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正文內(nèi)容

半導體制造期末復習要點(編輯修改稿)

2025-06-17 20:53 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 D淀積原理; ? 電子束蒸發(fā)的優(yōu)勢(與熱絲蒸發(fā)相比較); ? 濺射的概念; ? 輝光放電的原理; ? 濺射工藝制備金屬鋁膜的原理及過程(鋁源的清潔處理); ? 濺射的優(yōu)勢(與蒸發(fā)相比較); ? Cu未在微電子工藝中用于金屬互聯(lián)線的原因; ? 薄膜的質(zhì)量要求; ? 薄膜的質(zhì)量檢測項目; ? SiH4及 SiCl4外延生長速度隨反應劑濃度之間的關(guān)系(曲線圖,會分析); 光刻與腐蝕 ? VLSI對光刻工藝的要求; ? 正膠、負膠的特點; ? 光刻膠的主要組成成分; ? 金屬掩
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