fesem-6700f中文操作手冊(編輯修改稿)
2024-12-06 03:15 本頁面
【文章內容簡介】 來。 5 二次電子為入射一次電子進入試件後，從試件表面 50～ 500A176。深度之層內所激發(fā)產生的電子（如圖 311 所示），能量約在 0～ 50eV之間。二次電子的激發(fā)量隨入射電子能量之增加而增加，但達到一定值之後會再度遞減，主要原因是隨入射電子能量之增加，電子穿透之深度加大，所生成之二次電子由於逸出表面之路徑增長，不易到達試件之表面，故而其激發(fā)量漸減。二次電子屬於低能量電子，對試件的表 面非常敏感，故能有效地表現(xiàn)試件之微觀形貌特徵。二次電子之生成與試件的關係，可由圖 312 得知，二次電子是由圖中燈泡形狀的區(qū)域所產生，但只有距離表面深度為 R 以內的一次電子能逸出表面（如細斜線所示），因此對不同形狀及斜度的試件，二次電子訊號在（ c）最強而在（ a）最弱。 6 圖 312 背反電子為入射一次電子在試件內，受原子核散射作用，形成大角度散射之後，再逸出表面的電子，稱為背反電子（或背向散射電子）。由於其在試件內散射過程中並無多大之能量損失，故屬於高能量之電子。此種背反電子的成像，受試件表面形貌之影響不如試件組成元素之影響來的大，即背反電子之強度隨試件組成兀素之原子序增加而增大，故能充份用以觀測不同元素之組成相及成份元素分佈情形；此外背反電子影像之陰影對比效果良好，亦能充分反應試件表面凹擊形狀。 電子槍為掃描式電子顯微鏡之電子光源，主要考慮因素在於高亮度、光源區(qū)愈小愈好，以及高穩(wěn)定 度。目前電子的產生方式多為利用加熱燈絲（陰極）放出電子，主要的電子槍材料包括 （ 1）鎢燈絲；（ 2）LaB6硼化鑭；及（ 3）場發(fā)射電子槍三種。 考慮燈絲材料的熔點、氣化壓力、機械強度及其他因素後，目前最便宜的材料為鎢絲。在特殊狀況下如要求更高亮度及應定性時，則使用 場發(fā)射電子槍 可獲得更佳之解析度，但真空度的要求也相對提高。 相較於穿透式電子顯微鏡（ TEM），掃描式電子顯微鏡試件之製備是相當容易的；唯掃描式電子顯微鏡所使用的試件必須是導電體，因此 7 對金屬試件之研究，無須特殊處理即可直接觀察；非導體如礦物、聚合物等，則 須真空蒸鍍處理，鍍上一層導電性良好之金屬膜或碳膜，再作觀察（試片製作程序如圖 313 所示）。生物及醫(yī)學的試件則須先作脫水乾燥處理，或利用液態(tài)氮作冷凍處理，然後再蒸鍍（如圖314 所示）。蒸鍍常用真空蒸鍍機（ Sputter）及真空鍍碳機（ Vacuum Carbon Evaporater）。 8 圖 313 9 圖 314 10 2 外觀介紹 主體 11 電子槍體： 12 操作臺： 13 3 操作軟體功能介紹 操作主畫面 14 ： Tool Bar
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