真空與真空鍍膜技術(shù)簡介-文庫吧資料
2025-05-19 00:44本頁面
【正文】 300鍍膜機 ) 蒸發(fā)系統(tǒng) 轟擊電極 工作架 烘烤電極 活動擋板 蒸發(fā)電極 蒸發(fā)源 蒸發(fā)源的形狀如下圖，大致有螺旋式 (a)、籃式 (b)、發(fā)叉 式 (c)和淺舟式 (d)等。 108 ~109 pa Ф4 μm 的鎢絲測量下限可達(dá)1010 pa BA真空規(guī)管 1. 離子收集極； 2. 加速極（柵極） 3. 陰極燈絲； 4. 外殼 四 . 真空鍍膜 ? 真空濺射 ：當(dāng)高能粒子 (電場加速的正離子 )打在固體表 面時，與表面的原子、分子交換能量，從而使這 些原子、分子飛濺出來。 測量范圍： 101 ～ 105 Pa 測量下限： 高速電子打到加速極 G → G產(chǎn)生軟 x射線 → 軟 x射線射向收集極 c → 收集極 c產(chǎn)生光電發(fā)射 → 產(chǎn)生電子流 Ix → Ix與 I+方向相反，與壓強無關(guān)。 ????????? mVTQP ?熱電偶規(guī)管及其電路原理 直接測量與壓強有關(guān)的物理量，再與絕對真空計相比較進(jìn)行 標(biāo)定的真空計。 1. 動葉輪； 2. 泵殼； 3. 渦輪排； 4. 中頻電動機； 5. 底座； 6. 出氣口法蘭； 7. 潤滑油池； 8. 靜葉輪； 9. 電機冷卻水管 . 三 . 真空的測量 — 真空計 1. 絕對真空計 直接測量真空度的量具，如 U型計、壓縮真空計 (麥克勞真空計 ) 。 ? 優(yōu)點：無油，潔凈，啟動快，制動快，可忍受大氣沖擊。 ? 擴散泵不能單獨使用，一般采用機械泵為前級泵，以滿足出口壓強(最大 40Pa)，如果出口壓強高于規(guī)定值，抽氣作用就會停止。 ? 由于極限壓強較高， 常用做前級泵 (預(yù)抽泵 )。 ? 定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。 泵的抽氣速
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