特種加工第六章ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-26 03:09 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 獲得更好的物理力學(xué)性能。 鑄鐵熔化處理 萊氏體組織 抗滑動磨損 鋁、鈦、鎳 添加元素 耐磨性能 （六）光刻 ? 用低功率密度的電子束照射電致抗蝕劑，由于入射電子與高分子相碰撞，使分子的鏈被切斷或重新聚合而引起分子量的變化，稱為電子束曝光，留下潛像，然后顯影、蒸鍍、離子刻蝕，去掉抗蝕劑，留下圖形。 可用于加工集成電路 精密印刷版等。 第二節(jié) 離子束加工 一、離子束加工原理、分類和特點 二、離子束加工裝置 三、離子束加工的應(yīng)用 一、離子束加工原理、分類和特點 （一）離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) （二）離子束加工分類 （三）離子束加工的特點 （一）離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) ?離子帶正電荷，質(zhì)量比電子大成千上萬倍，離子束比電子束具有更大的撞擊動能，它是靠微觀的機械撞擊能量、而不是靠動能轉(zhuǎn)化為熱能來加工的。 ?離子束加工的物理基礎(chǔ)是離子束射到材料表面時所發(fā)生的撞擊效應(yīng)、濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)。 （二）離子束加工分類 ?離子刻蝕 ?離子濺射沉積 ?離子鍍 ?離子注入 （三）離子束加工的特點 ?（ 1）由于離子束可以通過電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行聚焦掃描，離子束轟擊材料是逐層去除原子，離子束流密度及離子能量可以精確控制，所以離子刻蝕可以達(dá)到納米級的加工精度。離子鍍膜可以控制在亞微米級精度，離子注入的深度和濃度也可極精確的控制。因此，離子束加工是所有特種加工方法中最精密、最微細(xì)的加工方法，是當(dāng)代納米加工技術(shù)的基礎(chǔ)。 （ 2）由于離子束加工是在高真空中進(jìn)行，所以污染少，特別適用用對易氧化的金屬、合金材料和高純度半導(dǎo)體材料的加工。 （ 3）離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的。它是一種微觀作用，宏觀壓力很小，所以加工應(yīng)力、熱變形等極小，加工質(zhì)量高，適合于對各種材料和低剛度零件的加工。 （ 4）離子束加工設(shè)備費用高、成本高，加工效率低，因此應(yīng)用范圍受到一定限制。 二、離子束加工裝置 ?離子束加工裝置與電子束加工裝置類似，它也包括離子源、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等部分。主要的不同部分是離子源系統(tǒng)。 ?離子源用以產(chǎn)生離子束流。產(chǎn)生離子束流的基本原理和方法是使原子電離。具體辦法是把要電離的氣態(tài)原子注入電離室，經(jīng)高頻放電、電弧放電、等離子體放電或電子轟擊，使氣態(tài)原子電離為等離子體。用一個相對于等離子體為負(fù)電位的電極，就可以從等離子體中引出正離子束流。 （一）考夫曼型離子源 （二）雙等離子體型離子源 三、離子束加工的應(yīng)用 （一）刻蝕加工 （二）鍍膜加工 （三）離子注入加工 （一）刻蝕加工 ?離子刻蝕是從工件上去除材料，是一個撞擊濺射過程。 ?原子間鍵合力 惰
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