半導(dǎo)體制造期末復(fù)習(xí)要點-資料下載頁
2025-05-12 20:53本頁面
【正文】 藝中常用的擴散方式及擴散雜質(zhì)源（固態(tài)源、液態(tài)源、氣態(tài)源）； ? 擴散結(jié)深測量、擴散層質(zhì)量分析； ? 離子注入的概念及其優(yōu)勢（相對于熱擴散）； ? 離子注入機組成構(gòu)造及各部分作用； ? 離子注入過程中碰撞機構(gòu)； ? 常用退火的方式； ? 溝道效應(yīng)的概念、產(chǎn)生的原因及消除溝道效應(yīng)的措施； ? 平坦化的概念及其目的； ? 旋涂玻璃法、化學(xué)機械平坦化工藝原理及過程； ? 布線工藝中對布線材料的要求； ? 合金工藝的要求； ? 電遷移現(xiàn)象及其解決措施（用銅 鋁合金代替純鋁）；
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