真空鍍膜基礎(chǔ)知識ppt課件(存儲版)
【正文】 統(tǒng)存在滲漏? 反應(yīng)腔污染嚴重 前幾壓力大，在較高壓力下長期工作，誤操作，加熱功率過高河北漢盛光電科技有限公司 干泵? 干泵屬于機械泵，因為無油，故多用來抽取特氣或尾氣；其實嚴格意義上說，他也并不是完全的無油，在傳動齒輪及軸承處仍需潤滑油或 PFPE全氟聚醚油脂潤滑，產(chǎn)生的油蒸汽仍可進入泵腔產(chǎn)生污染。 河北漢盛光電科技有限公司 爪式泵排氣步驟從這個圖我們可以看出爪式泵集中了旋片泵與羅茨泵的優(yōu)點，但是壓縮比要比羅茨泵高很多，極限真空等各方面也優(yōu)于羅茨泵。河北漢盛光電科技有限公司 真空計? 真空計（規(guī)）就是對真空狀態(tài)計真空度進行測量的器件，常用的是熱偶真空計、皮拉尼真空計潘寧冷陰極真空計和熱陰極真空計四種。河北漢盛光電科技有限公司 氦質(zhì)譜檢漏儀 1 我們需要檢漏的主要地方：各鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)，特氣管路等 2 檢漏方式很多，但工業(yè)普遍采用氦質(zhì)譜檢漏儀，其具有檢漏范圍廣 （ 103～ 108 Pa? 按預(yù)抽閥預(yù)抽檢漏儀內(nèi)部真空。? 物質(zhì)隨著能量的增加，通過熔化，蒸發(fā)，離子化的方式可實現(xiàn)固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、等離子體四種狀態(tài)的變化，宇宙中約 99%的物質(zhì)都處于等離子體狀態(tài)。只要絕對溫度不為零，任何氣體中總存在有少量的分子和原子電離。3） 到達生長表面的各種初級及次級反應(yīng)的產(chǎn)物被表面吸附并發(fā)生反應(yīng)，生成薄膜。? 稀釋氣體：在薄膜制備中，常常會通入 H惰性氣體等稀釋氣體，稀釋氣體一方面起到保護工藝環(huán)境的目的，另一方面少量的稀釋氣體摻雜到所制備的薄膜當中，提高薄膜品質(zhì)。? CH4 做窗口層，提高帶隙，減少入射光在 p層的吸收，提高短路電流? H2 稀釋反應(yīng)氣體，載氣，填補懸鍵、減少缺陷? SH4 沉積非晶硅膜層? TMB P層摻雜? PH5 N層摻雜河北漢盛光電科技有限公司 THE ENDTHANKS!。? 氣壓：反應(yīng)室內(nèi)工藝過程中的氣體壓力的大小，會直接影響到輝光放電的效果，同事對反應(yīng)速度也有一定的影響，反應(yīng)室內(nèi)的氣體壓力也要適中。? Pecvd成膜一般包括三個基本過程：1） 電子獲得能量撞擊反應(yīng)氣體，使其分解電離生成含有離子和活性基團的混合物。而電子在損失掉能量以后又會被電場加速，他們不斷地反復(fù)著被加速 與分子原子碰撞的過程，于是氣體便很快地電離而成為等離子體發(fā)生放電現(xiàn)象。 河北漢盛光電科技有限公司 檢測部位? 腔門密封圈? 法蘭，拆卸過的重點檢測? 氣動閥門，拆卸過的重點檢測? 焊縫? 接口? 注 ： 每次檢漏都是有針對性的進行，各拆卸過的部件，密封圈及閥門是重點。河北漢盛光電科技有限公司 氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理燈絲發(fā)射出的電子在電離室來回震蕩，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下經(jīng)縫隙進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，軌道半徑與粒子的荷質(zhì)比有關(guān)，調(diào)節(jié)電壓使氦離子正好通過縫隙被收集形成離子流經(jīng)放大器放大，通過輸出表及音響顯示出來。? 熱陰極需要加熱燈絲來釋放電子，冷陰極利用的是低壓空間殘留帶電粒子。在抽取含粉塵比較多的氣體或危險特氣的時候可以逐級往泵腔通 N2來防止粉塵的沉積，及稀釋特氣至安全氛圍以下。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。? 擴散泵使用環(huán)境應(yīng)盡量符合規(guī)定：溫度低于 35℃ ，濕度小于 80%，否則泵性能會下降。? 擴散泵：構(gòu)造簡單，無機械磨損構(gòu)件，無噪聲污染，抽速快，相對便宜，體積大，能耗高，存在油污染（配合冷阱可極大的降低返油）。，因此就要有盡量大的交換面積 。? 羅茨泵的最大壓差由液力聯(lián)軸器所傳遞的最大轉(zhuǎn)矩來決定，而液力聯(lián)軸器可傳遞的最大轉(zhuǎn)矩可由其中的液體量來調(diào)節(jié)。電動機帶動輸入軸旋轉(zhuǎn)時，液體被離心式泵輪甩出。? 我們可以采用氣鎮(zhèn)來防止蒸汽凝結(jié)，從而避免油污染。 工業(yè)常用組合：（機械泵 +擴散泵）、（機械泵 +分子泵）? 本系統(tǒng)所用組合：小油封旋片泵 +擴散泵 大油泵 +增壓泵 +擴散泵 干泵：抽特氣尾氣? 本真空系統(tǒng)用到羅茨泵的變速靠的是液力聯(lián)軸器，液壓聯(lián)動技術(shù)主要用于輪船驅(qū)動等方面，目的就是防過載，保護馬達。? 物理吸附：由分子間的吸引力引起，沒有選擇性，任何氣體都可在固體表面被吸附。利用氣體分子密度低，任何物質(zhì)與氣體殘余分子發(fā)生化學(xué)作用微弱的特點進行真空冶金，真空鍍膜（超純金屬、半導(dǎo)體材料的真空提純及精制，真空鍍膜，離子注入、干法刻蝕等表面改性，真空器件的生產(chǎn)：光電管、各種粒子加速器等）。? 中間流：在層流和分子流之間狀態(tài)下分子通過導(dǎo)管的流動。 單位面積上分子與固體表面碰撞幾率變??；氣體分子密度低；剩余氣體對沉積膜的摻雜減小。膜應(yīng)力：薄膜內(nèi)部的應(yīng)力越小越好，通過退火處理可最大程度的釋放膜的內(nèi)部應(yīng)力。河北漢盛光電科技有限公司 真空及薄膜基礎(chǔ) 麥田 ^ 烏鴉 .河北漢盛光電科技有限公司 ? 我們生產(chǎn)的為非晶硅薄膜太陽能電池，了解 PECVD設(shè)備及工藝需要對 真空鍍膜 有一個了解，并且對半導(dǎo)體物理及薄膜知識有一定的認識。膜機構(gòu)特性：用 X射線衍射分析膜的組成成分，可獲得膜的純度等信息。? 真空特點：氣體分子平均自由程大 。此時的流動取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以使層流或滯流。? 高真空（ ）：氣體分子間相互碰撞極少，氣體分子與器壁間碰撞頻繁，氣體運動以分子流為主，此時的氣體釋放是影響真空度及抽氣時間的一個主要原因。? 分物理吸附和化學(xué)吸附。河北漢盛光電科技有限公司 真空獲得? 本真空系統(tǒng)用到的真空泵有：擴散泵（ Diffusion pump），小油封機械泵 (Holding pump)，大油封式旋片泵 (Roughing pump)，羅茨增壓泵(Blower pump)，干泵 (Process pump)? 為了獲得更好的真空效果及抽氣速率通常采用真空泵組合機組來實現(xiàn)。河北漢盛光電科技有限公司 氣鎮(zhèn)的運用
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