fesem-6700f中文操作手冊(文件)
【正文】 16 ： Stage System 交換試片位置 Stage Control 記憶試片位置 ：畫面顯示意義 試片 X,Y,R 現(xiàn)在的位置 客戶名稱 影像信號 SEI/LEI TOPO COMPO ADD 加速電壓 倍率 比例尺 工作距離 17 JSM6700F SOP 18 開關(guān)機程序 一 . 開機程序： 1. 啟動 OPpower “ | ” PC SEM 應(yīng)用程式 二 .關(guān)機程序： PC OPpower “ O” 19 三 .操作程序： ★ 載入試片 ，放置於試片座上，試片高度不可超過試片座上方 1 cm 2. 將試片座置於試片夾具上，置入時請注意箭頭方向 (平邊頂平邊 ) 20 3. 關(guān)閉交換室門並將其抽真空 等待 EVAC 燈閃動停止 4. 使用推桿將試片座推入 Main Chamber (Note： 推入前請確認(rèn) “EXCH POSN” 是否亮著，如果沒有，將 stage 歸到交換位置。 24 POSITION CALIBRATION 當(dāng) STAGE 位置有問題或者回到 exchange position 時 ， exchange 燈不會亮，可執(zhí)行 AUTO 此時 X ， Y， R 會重新做校正，也可選擇單一 去做校正 GAS CHECK 1 輸出壓力指示 2 鋼瓶壓力顯示 3 輸出壓力調(diào)節(jié)閥 正常輸出壓力為 5~7 Kg 1 2 3 25 Pump Oil check 檢查油氣濾網(wǎng)是否太過潮濕 檢查真空油準(zhǔn)位是否在中間 不足時需添加。 23 5 Maintenance OF ELECTRON GUN /Maintence/Gun Auto Flashing 設(shè)定為 ON 時間視客戶需求去訂定時間，時間為 24 小時制 鍵入後需按 enter Flash and Strong Flash Normal Flash ：當(dāng) emission 有雜訊產(chǎn)生時使用。生物及醫(yī)學(xué)的試件則須先作脫水乾燥處理，或利用液態(tài)氮作冷凍處理，然後再蒸鍍（如圖314 所示）。目前電子的產(chǎn)生方式多為利用加熱燈絲（陰極）放出電子，主要的電子槍材料包括 （ 1）鎢燈絲；（ 2）LaB6硼化鑭；及（ 3）場發(fā)射電子槍三種。 6 圖 312 背反電子為入射一次電子在試件內(nèi)，受原子核散射作用，形成大角度散射之後，再逸出表面的電子，稱為背反電子（或背向散射電子）。深度之層內(nèi)所激發(fā)產(chǎn)生的電子（如
公司管理相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1