材料研究方法--電子探針(編輯修改稿)
2025-01-19 23:37 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 峰寬、易重疊，背底扣除困難，數(shù)據(jù)處理復(fù)雜 ? 分析元素范圍： 11Na－ 92U ? 進行低倍掃描成像，大視域的元素分布圖。 ? 對樣品污染作用小 ? 適于粗糙表面成分分析 不受聚焦圓的限制，樣品的位置可起伏 2－ 3mm ? 工作條件： 探測器須在液氮溫度下使用，維護費用高。 WDS 與 EDS比較 ? WDS分析元素范圍廣、分辨率高、適于精確的定量分析，對樣品表面要求高、分析速度慢，易引起樣品和鏡筒的污染。 ? EDS在分析元素范圍、分辨率方面略遜，分析速度快、對樣品表面要求不高、可用較小的束流和細(xì)微電子束，適于與 SEM配合使用。 ? 波譜儀的晶體分光特點，對波長為 ?的 X射線不僅可以在探測到 n＝ 1的一級 X射線，同時可在其它 ?角處探測到 n為不同值的高級衍射線。 ? 波譜定性分析不如能譜定性分析那么簡單、直觀，就要求對波譜進行更合乎邏輯的分析，以免造成錯誤。 例： ? SK?(n＝ 1)存在于 ， CoK?(n＝ 1)在 ， CoK?(n＝ 3)的三級衍射在3?＝ ，故 SK?的一級線和 CoK?的 三級線非常近無法區(qū)分。 ? SK?和 CoK?具有不同的能量，使探測器輸出不同電壓脈沖幅度。 CoK?是 SK?的 3倍，根據(jù) SK?電壓脈沖信號設(shè)置窗口電壓，通過脈沖高度分析器排除 CoK?的脈沖，從而使譜中 nm處僅存在 SK?線。 比較項目 WDS EDS 元素分析范圍 元素分析方法 能量辨率 /eV 靈敏度 檢測效率 定量分析精度 儀器特殊性 4Be～ 92U 分光晶體逐個元素分析 高（ 3／ 5～ 10） 低 低，隨波長而變化 好 多個分光晶體 11Na～ 92U／ 4Be～ 92U 固態(tài)檢測器元素同時檢測 低（ 160／ 135） 高 高，一定條件下是常數(shù) 差 探頭液氮冷卻 樣品制備 ? EMPA對樣品尺寸大小、導(dǎo)電性、預(yù)處理的要求與 TEM相同，除此之外，應(yīng)注意：
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