無塵室管理制度(編輯修改稿)
2025-05-04 23:12 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ＊ 左側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RU】，電流切換開關(guān)為【T】。右側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RS】，電流切換開關(guān)為【OFF】。2. 將箱型空氣調(diào)節(jié)機的送風關(guān)關(guān)打開，等送風穩(wěn)定后再將冷氣暖氣開關(guān)打開，此時紅色燈會亮起，表示正常運作。注意:＊ 冷氣的起動順序為壓縮機【】。＊ 溫度調(diào)節(jié)為指針指向紅色暖氣【5】。＊ 分流開關(guān)AIR VALVE 為【ON】。3. 無塵室使用完畢后，要先將箱型空氣調(diào)節(jié)機關(guān)閉，按【停止】鍵即可。4. 再將控制器面板上的【電熱運轉(zhuǎn)】、【加壓風車運轉(zhuǎn)】、【浴塵室運轉(zhuǎn)】、【排氣風車運轉(zhuǎn)】等開關(guān)依序關(guān)閉。氣體鋼瓶使用操作方法1. 用把手逆時針打開氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】打開PURGE關(guān)閉。2. 由黑色轉(zhuǎn)鈕調(diào)整氣體鋼瓶的壓力(psi)，順時針方向為增加，逆時針方向為減少。3. 將N2鋼瓶調(diào)整為40psi（黃光室內(nèi)為20psi）,AIR鋼瓶調(diào)整為80psi（黃光室內(nèi)為60psi）。4. 氣體鋼瓶使用完畢后，用把手順時針關(guān)閉氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】關(guān)閉【PURGE】打開將管路內(nèi)的氣體排出后將【PURGE】關(guān)閉。 純水系統(tǒng)使用操作方法1. 閥門控制(1) 閥門(VALVE)VVVVVVVV1V1V1V1V1V19應(yīng)保持全開。(2) 閥門VVV1V1V21應(yīng)保持全關(guān)。(3) 閥門VV20為調(diào)壓作用，不可全開或全關(guān)。(4) 閥門中V5為砂濾機之BYPASS，V18為DI桶之BYPASS，V21為RO膜之BYPASS。2. 自動造水步驟1：如上【閥門控制】將各球閥門開關(guān)定位。步驟2：控制箱上，各切換開關(guān)保持在【OFF】位置。步驟3：將控制箱上【系統(tǒng)運轉(zhuǎn)】開關(guān)切換至【ON】位置。步驟4：電磁閥1 激活先做初期排放。步驟5：電磁閥2 激活造水。步驟6：此時，PUMPPUMP2依序激活，系統(tǒng)正常造水，RO產(chǎn)水經(jīng)管路進入儲水桶(TANK)，當水滿后控制箱上高液位指示燈亮，系統(tǒng)自動停機，并于儲水桶水位下降至低液位時再激活造水。3. 系統(tǒng)用水將控制箱上之【夜間循環(huán)停用水】切換開關(guān)切換至【用水】，此時PUMP3輸送泵浦激活，、DI桶及精密過濾后，供現(xiàn)場各使用點使用。4. 夜間循環(huán)控制箱上之【夜間循環(huán)停用水】切換開關(guān)，主要在配合每日下班或連續(xù)假日停止供水后管路之衛(wèi)生考慮，其步驟為:(1) 停止供水59分鐘后，系統(tǒng)再自動供水1分鐘。(2) 此后每隔59分鐘供水循環(huán)1分鐘至夜間循環(huán)【?！繛橹埂?. 系統(tǒng)偵測本系統(tǒng)中附有各項壓力表、流量計及導電度計，作為系統(tǒng)運轉(zhuǎn)之控制，其功能如下:壓力表1：砂濾機進水壓力壓力表2：RO進水壓力壓力表3：RO排水壓力壓力表4：DI進水壓力壓力表5：供水回流壓流量計1：RO排水流量流量計2：RO產(chǎn)水流量另外，控制箱(機房)附有二段式LED導電度顯示屏，原水及產(chǎn)水分別切換顯示。6. 系統(tǒng)維護HFRD系統(tǒng)，應(yīng)定期更新之耗材:(1) 砂濾機應(yīng)定期逆時。(2)預濾應(yīng)每12個月更新。(3)膜管應(yīng)視其去除率及產(chǎn)水量做必要之清洗或更新。(4)樹脂混床視比電阻值更新。(5)精密過濾約每24個月更新。 7. 故障排除 現(xiàn) 象可能因素排除方法系統(tǒng)停機、系統(tǒng)無法激活1. 外電源異常2. 系統(tǒng)運轉(zhuǎn)開關(guān)未按下3. 系統(tǒng)電路故障4. 馬達/泵浦故障1. 檢查系統(tǒng)電源電路2. 按下系統(tǒng)運轉(zhuǎn)開關(guān)3. 通知廠商4. 更新馬達/泵浦低產(chǎn)水量1. 膜管排水量太高2. 壓力不足3. 膜管阻塞1. 調(diào)整排水閥V92. 清洗膜管或更新膜管低比電阻1. 樹脂功能下降2. RO去除率下降1. 更換樹脂2. 更換RO膜組光罩對準機使用操作方法曝光機簡介 在半導體制程中，涂布光阻后的芯片，須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影，此臺曝光機為OAI 200系列，整合光罩對準、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測量裝置及光罩夾持裝置。 OAI 200系列為一入門型光罩對準儀，可以手動操作更改各項使用參數(shù)，如曝光時間、曝光強度及曝光功率等等。對于中高階的線寬有很好的顯影效果，此系列最大可使用四吋的芯片，最大的曝光功率為1KW。曝光機使用步驟1. 檢查氮氣鋼瓶〈AIR 60psi〉〈N2 20psi〉以及黃光室的氮氣閥、空氣閥是否有開啟。開啟曝光機下方延長線的紅色總開關(guān)，再開啟曝光機、顯微鏡。2. 接上隧道式抽風馬達電源，進行曝光機抽風步驟，并檢查曝光機上方汞燈座后面進風口是否有進氣。如果風量微小或者無進氣，則無法開啟汞燈的電源〈會有警報聲〉。確定進風口有進氣后，才可開啟曝光機下方的汞燈電源供應(yīng)器ON/OFF開關(guān)。3. 按住汞燈電源供應(yīng)器之START
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