薄膜材料物理--第一章薄膜的形成(1)-文庫(kù)吧資料
2025-01-13 07:51本頁(yè)面
【正文】 312? ? ? ? ??? ? ? ? ? ???? ? ? ? ? ?????第一講 第一章 薄膜的形成 ? 各種大小不等的原子團(tuán)處于動(dòng)態(tài)平衡，各種原子團(tuán)的數(shù)量達(dá)到穩(wěn)定值，所以： dndn dnd d dn n n? ? ?3121 2 30, 0, 0 ???? ? ?單 原 子 數(shù) ， 雙 原 子 數(shù) ， 三 原 子 團(tuán) 數(shù)? 要形成薄膜，需有特殊的小原子團(tuán)產(chǎn)生 ,其特殊性：它不分解出單原子或雙原子等，是穩(wěn)定的。 第一講 第一章 薄膜的形成 因?yàn)槊總€(gè)吸附原子的捕獲面積內(nèi)，至少都有兩 個(gè)吸附原子。第一講 第一章 薄膜的形成 初始凝結(jié) S∑＜ 1 重新蒸發(fā)掉，不凝結(jié) 1＜ S∑＜ 2 部分凝結(jié)，部分再蒸發(fā) S∑＞ 2 完全凝結(jié) 167。+為 兩 個(gè) 吸 附 原 子 的 結(jié) 合 能kT其 解 吸 幾 率 較 小 。 要 使 S ， 則 需 ， ， T 。③ 吸附原子在基片上的狀態(tài) ?重蒸發(fā) ?基片表面上遷移 ?形成原子對(duì)或原子團(tuán) 第一講 第一章 薄膜的形成 ? 重蒸發(fā)： PPPPPPEPEE???????000 R:e x p11 / e x p=R???????11( 解 吸 幾 率 ）( 駐 留 時(shí) 間 )： 垂 直 表 面 方 向 振 頻 ， ： 物 理 吸 附 能在 內(nèi) ， 這 個(gè) 原 子 可 能 與 其 他 吸 附 原 子 相 互 作 用 原 子 團(tuán) 這 個(gè) 原 子 可 能 從 物 理 吸 附 化 學(xué) 吸 附在 基 片 單 位 面 積 上 始 終 駐 留 的 原 子 數(shù) 為 n（ / k T ）（ /kT ）n ???淀 積 速 率要 求 這 些 原 子 在 駐 留 時(shí) 間 內(nèi) 與 其 他 原 子 相 互 作 用 形 成原 子 團(tuán) 凝 聚 相 生 長(zhǎng) 成 薄 膜第一講 第一章 薄膜的形成 ? 在基片表面上的遷移速率 XXXPPP P P PEEEEn???? ? ?000e x p:e x p /???aaa2a以 吸 附 點(diǎn) 計(jì) ， （ / k T ）表 面 水 平 方 向 上 的 振 頻 ： 表 面 遷 移 活 化 能 ， 即 原 子 從 一 個(gè) 吸 附 點(diǎn) 到 另 一 個(gè) 吸 附 點(diǎn) 勢(shì) 壘在 內(nèi) 遷 移 距 離 m = = [ ( ) / k T ] 在 m 內(nèi) 能 碰 上 其 他 吸 附 原 子 才 形 成 原 子 對(duì) m 是 該 原 子 在 駐 留 時(shí) 間 內(nèi) 所 接 觸 到 的 吸 附 點(diǎn) 數(shù)該 原 子 的 捕 獲 面 積 s （ cm ） 為 ： s = m XXPPPPPEEEn s RnEERnn???1
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