好的透鏡以減小 CC和 CS，以及改善電子槍的性能，使之獲得更小的束斑來實現(xiàn)。 （ 2） 樣品襯度的影響 樣品襯度是指電子束通過兩特征點時，所產(chǎn)生的二次電子強度比。不同襯度的樣品為了得到滿意的圖像其所需的最終電子束尺寸也不一樣。 (3) 樣品激發(fā)區(qū)的影響 入射電子在樣品內(nèi)的有效激發(fā)區(qū)大大超過入射束直徑，電子在有效激發(fā)區(qū)內(nèi)運動必將激發(fā)各種信號，各種信號的能量和穿透能力各不相同，只有一定深度和能量的射線才能逸出樣品表面被探測到。由于二次電子能量低（ 5ev），只有在樣品表層下 10nm深度內(nèi)激發(fā)的二次電子，才有可能逸出表面，因此，二次電子激發(fā)區(qū)的橫向尺寸小，幾乎等于入射束的直徑；而背散射電子和 X射線，他們分別具有較高的能量和較強的穿透能力，可以從樣品較深部位射出，其激發(fā)區(qū)比入射電子束直徑大若干倍。所以二次電子象的分辨率比背散射象高。 四、分辨率和景深 五、分辨率和放大倍率 掃描電鏡的分辨率有兩重意義 :對微區(qū)成分分析而言 ,它是指能分析的最小區(qū)域 。對成像而言 ,它是指能分辨兩點之間的最小距離 .這兩者主要決定于入射束的直徑 ,單并不直接等于其直徑 .因為入射束與試樣相互作用會使電子束在樣品內(nèi)的有效激發(fā)范圍大大超過入射束的直徑 . 在掃描電鏡中 ,放大率的變化是通過改變電子束在樣品表面的掃描距離來實現(xiàn)的 .放大倍率連續(xù)可調(diào) . 六、工作方式 試樣在電子束的轟擊下會產(chǎn)生各種信號 ,它們是試樣形貌、成分和晶體取向特征的反映。只要能把這些信號分別收集處理并一一顯示出來，就可以對試樣進行多種多樣的分析研究。為此，掃描電鏡設(shè)計了不同的工作方式。 六、工作方式 （ 1）發(fā)射方式：這種方式所收集的信號是從樣品發(fā)射出來的二次電子。所用探測器是由收集柵、光電倍增管、光導(dǎo)管和涂鋁閃爍體等組成。 二次電子的能量大致在 0~30ev之間，它們多數(shù)來自表層下5~50ev之間。其最大特點是： 對試樣表面狀態(tài)敏感，其產(chǎn)生額強烈依賴于入射束與試樣表面法線間的夾角。 在收集柵加正壓時，二次電子具有翻越障礙，呈曲線進入探測器的能力，使得試樣凹坑底部和凸起的部位能清晰成像，而無陰影效應(yīng)。 象的空間分辨率高。 發(fā)射方式是掃描電鏡最常用的一種工作方式，尤其適用于表面形貌觀察。 六、工作方式 （ 2）反射方式：這種方式所收集的是試樣的背反射電子。這種電子的能量高，多數(shù)與入射電子的能量相當，基本上不受收集柵電
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1