薄膜制備的真空技術基礎(2)-文庫吧資料
2025-05-09 18:46本頁面
【正文】 溫度的變化，并通過改變燈絲電壓維持燈絲電流恒定，從而確定氣體密度 －－－熱電偶規(guī)的特點 ?價格低廉、方便、快捷、耐用 －－熱偶規(guī)的使用 ?工作電流：每支熱偶規(guī)的工作電流都不完全一樣。 真空泵簡介 羅茨真空泵 真空泵簡介 油擴散泵 油擴散泵的特點 ?成本低廉、經(jīng)濟耐用、無振動 ?工作范圍：低真空 ～中、高真空 ?缺點：返油、預熱 真空泵簡介 渦輪分子泵 渦輪分子泵的特點 ?抽速大、無油、啟動快 ?工作范圍：低真空 ～中、高真空，大氣 ～超高真空 ?極限真空： 106/ 1010torr ?缺點：振動、成本高、易損 真空泵簡介 低溫吸附泵 低溫吸附泵的特點 ?成本低廉、簡單耐用 ?工作范圍：大氣 ～低真空 ?極限真空： 101~108pa ?優(yōu)點：無油、無振動 ?缺點：使用成本比較高 真空泵簡介 濺射離子泵 濺射離子泵的特點 ?抽速大、無油、無振動 ?工作范圍：中高真空 ～超高真空 ?極限真空： 108Pa ?缺點：惰性氣體抽速低 真空泵簡介 真空的測量 熱偶真空規(guī)和皮拉尼（ Pirani）真空規(guī) 測量原理：利用氣體的熱傳導現(xiàn)象，以氣體的熱導率隨氣體壓強的變化為基礎。 真空泵簡介 旋片式機械真空泵 原理：利用插在偏心轉子中的數(shù)個可以滑進滑出的旋片將泵體內的氣體隔離、壓縮，然后將其排除泵體之外。 真空泵的有效抽速 S CSCSSpp?? 真空泵性能的基本參數(shù) 實際抽速 S小于理論抽速 SP 氣體的流動狀態(tài)和真空抽速 極限壓強 Pn：泵對一個不漏氣不放氣的容器抽氣，經(jīng)過足夠長的時間所能達到的最低平衡壓強； 最大工作壓強： 泵能正常工作的最高壓強； 運用范圍： 泵具有相當抽氣能力時的壓強范圍。 氣體的流動狀態(tài)和真空抽速 圖 黏滯態(tài)氣流的兩種流動狀態(tài) （ a)－層流； （ b)－紊流 氣體的流動狀態(tài)和真空抽速 雷諾（ Reynolds）準數(shù) Re是幫助判斷氣體流動狀態(tài)的另一無量綱參數(shù)，定義為： Re vd ???雷諾準數(shù)與氣體流動狀態(tài)之間的關系為： Re2200
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