【正文】 特性的變化，分子間碰撞頻繁，此時的吸附氣體釋放可以不予考慮，氣體運動以粘滯流為主。? 低真空（ ）：氣體分子間，分子與器壁間碰撞不相上下，氣體分子密度較小，氣體釋放也可不考慮，氣體運動以中間流為主。? 高真空（ ）：氣體分子間相互碰撞極少，氣體分子與器壁間碰撞頻繁，氣體運動以分子流為主，此時的氣體釋放是影響真空度及抽氣時間的一個主要原因。? 超高真空（ ）：氣體分子與器壁的碰撞次數(shù)極少，氣體空間只有固體本身的原子，幾部沒有別的分子或原子的存在，此時壓強的升高除了泄漏外主要就是器壁分子的釋放。河北漢盛光電科技有限公司 常用密封方式? O型密封圈（擠壓密封），特種橡膠材質(zhì)，一般用于腔室與門的密封，真空閥門，真空計的銜接處的密封等。? 法蘭密封，主要用于電極同軸線的連接等? 金屬密封（ O密封、 C密封， E密封等）靠的是金屬的自緊作用。? 分物理吸附和化學吸附。物理吸附容易脫附。? 化學吸附：由氣體與固體表面分子發(fā)生化學反應時產(chǎn)生，不易脫附，只在高溫下發(fā)生。適當加熱有助于物理脫附。河北漢盛光電科技有限公司 真空獲得? 本真空系統(tǒng)用到的真空泵有：擴散泵（ Diffusion pump），小油封機械泵 (Holding pump)，大油封式旋片泵 (Roughing pump)，羅茨增壓泵(Blower pump)，干泵 (Process pump)? 為了獲得更好的真空效果及抽氣速率通常采用真空泵組合機組來實現(xiàn)。? 液壓聯(lián)動的優(yōu)點：質(zhì)量輕，傳動無磨損，使用壽命長，易于保護電機等。? 要求機械泵油有低的飽和蒸汽壓、一定潤滑性、黏度和高穩(wěn)定性。? 油位控制? 吸入氣體粉塵多，油污染問題，可在泵入口加一除塵裝置和一過濾裝置? 油乳化，吸入氣體水蒸汽太多，可加一氣鎮(zhèn)裝置，或者在羅茨泵排氣口加冷凝器（乳化就是一種液體離散為很多微粒分散到另一種液體中，成為一種乳液）。河北漢盛光電科技有限公司 氣鎮(zhèn)的運用? 泵所抽取的氣體中通常會包含一定量的可凝性氣體，這種混合氣體在泵內(nèi)壓縮排氣的過程中，如果可凝性氣體的分壓超過了泵溫下的飽和蒸汽壓，那么他們就會凝結(jié)，和泵油混合，隨著凝結(jié)物的累加，最終會導致泵油的性能變差，乃至乳化。具體做法就是將室溫干燥空氣或氮氣從氣鎮(zhèn)孔充入泵體的壓縮腔，從而起到一個稀釋的作用，使壓縮后的蒸汽分壓能保持在泵溫狀態(tài)下的飽和蒸氣壓之下，因此蒸汽可以不被壓縮和其他氣體一起排出泵外。? 當泵油被少量凝結(jié)液污染后可以通過氣鎮(zhèn)來自凈化泵油：關(guān)閉入口閥門，打開氣鎮(zhèn)閥，運行一段時間，泵油即可恢復。 羅茨泵分 3種：低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（機械增壓泵）；高真空多級羅茨泵（干泵）。? 液力聯(lián)軸器安裝與泵與電動機之間，其泵輪與渦輪組成一個可使液體循環(huán)流動的密閉工作腔，泵輪安裝在輸入軸上，渦輪裝在輸出軸上。這種高速液體進入渦輪后推動渦輪旋轉(zhuǎn)，將從泵輪獲得的能量傳遞給輸出軸。液力聯(lián)軸器輸入軸與輸出軸靠液體聯(lián)系，工作構(gòu)件間不存在剛性連接。當載荷減小時，輸出軸轉(zhuǎn)速增加到接近輸入軸的轉(zhuǎn)速。液力聯(lián)軸器的特性因工作腔與泵輪、渦輪的形狀不同而有差異。當泵在高壓差下工作或與前級泵同事啟動時，在液力聯(lián)軸器內(nèi)部就產(chǎn)生了轉(zhuǎn)速差及會發(fā)生滑動，即只傳遞一定的力矩，使泵減速工作。河北漢盛光電科技有限公司 羅茨泵特點：? 在較寬壓強范圍有較大的抽速? 啟動快，迅速工作? 對氣體中的灰塵和水蒸氣不敏感? 轉(zhuǎn)子不需油潤滑，提供比較潔凈的工作環(huán)境? 設(shè)備驅(qū)動功率小，機械磨損小? 結(jié)構(gòu)緊湊，小巧? 運行維護費用低河北漢盛光電科技有限公司 羅茨泵轉(zhuǎn)子冷卻問題? 泵連續(xù)長時間工作會導致轉(zhuǎn)子溫度的升高，在 10Torr量級范圍內(nèi)，被抽氣體導熱能力變的很差，轉(zhuǎn)子的散熱主要是向泵腔輻射被帶走，這樣會使轉(zhuǎn)子和泵腔存在很大的溫度差，轉(zhuǎn)子的熱膨脹可能導致轉(zhuǎn)子之間及于泵腔間隙的減小乃至消失，轉(zhuǎn)子就可能被卡死，乃至損壞。體，進入到轉(zhuǎn)子內(nèi)部，進而通過循環(huán)實現(xiàn)對轉(zhuǎn)子的冷卻，通過負荷的大小來調(diào)節(jié)油量的多少，達到一個合理的冷卻效果，通過循環(huán)水來冷卻油（內(nèi)冷卻方法存在的最大缺陷是如轉(zhuǎn)子內(nèi)部存在氣泡的話會引起轉(zhuǎn)子運轉(zhuǎn)不平衡，造成泵的損壞）。為了實現(xiàn)最大的冷卻效果必須做到：，冷卻器截流作用小，導流要大。但是兩者又是相矛盾的，必須從氣體流到狀態(tài)規(guī)律和熱交換規(guī)律兩方面進行綜合考慮，進行優(yōu)化選擇。 啟動順序問題，液壓調(diào)速和齒輪箱變速 （有無旁通閥） 的區(qū)別泵一般應該運行一年進行一次大檢修：齒輪及軸承的磨損，檢查密封裝置，更換密封圈，檢查轉(zhuǎn)子的腐蝕情況，轉(zhuǎn)子結(jié)垢情況，泵腔腐蝕及結(jié)垢情況。擴散泵抽速快，構(gòu)造簡單，無機械磨損構(gòu)件，無噪聲污染，但存在油污染，需冷卻水和前級泵抽氣范圍： 103 to 107 Torr 配合液氮冷阱使用可達 109Torr冷阱可用極低的溫度降低氣體分子的能量或?qū)⑵湮皆诶溱鍍?nèi)部，實現(xiàn)更高的真空。河北漢盛光電科技有限公司 擴散泵與分子泵的比較? 擴散泵與分子泵都可以獲得高真空，都不能直抽大氣，都需要配備前級泵。? 分子泵：能耗低，體積小，極限真空高，潔凈泵，設(shè)計復雜，噪聲大，價格昂貴。前級管道上的漏孔、機械泵油位高度不適當或前級管道閥門的失靈都會使前級壓力超過臨界值，當前級壓力超過臨界值時，擴散泵油就會迅速反流到真空室中。? 如擴散泵入口與高真空閥門間裝有液氮冷阱，則在抽氣時不要在真空室的壓力高于 2Pa時給冷阱通液氮，否則將使冷阱中凝結(jié)過多的水汽。? 防止前級壓力超過臨界值，這樣泵油會迅速返流到真空腔室中? 擴散泵應避免在 ，此時，擴散泵和粗抽泵都存在最大返流率? 擴散泵工作時應經(jīng)常檢查泵是否有局部過熱，檢查冷卻水溫，水溫過高應加大冷卻水量。? 擴散泵正常工作，閥門誤操作，應立即關(guān)閉高真空閥，防止泵油氧化? 擴散泵停止使用期間應真空保存，冷卻水用壓縮空氣吹干凈。? 干泵大致可分 4類（容積式） :多級羅茨，爪式，螺桿式，渦旋式；極限壓力： 。三葉壓縮比大，抽速低。螺桿式無油機械真空泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相