【正文】 ? 極限真空變低 : 系統(tǒng)泄漏，系統(tǒng)太臟，泵油被污染，加熱功率不夠，冷卻水問(wèn)題（ 水溫、水壓、水量、水質(zhì)）? 抽氣緩慢： 加熱功率不夠，油量不足，腔室污染? 進(jìn)氣口壓力波動(dòng) 加熱器輸入功率不當(dāng)，進(jìn)氣口前面系統(tǒng)存在滲漏? 反應(yīng)腔污染嚴(yán)重 前幾壓力大，在較高壓力下長(zhǎng)期工作，誤操作，加熱功率過(guò)高河北漢盛光電科技有限公司 干泵? 干泵屬于機(jī)械泵，因?yàn)闊o(wú)油，故多用來(lái)抽取特氣或尾氣；其實(shí)嚴(yán)格意義上說(shuō)，他也并不是完全的無(wú)油，在傳動(dòng)齒輪及軸承處仍需潤(rùn)滑油或 PFPE全氟聚醚油脂潤(rùn)滑，產(chǎn)生的油蒸汽仍可進(jìn)入泵腔產(chǎn)生污染。? 擴(kuò)散泵使用環(huán)境應(yīng)盡量符合規(guī)定：溫度低于 35℃ ，濕度小于 80%，否則泵性能會(huì)下降。? 在需要往擴(kuò)散泵腔內(nèi)通大氣時(shí)，應(yīng)提前確保泵油冷卻到安全溫度以下，防止高溫下泵油的氧化。? 雖然現(xiàn)在基本是系統(tǒng)的全自動(dòng)控制，但有些時(shí)候扔需要手動(dòng)對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行操作，比如檢漏等，很多情況下泵油的返流式由設(shè)備發(fā)生故障或操作步驟不當(dāng)造成的。河北漢盛光電科技有限公司 油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)操作注意事項(xiàng)? 油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)中任何一個(gè)閥門的誤操作都會(huì)使泵收到損傷，可能使擴(kuò)散泵泵油反流到真空腔室，造成污染。? 擴(kuò)散泵：構(gòu)造簡(jiǎn)單，無(wú)機(jī)械磨損構(gòu)件，無(wú)噪聲污染，抽速快，相對(duì)便宜，體積大，能耗高，存在油污染（配合冷阱可極大的降低返油）。配合冷阱使用雖然可以降低返油，但是同時(shí)也降低了擴(kuò)散泵的抽速，比如一個(gè)幾乎可以完全防止返油的冷阱可以降低 30%左右的抽速，但是卻可以提高極限真空度。河北漢盛光電科技有限公司 擴(kuò)散泵介紹油擴(kuò)散泵是靠噴嘴高速噴射的硅油蒸汽來(lái)將氣體逐級(jí)壓縮至排氣口，或氣體分子溶入油中，等油冷凝回流被重新加熱然后氣體被釋放到排氣口，然后被前級(jí)泵帶走達(dá)到抽真空的目的。當(dāng)然具體來(lái)說(shuō)需要考慮的因素更多：轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速，壓差，氣體溫度，冷卻水因素，泵腔體積等等河北漢盛光電科技有限公司 常出現(xiàn)問(wèn)題? 油溫高： 冷卻不好，箱體油位過(guò)高，過(guò)濾器堵塞，油路堵塞，工作液不合要求? 渦輪不轉(zhuǎn)： 箱體油位過(guò)低，過(guò)濾器堵塞，液壓泵入口漏氣? 軸端漏油： 油封損壞，油封沒(méi)安裝好，聯(lián)軸器產(chǎn)生吸油效應(yīng)（加一擋風(fēng)板）? 轉(zhuǎn)子卡死或損壞： 冷卻水問(wèn)題? 泵突然停機(jī)： 冷卻水問(wèn)題，前級(jí)泵故障導(dǎo)致羅茨泵出口壓力過(guò)高，羅茨泵過(guò)載? 真空度降低： 前級(jí)泵故障或性能變差，管道泄露? 泵內(nèi)雜音： 機(jī)件磨損，生產(chǎn)氣體中有較大磨耗性顆粒進(jìn)入泵體，因轉(zhuǎn)子間，與泵腔間狹縫極?。ㄒ话?）加之泵長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)存在的磨損都可能導(dǎo)致轉(zhuǎn)子產(chǎn)生碰擦，產(chǎn)生異響。，因此就要有盡量大的交換面積 。蜂窩式熱交換器的獨(dú)特構(gòu)造可以最大化的實(shí)現(xiàn)冷卻效果，并且避免 Vs1與 Vs2之間的氣體竄通，降低冷卻效果。? 轉(zhuǎn)子的冷卻一般有兩種方法 :，排氣回流的氣體經(jīng)過(guò)熱交換器變成了低溫氣體，它在通過(guò)間隙返流時(shí)就可以對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻 。隨著抽氣的進(jìn)行，氣體負(fù)荷減小，羅茨泵逐漸加速到額定轉(zhuǎn)速，達(dá)到最高抽氣效率。? 羅茨泵的最大壓差由液力聯(lián)軸器所傳遞的最大轉(zhuǎn)矩來(lái)決定，而液力聯(lián)軸器可傳遞的最大轉(zhuǎn)矩可由其中的液體量來(lái)調(diào)節(jié)。? 液力聯(lián)軸器的傳動(dòng)效率等于輸出軸轉(zhuǎn)速與輸入軸轉(zhuǎn)速之比，一般正常的轉(zhuǎn)速比在 。因此其過(guò)載保護(hù)性能和啟動(dòng)性能好，載荷過(guò)大而停轉(zhuǎn)時(shí)輸入軸仍可轉(zhuǎn)動(dòng)，不致造成馬達(dá)的損壞 。最后液體返回泵輪，形成周而復(fù)始的流動(dòng)，即液力聯(lián)軸器靠液體來(lái)實(shí)現(xiàn)電動(dòng)機(jī)與泵之間力矩的傳遞。電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)輸入軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，液體被離心式泵輪甩出。河北漢盛光電科技有限公司 液力聯(lián)軸器簡(jiǎn)單介紹? 液力聯(lián)軸器是一種靠液體作為工作介質(zhì)的非剛性聯(lián)軸器。河北漢盛光電科技有限公司 羅茨泵工作原理羅茨泵壓縮氣體所需的功率與壓差成正比，一旦氣體壓差過(guò)高，泵就可能出現(xiàn)過(guò)載現(xiàn)象，造成電機(jī)繞組燒損 .本羅茨泵使用了液力聯(lián)軸器，使泵可以無(wú)級(jí)調(diào)速，平穩(wěn)起動(dòng)，能夠在高壓差下工作，起到保護(hù)馬達(dá)的作用。? 氣鎮(zhèn)雖然能起到排出蒸汽的目的但同時(shí)也降低了泵的抽速及極限真空，因此通常先打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥排出蒸汽，等過(guò)一段時(shí)間就可關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，在抽一會(huì)就可達(dá)到泵的極限真空。? 我們可以采用氣鎮(zhèn)來(lái)防止蒸汽凝結(jié)，從而避免油污染。? 吸入氣體溫度過(guò)高，比如高于 50℃ ，應(yīng)采用氣冷羅茨泵對(duì)氣體降溫? 經(jīng)常檢查泵的各部位溫度，及時(shí)調(diào)節(jié)冷卻水水量。河北漢盛光電科技有限公司 旋片式機(jī)械泵工作示意圖? 一般用油機(jī)械泵粗抽真空，不能使系統(tǒng)真空度太高，太高會(huì)造成嚴(yán)重的機(jī)械泵返油反流，只要達(dá)到高真空泵工作范圍即可。河北漢盛光電科技有限公司 ? 工作過(guò)程：? 氣體從入口進(jìn)入轉(zhuǎn)子和定子之間? 偏軸轉(zhuǎn)子壓縮空氣并輸送到出口? 氣體在出口累積到一定壓強(qiáng)，噴出到大氣? 工作范圍及特點(diǎn) ：? Atmosphere to 103 torr? 耐用，便宜? 由于泵的定子、轉(zhuǎn)子都浸入油中，每周期都有油進(jìn)入容器，有污染。 工業(yè)常用組合：（機(jī)械泵 +擴(kuò)散泵）、（機(jī)械泵 +分子泵）? 本系統(tǒng)所用組合：小油封旋片泵 +擴(kuò)散泵 大油泵 +增壓泵 +擴(kuò)散泵 干泵：抽特氣尾氣? 本真空系統(tǒng)用到羅茨泵的變速靠的是液力聯(lián)軸器，液壓聯(lián)動(dòng)技術(shù)主要用于輪船驅(qū)動(dòng)等方面，目的就是防過(guò)載，保護(hù)馬達(dá)。氣體的電離將加速吸附過(guò)程，而活潑金屬及活性氣體則容易發(fā)生化學(xué)吸附。? 真空中的吸附與脫附?jīng)Q定于氣體壓強(qiáng)、固體與氣體的化學(xué)活性、固體溫度、固體表面平整度、清潔度等。低溫下發(fā)生。? 物理吸附：由分子間的吸引力引起，沒(méi)有選擇性，任何氣體都可在固體表面被吸附。? 焊接注： 絕對(duì)的密封是不存在的，任何材質(zhì)的腔室材料本身都會(huì)有氣體分子滲入（一般腔室都制作的很厚），各密封處的滲漏等，腔室內(nèi)壁吸附分子的釋放（腔室都要經(jīng)過(guò)特殊的內(nèi)壁處理，減少分子吸附）等河北漢盛光電科技有限公司 腔室內(nèi)壁對(duì)氣體分