電子探針x射線顯微分析授課版(編輯修改稿)
2025-05-27 01:47 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 . X射線譜儀系統(tǒng)； ?； ?； ?； ? 、波譜儀（ WDS）的結(jié)構(gòu)和工作原理 ?X射線波譜儀的譜儀系統(tǒng) —— 即 X射線的分光和探測系統(tǒng)是由分光晶體、 X射線探測器和相應(yīng)的機(jī)械傳動(dòng)裝置構(gòu)成 、波譜儀 ?被激發(fā)的特征 X射線照射到連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)的分光晶體上實(shí)現(xiàn)分光 (色散 )，即不同波長的 X射線將在各自滿足布拉格方程的 2?方向上被 (與分光晶體以 2:1的角速度同步轉(zhuǎn)動(dòng)的 )檢測器接收。 波譜儀 WDS工作原理 ? 不同元素的特征 X射線的波長不同：輕元素的特征 X射線的波長長；重元素波長短。不同元素選用不同的分光晶體。故需根據(jù)元素檢測范圍選擇分光晶體； ? X射線與晶體的取向關(guān)系滿足布拉格條件： ? 2dsinθ=nλ ，就產(chǎn)生衍射，在衍射方向用探測器將其接收。取 n=1的衍射線，即d≥λ/2 ，選擇分光晶體的晶面間距 d必須大于所測 X射線波長的一半。 樣品 入射電子束 混合波長的 X射線 晶體 λ1 λ λ2 θ1 θ2 θ 2θ d 波譜儀的工作原理（布拉格衍射） 2dSinθ=nλ 回轉(zhuǎn)式波譜儀和直進(jìn)式波譜儀 ? 在電子探針中，一般點(diǎn)光源 S不動(dòng)，改變晶體和探測器的位置，達(dá)到分析檢測的目的。根據(jù)晶體及探測器運(yùn)動(dòng)方式，可將譜儀分為回轉(zhuǎn)式波譜儀和直進(jìn)式波譜儀等。 常用分光晶體的基本參數(shù)及可檢測范圍 晶體 化學(xué)分子式 （和縮寫） 反射晶面 晶面間距 d(A) 可檢測波長 范圍 (A) 可檢測元素范圍 氟化鋰 LiF (LiF) 200 ～ K:20Ca37Rb L:51Sb92U 異成四醇 C5H12O4 (PET) 002 ～ K:14Si26Fe L:37Rb65Tb M:72Hf92U 鄰苯二酸 銣 (或鉀 ) C8H5O4Rb (RAP) [或 KAP] 1010 () ～ K:9F15P L:24Cr40Zr M:57La79Au 肉豆蔻酸鉛 (C14H27O2)2M* (MYR) __ 40 ～ 70 K:5B9F L:20Ca25Mn 硬脂酸鉛 (C18H35O2)2M* (STE) __ 50 22～ 88 K:5B8O L:20Ca23V 廿四烷酸鉛 (C24H47O2)2M* (LIG) __ 65 29～ 114 K:4Be7N L:20Ca21Sc （ M*表示 Pb或 Ba等重金屬元素） 波譜儀的特點(diǎn) ?波譜儀的突出優(yōu)點(diǎn)是 波長分辨率很高 。 ?但由于結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)，譜儀要想有足夠的色散率，聚焦圓的半徑就要足夠大，這時(shí)彎晶離 X射線光源的距離就會(huì)變大，它對(duì) X射線光源所張的立體角就會(huì)很小，因此對(duì) X射線光源發(fā)射的 X射線光量子的收集率也就會(huì)很低，致使 X射線信號(hào)的利用率極低 。 波譜儀的特點(diǎn) ： ?此外，由于經(jīng)過晶體衍射后，強(qiáng)度損失很大，所
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