無塵室管理制度-資料下載頁
2025-04-07 23:12本頁面
【正文】 間并關掉ION GAUGE。3. Heater Power ON (確定Power調整鈕歸零)。4. 選擇BOAT1 or BOAT2。5. 蒸鍍開始，注意電流需慢慢增加。注意:＊ 鍍金時，儀表上電流約100A，鍍Al時電流可稍微小些，約70~80A。＊ 當BOAT高熱發(fā)出紅光時，應立即關閉觀景窗，以免金屬附著在觀景窗的玻璃上。＊ 空鍍幾秒將待鍍金屬表面清干凈后即可打開Shutter，開始蒸鍍。＊ 蒸鍍完成后，立刻關閉Heater Power，等10~15分鐘讓BOAT冷卻及蒸鍍后的金屬冷卻，避免立即和空氣接觸而氧化，才可vent破真空。1. Substrate Hold溫度需要降至常溫。2. ION GAUGE 【POWER】OFF。3. OFF。4. DP OFF 冷卻30~60分鐘。5. 開Vent(進氣后立刻關閉)。6. 開Chamber，取出Sample及BOAT。7. 關Chamber，注意將門關緊。1. 。2. ， Torr之后關閉。3. ，30秒后三向閥切至關閉之位置。4. RP OFF。5. 關總電源。6. 關冷卻水。7. 關氮氣。注意：＊ 蒸鍍時，電流應緩慢增大，且不可太大，以免金屬在瞬間大量氣化，使厚度不易控制。＊ 若接續(xù)他人使用，液態(tài)氮可少灌一點兒，約三分之一筒即可。氧化爐管使用操作方法氧化爐管簡介 本實驗室所采用之氧化爐管為Lenton LTF 1200水平管狀式爐子，可放2英吋硅晶圓，加熱區(qū)大于50cm，最高溫度可達1200176。C并可連續(xù)24hr，最大操作溫度為1150176。C，溫控方式采用PID微電腦自動溫度控制器。目的 將硅芯片曝露在高溫且含氧的環(huán)境中一段時間后，我們可以在硅芯片的表面生長一層與硅的附著性良好，且電性符合我們要求的絕緣體SiO2。注意:＊ 在開啟氧化爐之前，必須先確定【HEAT】Switch設定為【O】關閉的狀態(tài)。Switch在有電源供應時【l】將會發(fā)光，而氧化爐也將開始加熱。＊ 如果過溫保護裝置是好的，請確定警報點的設定于目前的使用過程中為恰當地。如果過熱保護裝置是好的，蜂嗚器會有聲音，在過溫控制操作中有警報一致的程序。＊ 為了改善石英玻璃管或襯套熱量的碰撞，其加熱速率最大不能超過3176。C per min。＊ 為了減少熱流失，必須確定正確的操作程序，適當的使用絕緣栓和放射遮蔽可以密封石英玻璃管。＊ 在操作氧化爐時不要在最大溫度下關閉氧化爐，以延長氧化爐的壽命。操作步驟:1. 檢查前一次操作是否有異常問題發(fā)生，并填寫操作記錄。2. 檢查機臺狀態(tài)(1) 控制面板狀態(tài)：使用前先確定【HEAT】Switch設定為【O】關閉的狀態(tài)。(2) 加熱控制器: Lenton LTF 1200溫度400176。C，前后段爐溫差163。40176。C。(3) 氣體控制:H2【OFF】，O2 【OFF】。3. 將芯片緩慢的推入爐管內。4. 打開墻上HO2之開關和機房的氣瓶調壓閥。5. 設定預設氣體（H2 、O2）流量值及爐溫。6. 按下【HEAT】Switch 為【l】，此時爐溫將從恒溫(400176。C)慢慢加熱至標準制程溫度1100176。C，升溫速率最大不能超過3176。C per min。7. 待爐溫降至恒溫后將芯片取出。8. 關閉HO2 。9. 關閉爐管后端H2之開關及墻上之開關和機房的氣瓶調壓閥。10. 檢查爐管是否完成關機動作。11. 填寫操作記錄之終了時間和異常保護及說明。涂布機使用操作方法1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機后面的電源插座。2. 將涂布機的插頭插入110V的電源插座，然后按下【POWER】鍵。3. 設定旋轉的轉速及時間，本機型為二段式加速的Spin Coating，右邊為第一段加速，左邊為第二段加速。4. 依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉轉盤做涂布的動作。5. 按下【PUMP】鍵，此時旋轉轉盤會吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當的量，在做光阻涂開動作時可先用氮氣將旋轉轉盤周圍及基材吹干凈。6. 蓋上涂布機的保護蓋，以防止光阻濺出涂布機外。7. 按下【START】鍵，涂布機便開始做涂布的動作。8. 涂布完畢后，打開保護蓋，按下【PUMP】鍵旋轉轉盤會放開基材，便可以將基材取出。 熱風循環(huán)烘箱使用操作方法1. 本機使用電壓110V/60HZ。2. 確認電壓后，將電源線插入110V的插座。3. 打開【POWER】開關，此時溫度表PV即顯示箱內實際溫度。4. 首先按【SET】鍵255。 ，SV會一直閃爍此時即可開始設定溫度，而SV的字幕窗會呈現(xiàn)高亮度，在高亮度的位置可設定所需的溫度，只要再按【SET】鍵255。 高亮度會隨之移動，在高亮度的地方即可設定溫度。5. 按上移鍵▲表示溫度往上遞增，按下移鍵▼則溫度往下遞減。6. 當完成以上設定溫度之后(SV仍閃爍不停)此時只要按一次【ENT】鍵SV即呈現(xiàn)剛才所設定的溫度(PV顯示實際溫度)。7. 加熱燈OUT顯示燈亮時表示機器正在加熱中，而到達設定點時OUT會一閃一爍(正常現(xiàn)象)。8. AT燈亮時表示溫度正自動演算中。9. ALM1紅色燈亮時表示溫度過熱(溫度會自動降溫)。 10. ALM2紅色燈亮時表示溫度過低(溫度會自動加溫)。 11. 溫度范圍:40℃~210℃。15 / 15
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