無(wú)塵室管理制度(編輯修改稿)
2025-05-04 23:12 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 ＊ 左側(cè)的控制器面板上電壓切換開(kāi)關(guān)為【RU】，電流切換開(kāi)關(guān)為【T】。右側(cè)的控制器面板上電壓切換開(kāi)關(guān)為【RS】，電流切換開(kāi)關(guān)為【OFF】。2. 將箱型空氣調(diào)節(jié)機(jī)的送風(fēng)關(guān)關(guān)打開(kāi)，等送風(fēng)穩(wěn)定后再將冷氣暖氣開(kāi)關(guān)打開(kāi)，此時(shí)紅色燈會(huì)亮起，表示正常運(yùn)作。注意:＊ 冷氣的起動(dòng)順序?yàn)閴嚎s機(jī)【】。＊ 溫度調(diào)節(jié)為指針指向紅色暖氣【5】。＊ 分流開(kāi)關(guān)AIR VALVE 為【ON】。3. 無(wú)塵室使用完畢后，要先將箱型空氣調(diào)節(jié)機(jī)關(guān)閉，按【停止】鍵即可。4. 再將控制器面板上的【電熱運(yùn)轉(zhuǎn)】、【加壓風(fēng)車(chē)運(yùn)轉(zhuǎn)】、【浴塵室運(yùn)轉(zhuǎn)】、【排氣風(fēng)車(chē)運(yùn)轉(zhuǎn)】等開(kāi)關(guān)依序關(guān)閉。氣體鋼瓶使用操作方法1. 用把手逆時(shí)針打開(kāi)氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】打開(kāi)PURGE關(guān)閉。2. 由黑色轉(zhuǎn)鈕調(diào)整氣體鋼瓶的壓力(psi)，順時(shí)針?lè)较驗(yàn)樵黾?，逆時(shí)針?lè)较驗(yàn)闇p少。3. 將N2鋼瓶調(diào)整為40psi（黃光室內(nèi)為20psi）,AIR鋼瓶調(diào)整為80psi（黃光室內(nèi)為60psi）。4. 氣體鋼瓶使用完畢后，用把手順時(shí)針關(guān)閉氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】關(guān)閉【PURGE】打開(kāi)將管路內(nèi)的氣體排出后將【PURGE】關(guān)閉。 純水系統(tǒng)使用操作方法1. 閥門(mén)控制(1) 閥門(mén)(VALVE)VVVVVVVV1V1V1V1V1V19應(yīng)保持全開(kāi)。(2) 閥門(mén)VVV1V1V21應(yīng)保持全關(guān)。(3) 閥門(mén)VV20為調(diào)壓作用，不可全開(kāi)或全關(guān)。(4) 閥門(mén)中V5為砂濾機(jī)之BYPASS，V18為DI桶之BYPASS，V21為RO膜之BYPASS。2. 自動(dòng)造水步驟1：如上【閥門(mén)控制】將各球閥門(mén)開(kāi)關(guān)定位。步驟2：控制箱上，各切換開(kāi)關(guān)保持在【OFF】位置。步驟3：將控制箱上【系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)】開(kāi)關(guān)切換至【ON】位置。步驟4：電磁閥1 激活先做初期排放。步驟5：電磁閥2 激活造水。步驟6：此時(shí)，PUMPPUMP2依序激活，系統(tǒng)正常造水，RO產(chǎn)水經(jīng)管路進(jìn)入儲(chǔ)水桶(TANK)，當(dāng)水滿(mǎn)后控制箱上高液位指示燈亮，系統(tǒng)自動(dòng)停機(jī)，并于儲(chǔ)水桶水位下降至低液位時(shí)再激活造水。3. 系統(tǒng)用水將控制箱上之【夜間循環(huán)停用水】切換開(kāi)關(guān)切換至【用水】，此時(shí)PUMP3輸送泵浦激活，、DI桶及精密過(guò)濾后，供現(xiàn)場(chǎng)各使用點(diǎn)使用。4. 夜間循環(huán)控制箱上之【夜間循環(huán)停用水】切換開(kāi)關(guān)，主要在配合每日下班或連續(xù)假日停止供水后管路之衛(wèi)生考慮，其步驟為:(1) 停止供水59分鐘后，系統(tǒng)再自動(dòng)供水1分鐘。(2) 此后每隔59分鐘供水循環(huán)1分鐘至夜間循環(huán)【?！繛橹?。5. 系統(tǒng)偵測(cè)本系統(tǒng)中附有各項(xiàng)壓力表、流量計(jì)及導(dǎo)電度計(jì)，作為系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)之控制，其功能如下:壓力表1：砂濾機(jī)進(jìn)水壓力壓力表2：RO進(jìn)水壓力壓力表3：RO排水壓力壓力表4：DI進(jìn)水壓力壓力表5：供水回流壓流量計(jì)1：RO排水流量流量計(jì)2：RO產(chǎn)水流量另外，控制箱(機(jī)房)附有二段式LED導(dǎo)電度顯示屏，原水及產(chǎn)水分別切換顯示。6. 系統(tǒng)維護(hù)HFRD系統(tǒng)，應(yīng)定期更新之耗材:(1) 砂濾機(jī)應(yīng)定期逆時(shí)。(2)預(yù)濾應(yīng)每12個(gè)月更新。(3)膜管應(yīng)視其去除率及產(chǎn)水量做必要之清洗或更新。(4)樹(shù)脂混床視比電阻值更新。(5)精密過(guò)濾約每24個(gè)月更新。 7. 故障排除 現(xiàn) 象可能因素排除方法系統(tǒng)停機(jī)、系統(tǒng)無(wú)法激活1. 外電源異常2. 系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)未按下3. 系統(tǒng)電路故障4. 馬達(dá)/泵浦故障1. 檢查系統(tǒng)電源電路2. 按下系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)3. 通知廠(chǎng)商4. 更新馬達(dá)/泵浦低產(chǎn)水量1. 膜管排水量太高2. 壓力不足3. 膜管阻塞1. 調(diào)整排水閥V92. 清洗膜管或更新膜管低比電阻1. 樹(shù)脂功能下降2. RO去除率下降1. 更換樹(shù)脂2. 更換RO膜組光罩對(duì)準(zhǔn)機(jī)使用操作方法曝光機(jī)簡(jiǎn)介 在半導(dǎo)體制程中，涂布光阻后的芯片，須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影，此臺(tái)曝光機(jī)為OAI 200系列，整合光罩對(duì)準(zhǔn)、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測(cè)量裝置及光罩夾持裝置。 OAI 200系列為一入門(mén)型光罩對(duì)準(zhǔn)儀，可以手動(dòng)操作更改各項(xiàng)使用參數(shù)，如曝光時(shí)間、曝光強(qiáng)度及曝光功率等等。對(duì)于中高階的線(xiàn)寬有很好的顯影效果，此系列最大可使用四吋的芯片，最大的曝光功率為1KW。曝光機(jī)使用步驟1. 檢查氮?dú)怃撈俊碅IR 60psi〉〈N2 20psi〉以及黃光室的氮?dú)忾y、空氣閥是否有開(kāi)啟。開(kāi)啟曝光機(jī)下方延長(zhǎng)線(xiàn)的紅色總開(kāi)關(guān)，再開(kāi)啟曝光機(jī)、顯微鏡。2. 接上隧道式抽風(fēng)馬達(dá)電源，進(jìn)行曝光機(jī)抽風(fēng)步驟，并檢查曝光機(jī)上方汞燈座后面進(jìn)風(fēng)口是否有進(jìn)氣。如果風(fēng)量微小或者無(wú)進(jìn)氣，則無(wú)法開(kāi)啟汞燈的電源〈會(huì)有警報(bào)聲〉。確定進(jìn)風(fēng)口有進(jìn)氣后，才可開(kāi)啟曝光機(jī)下方的汞燈電源供應(yīng)器ON/OFF開(kāi)關(guān)。3. 按住汞燈電源供應(yīng)器之START
公司管理相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1