材料研究方法及電子掃描顯微鏡(編輯修改稿)
2025-01-19 23:59 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 產(chǎn)生的次級 X射線稱為熒光 X射線。 其產(chǎn)生機(jī)理與X射線管產(chǎn)生 X射線的機(jī)理是一樣的，不同的是熒光 X射線以X射線作激發(fā)源。 高能電子束轟擊試樣，會產(chǎn)生特征 X射線和連續(xù) X射線，特征 X射線會激發(fā)另一些元素的內(nèi)層電子而產(chǎn)生次級特征 X射線。這種由特征 X射線激發(fā)出來的二級特征 X射線，叫做特征 X熒光 。從樣品中發(fā)射出來的連續(xù) X射線，也會激發(fā)出一些二級 X射線。這種由連續(xù) X射線激發(fā)出來的二級連續(xù) X射線叫做 連續(xù) X熒光 。 電子探針定量分析時(shí)，必須考慮 X射線熒光效應(yīng)的影響，進(jìn)行 X熒光校正。 X射線 材料研究方法 陰極熒光實(shí)際上是 由陰極射線 （電子束） 激發(fā)出來的一種波長較長的電磁波 ，一般是指可見光，有些書上把紅外光和紫外光也包括在內(nèi)。 產(chǎn)生陰極熒光的物質(zhì)主要是那些含有雜質(zhì)元素或晶格缺陷 (如間隙原子、晶格空位等 )的絕緣體或半導(dǎo)體。 材料研究方法 如右圖所示 ， 入射電子束作用在試樣上 ， 使得價(jià)帶 (滿帶 )上的電子激發(fā) ， 從價(jià)帶赿過禁帶進(jìn)入導(dǎo)帶 。 導(dǎo)帶上的電子躍回價(jià)帶時(shí) ， 可以是直接躍回價(jià)帶 ， 多余的能量以電磁幅射的形式一次釋放出來 ， 其波長由導(dǎo)帶與價(jià)帶的能級差(△E=EdEj)決定 。 如果其波長在可見光的范圍 ，就會發(fā)出可見熒光 。 如果其波長比可見光短 ，比 X光長 ， 那樣就會發(fā)出紫外熒光 。 導(dǎo)帶上的電子躍回價(jià)帶時(shí)，也可能先躍到雜質(zhì)能級 (或者說被雜質(zhì)能級捕獲 )然后再從雜質(zhì)能級躍回價(jià)帶。這種情況下，其多余的能量將分兩次釋放出來，如果都是以電磁波的形式釋放，那么其波長將由導(dǎo)帶能級、價(jià)帶能級和雜質(zhì)能級來決定。如果波長在可見光范圍，就會發(fā)出可見熒光，如果波長比可見光的長，就可能發(fā)出紅外熒光。 陰極發(fā)光可用來 研究礦物的發(fā)光性、所含雜質(zhì)類型和晶格缺陷 等。 材料研究方法 各種物理信號的產(chǎn)生深度和廣度范圍 材料研究方法 掃描電子顯微鏡 材料研究方法 掃描電子顯微鏡的簡稱為掃描電鏡 ， 英文縮寫為 SEM (Scanning Electron Microscope)。 SEM與電子探針 （ EPMA） 的功能和結(jié)構(gòu)基本相同 ， 但SEM一般不帶波譜儀 （ WDS） 。 它是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面 ，通過電子與樣品相互作用產(chǎn)生的
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