薄膜的制備1薄膜基礎(chǔ)-文庫吧資料
2025-05-21 06:14本頁面
【正文】 6 1 7 [ n m ]L e ng th Y 6 3 . 4 7 7 [ n m ]A re a 3 6 5 7 . 3 4 1 [ ( n m ) 2 ]Ra 1 . 1 7 0 [ n m ]Ry 4 . 5 6 8 [ n m ]Rz 2 . 0 7 9 [ n m ]R m s 1 . 3 9 8 [ n m ]Rp 1 . 2 8 6 [ n m ]Rv 3 . 3 6 5 [ n m ]用 AFM觀察 AZO薄膜的表面形貌 SEM觀察 BST薄膜形貌 用 AFM觀察 AZO薄膜的表面形貌 用 AFM觀察 AZO薄膜的表面形貌 作業(yè)： 簡述引起薄膜島狀生長的原因和過程； 。襯底晶格與薄膜晶格很不匹配時，薄膜是多晶的，和襯底無取向關(guān)系。 這兩個因素使晶核的自由能先隨核的增大上升，到達峰值后隨核的增大減小。成核長大的驅(qū)動力來自 固相自由能比氣相自由能低 ，氣相的飽和度越高，自由能的降低越大。 對于非晶的薄膜由于沒有晶界，所以耐腐蝕性能好。 薄膜的熱膨脹系數(shù)如果與襯底的熱膨脹系數(shù)相差很大，加上薄膜的內(nèi)部應(yīng)力大，薄膜與襯底的附著強度小時薄膜會逐漸從襯底上剝離下來，或裂開。 但是，由于通常襯底的熱傳導(dǎo)較好，金屬或半導(dǎo)體薄膜通電流的情況下，焦耳熱的散發(fā)比塊材要快，因此臨界電流也較大。 光的干涉較強，因此很容易觀測到薄膜上的干涉條紋。 iii）光學(xué)特性：反射率隨薄膜表面形態(tài)顯著變化； 表面平滑的薄膜比拋光后的塊材有更高的反射率； 可見光可以透過厚度小于 50nm的
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