fesem-6700f中文操作手冊(完整版)
【正文】 12 操作臺： 13 3 操作軟體功能介紹 操作主畫面 14 ： Tool Bar for 電子槍系統(tǒng) for 顯示系統(tǒng) for 影像處理系統(tǒng) for 設定系統(tǒng) for stage 系統(tǒng) for 外加裝置 電子槍系統(tǒng) 高壓 ON/OFF 加速電壓 散射電流 散射電流 reset ：顯示系統(tǒng) 標準畫面 分割左右畫面 分割上下畫面 分割四個畫面 Spot 模式 畫面還原 Scan Rotation ON/OFF 15 ：影像處理系統(tǒng) 影像 LOAD/SAVE/PRINT 影像 Contr/Bright/Gamma 處理 文字編修 X Measure Y Measure Diagonal Measure ：設定系統(tǒng) 操作視窗設定 設定程式 Column 狀態(tài) 16 ： Stage System 交換試片位置 Stage Control 記憶試片位置 ：畫面顯示意義 試片 X,Y,R 現(xiàn)在的位置 客戶名稱 影像信號 SEI/LEI TOPO COMPO ADD 加速電壓 倍率 比例尺 工作距離 17 JSM6700F SOP 18 開關機程序 一 . 開機程序： 1. 啟動 OPpower “ | ” PC SEM 應用程式 二 .關機程序： PC OPpower “ O” 19 三 .操作程序： ★ 載入試片 ，放置於試片座上，試片高度不可超過試片座上方 1 cm 2. 將試片座置於試片夾具上，置入時請注意箭頭方向 (平邊頂平邊 ) 20 3. 關閉交換室門並將其抽真空 等待 EVAC 燈閃動停止 4. 使用推桿將試片座推入 Main Chamber (Note： 推入前請確認 “EXCH POSN” 是否亮著，如果沒有，將 stage 歸到交換位置。
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