真空技術(shù)基礎(chǔ)iiippt課件-文庫吧資料
2025-05-18 12:42本頁面
【正文】 離能對應(yīng)的電位叫做電離電位。 電子平均自由程 總截面 1een? ??1e eQn? ???Collision Number Distribution of Electron in Accelerating Electric Field between Two Pole 電子從陰極飛躍到陽極的過程中，不斷與氣體分子碰撞，損失能量和改變運(yùn)動方向。單位體積內(nèi)所有分子的有效截面之和叫做總截面。稱此時的球?qū)ΨQ勢能截面為有效截面（ Effect CrossSection）。 分別是單位面積上吸附的分子數(shù)、單位面積上吸附的原子數(shù)、解吸活化能、二級解吸速率常數(shù)、普適氣體常數(shù)和熱力學(xué)溫標(biāo)。 1 e x p ( )aEd Vd t R T? ?? ? ?1 d 0, V , R E , T , ??，Two Level Desorption Speed 在超高真空系統(tǒng)中許多化學(xué)活潑的雙原子氣體在金屬表面上化學(xué)吸附時分級為原子態(tài)。 ( ) e x p ( )acc EF RT? ? ???c n cu ???Physical Adsorption Speed 物理吸附速率 up是： 定義凝聚速率 得到物理吸附速率表達(dá)式為： ()p n puF ????()ppF? ? ??p n pu ???First Level Desorption speed 分別為單位面積吸附分子數(shù)、一級解吸速率常數(shù)、氣體普適常數(shù)、解吸活化能、熱力學(xué)溫度和吸附分子垂直于表面方向的振動周期。 1( ) e x p ( ) ( s e c )ac n cEuFRT??? ? ?2個 /m為了簡單起見，通常定義粘附概率 αc, 得到化
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