fesem-6700f中文操作手冊(cè)-閱讀頁
2024-11-20 03:15本頁面
【正文】 量之電子。 電子槍為掃描式電子顯微鏡之電子光源，主要考慮因素在於高亮度、光源區(qū)愈小愈好，以及高穩(wěn)定 度。 考慮燈絲材料的熔點(diǎn)、氣化壓力、機(jī)械強(qiáng)度及其他因素後，目前最便宜的材料為鎢絲。 相較於穿透式電子顯微鏡（ TEM），掃描式電子顯微鏡試件之製備是相當(dāng)容易的；唯掃描式電子顯微鏡所使用的試件必須是導(dǎo)電體，因此 7 對(duì)金屬試件之研究，無須特殊處理即可直接觀察；非導(dǎo)體如礦物、聚合物等，則 須真空蒸鍍處理，鍍上一層導(dǎo)電性良好之金屬膜或碳膜，再作觀察（試片製作程序如圖 313 所示）。蒸鍍常用真空蒸鍍機(jī)（ Sputter）及真空鍍碳機(jī)（ Vacuum Carbon Evaporater）。 WD = 8 mm Tilt = 0 Stage = exchange) 5. 推入後 HLDR 燈會(huì)亮起，將推桿拉出至於定位 6. 等待 PVG 值到達(dá) 5.** X 10 4 ，將 HV ON 7. 打開 Gun Valve 8. 設(shè)定 電壓 及 WD ( ， 3， 6， 8， 10， 15mm) 9. 先切換至 Low Mag 找尋位置後 切換到 SEM 模式 10. 調(diào)整 WD 旋鈕使影像較清晰 21 11. 使用 OP panel 調(diào)整影像 先切換到較高倍率，反覆調(diào)整焦距及像差直至影像清晰後再切回所需之倍率 ，手動(dòng)調(diào)整亮度及對(duì)比至較佳影像或使用 ACB (自動(dòng)調(diào)整亮度及對(duì)比 )調(diào)整 ★ 如欲使用 EDS 請(qǐng)將軟體之 WD 設(shè)為 15，並將 WD 旋鈕轉(zhuǎn)至 15 mm，調(diào)整所需之電壓電流，調(diào)整影像使其清晰，必要時(shí)可使用 LEI 檢知器輔助使用 ，將 EDS Detector 轉(zhuǎn)入後即可使用 EDS 軟體作分析之動(dòng)作 ★ 不使用 EDS 時(shí)請(qǐng)切記 將 EDS Detector 轉(zhuǎn)出，以防止 stage 移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)去撞擊到 EDS Detector，造成損傷 12. 儲(chǔ)存影像 可使用 SAVE 或 EXPORT 儲(chǔ)存影像，檔案可存成 bmp， tiff， jpg EXPORT LOAD SAVE 載入影像 可用 LOAD 將以前所存之圖檔載入到畫面作編輯 倍率 焦距 像差 X Y 亮度及對(duì)比 馬達(dá)控制器 22 ★ 退出試片 1. 關(guān)閉 Gun Valve 2. 關(guān)閉 HT 3. WD 轉(zhuǎn)到 8 ， Tilt 轉(zhuǎn)到 0 4. Stage 回到 exchange 位置 5. 確認(rèn) EXCH POSN 燈亮 6. 將拉桿推入到底，再將拉桿拉回放置定位 (此時(shí) HLDR 燈會(huì)滅掉 ) 7. 按下 VENT 按鈕使其洩真空到大氣狀態(tài) (等 VENT 燈閃動(dòng)停止 ) 8. 開啟交換室扣環(huán)將試片取出 9. 如不繼續(xù)使用或短時(shí)間不使用，請(qǐng)將交換室扣環(huán)扣上並按下 EVAC 按鈕， 使其在真空狀態(tài)。 Strong Flash ：當(dāng) Normal Flash 無效時(shí)，可使用之。
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