真空與真空鍍膜技術(shù)簡介(編輯修改稿)
2025-06-16 00:44 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 4. 泵殼； 5. 加熱器 ? 工作過程是：高速旋轉(zhuǎn)葉片 (30000轉(zhuǎn) /分 )— 對氣體分子施以定向動量 —壓縮 — 排氣。 ? 優(yōu)點：無油，潔凈，啟動快，制動快，可忍受大氣沖擊。 ? 缺點：由于高速旋轉(zhuǎn)，不能在磁場中使用，否則會產(chǎn)生渦流，導(dǎo)致葉輪發(fā)熱、變形等嚴(yán)重后果，對氫氣等輕質(zhì)氣體抽速較小， 價格昂貴。 1. 動葉輪； 2. 泵殼； 3. 渦輪排； 4. 中頻電動機； 5. 底座； 6. 出氣口法蘭； 7. 潤滑油池； 8. 靜葉輪； 9. 電機冷卻水管 . 三 . 真空的測量 — 真空計 1. 絕對真空計 直接測量真空度的量具，如 U型計、壓縮真空計 (麥克勞真空計 ) 。 壓縮型真空計 測量范圍： 103 ～ 103 Pa U型計 測量范圍： 105 ～ 10 Pa 2. 相對真空計 熱 偶真空計 (熱傳導(dǎo)真空計 ) 測量范圍： 100— 101 Pa 測量下限：熱絲溫度較高，氣體分子熱傳導(dǎo)很小，熱絲引線本身的熱傳導(dǎo)和熱輻射引起的熱量減小占主導(dǎo)地位，這兩部分與壓強無關(guān)。 ????????? mVTQP ?熱電偶規(guī)管及其電路原理 直接測量與壓強有關(guān)的物理量，再與絕對真空計相比較進行 標(biāo)定的真空計。 熱陰極電離真空計 原理 ：電子與氣體分子碰撞引起分子電離，形成電子和正離，電子最終被加速極收集，正離子被收集極接收形成離子流： I+ = kIep = cp 其中， k稱為電離計的靈敏度，是單位電子電流、單位壓強下的離子流。 測量范圍： 101 ～ 105 Pa 測量下限： 高速電子打到加速極 G → G產(chǎn)生軟 x射線 → 軟 x射線射向收集極 c → 收集極 c產(chǎn)生光電發(fā)射 →
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