《真空鍍膜基礎(chǔ)知識(shí)》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 抽速，比如一個(gè)幾乎可以完全防止返油的冷阱可以降低 30%左右的抽速，但是卻可以提高極限真空度。當(dāng)然具體來說需要考慮的因素更多：轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速，壓差，氣體溫度，冷卻水因素，泵腔體積等等河北漢盛光電科技有限公司 常出現(xiàn)問題? 油溫高： 冷卻不好，箱體油位過高，過濾器堵塞，油路堵塞，工作液不合要求? 渦輪不轉(zhuǎn)： 箱體油位過低，過濾器堵塞，液壓泵入口漏氣? 軸端漏油： 油封損壞，油封沒安裝好，聯(lián)軸器產(chǎn)生吸油效應(yīng)（加一擋風(fēng)板）? 轉(zhuǎn)子卡死或損壞： 冷卻水問題? 泵突然停機(jī)： 冷卻水問題，前級(jí)泵故障導(dǎo)致羅茨泵出口壓力過高，羅茨泵過載? 真空度降低： 前級(jí)泵故障或性能變差，管道泄露? 泵內(nèi)雜音： 機(jī)件磨損，生產(chǎn)氣體中有較大磨耗性顆粒進(jìn)入泵體，因轉(zhuǎn)子間，與泵腔間狹縫極?。ㄒ话?）加之泵長期運(yùn)轉(zhuǎn)存在的磨損都可能導(dǎo)致轉(zhuǎn)子產(chǎn)生碰擦，產(chǎn)生異響。蜂窩式熱交換器的獨(dú)特構(gòu)造可以最大化的實(shí)現(xiàn)冷卻效果，并且避免 Vs1與 Vs2之間的氣體竄通，降低冷卻效果。隨著抽氣的進(jìn)行，氣體負(fù)荷減小，羅茨泵逐漸加速到額定轉(zhuǎn)速，達(dá)到最高抽氣效率。? 液力聯(lián)軸器的傳動(dòng)效率等于輸出軸轉(zhuǎn)速與輸入軸轉(zhuǎn)速之比，一般正常的轉(zhuǎn)速比在 。最后液體返回泵輪，形成周而復(fù)始的流動(dòng)，即液力聯(lián)軸器靠液體來實(shí)現(xiàn)電動(dòng)機(jī)與泵之間力矩的傳遞。河北漢盛光電科技有限公司 液力聯(lián)軸器簡單介紹? 液力聯(lián)軸器是一種靠液體作為工作介質(zhì)的非剛性聯(lián)軸器。? 氣鎮(zhèn)雖然能起到排出蒸汽的目的但同時(shí)也降低了泵的抽速及極限真空，因此通常先打開氣鎮(zhèn)閥排出蒸汽，等過一段時(shí)間就可關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，在抽一會(huì)就可達(dá)到泵的極限真空。? 吸入氣體溫度過高，比如高于 50℃ ，應(yīng)采用氣冷羅茨泵對(duì)氣體降溫? 經(jīng)常檢查泵的各部位溫度，及時(shí)調(diào)節(jié)冷卻水水量。河北漢盛光電科技有限公司 ? 工作過程：? 氣體從入口進(jìn)入轉(zhuǎn)子和定子之間? 偏軸轉(zhuǎn)子壓縮空氣并輸送到出口? 氣體在出口累積到一定壓強(qiáng)，噴出到大氣? 工作范圍及特點(diǎn) ：? Atmosphere to 103 torr? 耐用，便宜? 由于泵的定子、轉(zhuǎn)子都浸入油中，每周期都有油進(jìn)入容器，有污染。氣體的電離將加速吸附過程，而活潑金屬及活性氣體則容易發(fā)生化學(xué)吸附。低溫下發(fā)生。? 焊接注： 絕對(duì)的密封是不存在的，任何材質(zhì)的腔室材料本身都會(huì)有氣體分子滲入（一般腔室都制作的很厚），各密封處的滲漏等，腔室內(nèi)壁吸附分子的釋放（腔室都要經(jīng)過特殊的內(nèi)壁處理，減少分子吸附）等河北漢盛光電科技有限公司 腔室內(nèi)壁對(duì)氣體分子的吸附與脫附? 吸附：固體表面對(duì)氣體分子的捕獲。應(yīng)用：宇宙空間環(huán)境的模擬，大型同步質(zhì)子加速器的運(yùn)轉(zhuǎn)。利用氣體分子密度降低可實(shí)現(xiàn)無氧化加熱，利用氣壓降低時(shí)氣體的熱傳導(dǎo)和對(duì)流逐漸消失的原理可以實(shí)現(xiàn)真空隔熱及絕緣，利用壓強(qiáng)降低液體沸點(diǎn)也降低的原理實(shí)現(xiàn)真空冷凍和真空干燥（黑色金屬真空熔煉脫氣，真空絕緣和真空隔熱，真空冷凍及干燥，高速空氣動(dòng)力學(xué)實(shí)驗(yàn)中的低壓風(fēng)洞）。? 流量：單位時(shí)間通過某一界面的氣體體積。? 粘滯流：氣體分子平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小界面尺寸的流態(tài)。? 常用單位及換算：1Psi = 1磅 / 平方英寸1Pa = 1N/m2河北漢盛光電科技有限公司 ? 真空泵：用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。? 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件：溫度 20℃ ，相對(duì)濕度 65%，大氣壓力 101325Pa。避免外界劃傷引起的開路現(xiàn)象膜的化學(xué)，熱穩(wěn)定性。? 氣相沉積又分物理氣相沉積（ physical vapor deposition）和化學(xué)氣相沉積 （ chemical vapor deposition）一些基本概念河北漢盛光電科技有限公司 薄膜制備方法滲入法 沉積法化合 擴(kuò)散 離子注入氣相擴(kuò)散固態(tài)擴(kuò)散氣相沉積 液相沉積pvdcvd真空蒸鍍離子鍍?yōu)R射化學(xué)反應(yīng)法等離子體 cvd熱分解法電鍍化學(xué)反應(yīng)鍍膜鍍膜常用方法列表河北漢盛光電科技有限公司 氣相沉積成膜的一般過程：1 原料及襯底的預(yù)處理（清潔等）2 原料的氣化 1) 以分子、原子、離子等形態(tài)向真空發(fā)射 (pvd的氣化方式 ) 蒸發(fā)、升華 濺射 電離 離化 2）以化合物形式氣化（ cvd的氣化方式）3 將粒子輸運(yùn)到襯底上 1）分子、原子、離子的飛行（ pvd的輸運(yùn)方式） 2）擴(kuò)散（ cvd的輸運(yùn)方式）4 粒子在襯底上析出 1）附著（真空蒸鍍， cvd） 2）楔入（濺射、離子鍍）5 薄膜的形成 熱運(yùn)動(dòng) 碰撞 結(jié)合河北漢盛光電科技有限公司 非晶薄膜太陽能電池生產(chǎn)需要的鍍膜方式：? 1 LPcvd鍍 TCO導(dǎo)電層? 2 pecvd鍍非晶硅薄膜? 3 磁控濺射鍍氧化鋅減反層和鋁背電極 或 mocvd鍍氧化鋅膜層河北漢盛光電科技有限公司 薄膜的主要性能膜厚：越均勻越好，一般應(yīng)控制在一個(gè)范圍以內(nèi)比如 5%，這與玻璃基板尺寸有關(guān)膜表面形貌：通過掃描電子顯微鏡（ SEM）投射電子顯微鏡（ TEM）等分析表明顆粒狀態(tài)，可獲得薄膜表面的致密情況，缺陷狀態(tài)，退火處理對(duì)膜表面的影響等信息。? 薄膜： 在嚴(yán)格的學(xué)術(shù)意義上，認(rèn)為只有聚集厚度小于某一特征厚度的材料才是真正的薄膜，否則便是一般的薄材料。? 我們先對(duì)薄膜的概念做一個(gè)粗略的了解。? 沉積技術(shù)：氣相沉積（將構(gòu)成薄膜的物質(zhì)氣化后在沉積到襯底上）? 液相沉積（在液體中沉積鍍膜）? 氣相沉積：比較容易控制薄膜的組分? 液相沉積：在接近于熱平衡的條件下成膜，能獲得較好的膜質(zhì)。膜與襯底的接觸特性：主要是指薄膜與襯底之間的附著力，當(dāng)然附著力越強(qiáng)越好，可避免薄膜出現(xiàn)缺失，開路等膜的致密性：主要指的是膜層的硬度和抗磨性。? 真空度：真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度。? 要想獲得高品質(zhì)的薄膜就必須有一個(gè)比較理想的本底真空。相當(dāng)多自由程的平均值叫做平均
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