特種加工第六章ppt課件-文庫吧資料
2025-05-05 03:09本頁面
【正文】 逐漸減慢。 ?原子間鍵合力 惰性元素 ?氬氣 原子序數(shù)高 價(jià)格便宜 ?逐個(gè)原子剝離 微米或亞微米級(jí) ? 蝕除速度很低 每秒一層到幾十層原子 ?刻蝕加工時(shí)，對(duì)離子入射能量、束流大小、離子入射到工件上的角度以及工作室氣壓等都能分別調(diào)節(jié)控制。用一個(gè)相對(duì)于等離子體為負(fù)電位的電極，就可以從等離子體中引出正離子束流。產(chǎn)生離子束流的基本原理和方法是使原子電離。主要的不同部分是離子源系統(tǒng)。 （ 4）離子束加工設(shè)備費(fèi)用高、成本高，加工效率低，因此應(yīng)用范圍受到一定限制。 （ 3）離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實(shí)現(xiàn)的。因此，離子束加工是所有特種加工方法中最精密、最微細(xì)的加工方法，是當(dāng)代納米加工技術(shù)的基礎(chǔ)。 （二）離子束加工分類 ?離子刻蝕 ?離子濺射沉積 ?離子鍍 ?離子注入 （三）離子束加工的特點(diǎn) ?（ 1）由于離子束可以通過電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行聚焦掃描，離子束轟擊材料是逐層去除原子，離子束流密度及離子能量可以精確控制，所以離子刻蝕可以達(dá)到納米級(jí)的加工精度。 第二節(jié) 離子束加工 一、離子束加工原理、分類和特點(diǎn) 二、離子束加工裝置 三、離子束加工的應(yīng)用 一、離子束加工原理、分類和特點(diǎn) （一）離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) （二）離子束加工分類 （三）離子束加工的特點(diǎn) （一）離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) ?離子帶正電荷，質(zhì)量比電子大成千上萬倍，離子束比電子束具有更大的撞擊動(dòng)能，它是靠微觀的機(jī)械撞擊能量、而不是靠動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能來加工的。 鑄鐵熔化處理 萊氏體組織 抗滑動(dòng)磨損 鋁、鈦、鎳 添加元素 耐磨性能 （六）光刻 ? 用低功率密度的電子束照射電致抗蝕劑，由于入射電子與高分子相碰撞，使分子的鏈被切斷或重新聚合而引起分子量的變化，稱為電子束曝光，留下潛像，然后顯影、蒸鍍、離子刻蝕，去掉抗蝕劑，留下圖形。 （五）熱處理 ? 加熱和冷卻速度很快，奧氏體化時(shí)間很短，只有幾分之一秒到千分之一秒，可得到奧氏體超細(xì)晶粒組織 高硬度 ? 跟激光相比，熱轉(zhuǎn)換效率高，防止材料氧化，功率比激光功率大。 ?可焊接鉭、鈮、鉬等難熔金屬，也可焊接鈦、鋯、鈾等活潑金屬， 可焊接普通碳鋼、不銹鋼、合金鋼、銅、鋁，可焊接很薄和很厚的工件 ? 可實(shí)現(xiàn)異種金屬的焊接 如銅和不銹鋼的焊接 鋼和硬質(zhì)合金的焊接 鉻、鎳和鉬的焊接等。 （四）焊接 ? 高能量密度的電子束 毛細(xì)管狀的熔池，沿著焊縫與電子束做相對(duì)運(yùn)動(dòng) ?能量密度高，焊接速度快，焊縫深而窄，焊件熱影響區(qū)小，變形小。還可在加工過程中對(duì)電阻值進(jìn)行測量校準(zhǔn)。 ?加工玻璃、陶瓷、寶石
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