材料研究方法及電子掃描顯微鏡-wenkub.com
2024-12-30 23:59 本頁面
【正文】 這些信號主要有背散射電子，吸收電子和特征 X射線 材料研究方法 形貌襯度原理 材料研究方法 掃描電鏡的應用 掃描電鏡因其景深大，特別適合于斷口分析。入射電子與之相互作用，產(chǎn)生各種特征信號，其強度就存在著差異，最后反映到顯像管熒光屏上的圖像就有一定的襯度。對于絕緣體或導電性差的材料來說，則需要預先在分析表面上蒸鍍一層為 10~20nm的導電層。 材料研究方法 保真度好 樣品通常不需要作任何處理即可以直接進行觀察 ， 所以不會由于制樣原因而產(chǎn)生假象 。 高分辨率的電子束直徑要小 ， 分辨率與子束直徑近似相等 。 因為 nsin??，而可見光波長范圍為： ?＝ 400nm700nm ， 所以光學顯微鏡分辨率 d?? ， 顯然 d ?200nm。放大倍率是由分辨率制約，不能盲目看儀器放大倍率指標。 材料研究方法 掃描電鏡成像示意圖 材料研究方法 JSM 6700F場發(fā)射掃描電鏡 材料研究方法 掃描電鏡由 5個系統(tǒng)組成 材料研究方法 掃描電鏡的主要性能 ?放大倍率高（ M=Ac/As） ?分辨率高（ d0=dmin/M總） ?景深大（ F≈ d0/β） ?保真度好 材料研究方法 放大倍率高 從幾十放大到幾十萬倍，連續(xù)可調。 現(xiàn)在 SEM都與能譜 （ EDS） 組合 ， 可以進行成分分析 。 陰極發(fā)光可用來 研究礦物的發(fā)光性、所含雜質類型和晶格缺陷 等。 如果其波長比可見光短 ，比 X光長 ， 那樣就會發(fā)出紫外熒光 。 產(chǎn)生陰極熒光的物質主要是那些含有雜質元素或晶格缺陷 (如間隙原子、晶格空位等 )的絕緣體或半導體。從樣品中發(fā)射出來的連續(xù) X射線，也會激發(fā)出一些二級 X射線。 X射線 材料研究方法 由 X射線激發(fā)產(chǎn)生的次級 X射線稱為熒光 X射線。每種元素都有自己特定的特征 X射線譜。 每次碰撞都可能產(chǎn)生一定波長的 X射線 ， 由于各次碰撞的時間和能量損失不同 ， 產(chǎn)生的 X射線的波長也不相同 ， 加上碰撞的電子極多 ，因此將產(chǎn)生各種不同波長的 X射線 —— 連續(xù) X射線 。 這種電子能 反映試樣的表面特征 。 材料研究方法 俄歇電子與特征
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