薄膜材料物理--第二章薄膜的力學(xué)性質(zhì)(1)-文庫(kù)吧資料
2025-01-14 12:31本頁(yè)面
【正文】 薄 膜 的 生 長(zhǎng) 應(yīng) 力 發(fā) 生 明 顯 變 化 ， 這 時(shí) 對(duì) 應(yīng) 的 溫 度 是 有 序 化 溫 度 。第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 00 e x p ( ) SSQvRTQRv H z TRR? ? ? ??????0140 薄 膜 表 面 從 無(wú) 序 態(tài) 到 有 序 態(tài) 的 轉(zhuǎn) 化 速 率 為 ：= 阿 倫 尼 烏 斯 關(guān) 系 式 ，式 中 活 化 能 ， 氣 體 常 數(shù) ，原 子 的 振 動(dòng) 頻 率 ， 約 為 10 ， 基 片 溫 度 設(shè) 為 薄 膜 的 生 長(zhǎng) 速 率 ， 即 每 秒 個(gè) 單 原 子 層 ， 生 長(zhǎng) 應(yīng) 力 的 定 量 分 析 薄 膜 的 有 序 化 機(jī) 理—第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 000 RRR????????????? ? ????A 、 當(dāng) 表 示 在 表 面 暴 露 的 時(shí) 間 內(nèi) ， 有 序 化 的 原 子 少 ， 很 多 缺 陷 被 埋 在 表 層 以 下 ， 因 而 薄 膜 的 生 長(zhǎng) 應(yīng) 力 很 大 。： 假 設(shè) 在 薄 膜 生 長(zhǎng) 過(guò) 程 中 ， 由 于 其 表 面 迅 速 前 進(jìn) ， 許 多 0 dddSS d zdz? ? ?? ? ? ? ??薄 膜 本 征 張 應(yīng) 無(wú) 序 結(jié) 構(gòu) 層 被 埋 在 下 面 ， 被 埋 個(gè) 無(wú) 序 層 的 逐 漸 退 火 和 收 縮 ， 引 起 生 長(zhǎng) 應(yīng) 力 。界 面 應(yīng) 力 ：本 征 應(yīng) 力 B 、 在 界 面 處 有 相 當(dāng) 高 的 缺 陷 密 度 和 雜 質(zhì) 密 度 引 起 嚴(yán) 重 的克 羅 克 霍 姆 模 型界 面 失 配 產(chǎn) 生 界 面 應(yīng) 力 。 在 基 片 上 淀 積 有 雙 層 薄 膜 時(shí) ， 其 中 的 熱 應(yīng) 力 可 用 加 權(quán) 式 求 出 ： （ + ） 即+ 釋 放 薄 膜 中 內(nèi) 應(yīng) 力 的 有 效 方 法 ： 在 薄 膜 與 基 片 之 間 加 上 一 層 很薄 的 易 于 塑 變 的 薄 膜 ， 從 而 使 上 面 的 薄 膜 能 可 靠 的 工 作 。例 如 ： 玻 璃 基 片 金 屬 薄 膜熱 應(yīng) 力 張 應(yīng) 力堿 金 屬 鹵 化 物 基 片金 屬 薄 膜? ? 0F????? ? ?熱 應(yīng) 力 壓 應(yīng) 力 第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 121 2 1 212, dF dFdF dF dF dFdF dF??? ? ? ??? ? ?1212FFF F F F 一 般 材 料 能 承 受 的 壓 應(yīng) 力 遠(yuǎn) 大 于 張 應(yīng) 力 。 薄 膜 熱 應(yīng) 力 的 數(shù) 學(xué) 表 達(dá) 式 ： 彈 性 模 量 ， 薄 膜 的 熱 脹 系 數(shù) ， 基 片 的 熱 脹 系 數(shù)薄 膜 淀 積 溫 度 ， 測(cè) 量 溫 度? 按應(yīng)力起源分類：熱應(yīng)力、本征應(yīng)力 第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ? ?12212 , 1 FFFFFEGxEEyEEE??????? ? ? ? ? ??????????? ? ? ? ? ?????? ? ?????? ? ? ? ?ltl t t l121 1 2證 明 如 下 ： 張 應(yīng) 力 或 壓 應(yīng) 力 應(yīng) 變 ： , 切 應(yīng) 力 切 應(yīng) 變 ： 縱 向 應(yīng) 變 和 橫 向 應(yīng) 變 的 關(guān) 系 為 ： ， 泊 松 比方 向 應(yīng) 變 ：方 向 應(yīng) 變 ：若 薄 膜 應(yīng) 力 ， 則由? ?? ?() ( ) 1F F S dF F S dTTETT? ? ?? ? ??? ? ? ?? ? ? ??于 薄 膜 和 基 片 的 熱 脹 系 數(shù) 不 同 ， 薄 膜 的 熱 應(yīng) 變 為 帶 入 上 式 有 ： 薄 膜 熱 應(yīng) 力 ： ， 。 本征應(yīng)力 來(lái)自于薄膜的結(jié)構(gòu)因素 和缺陷。 薄膜內(nèi)應(yīng)力的來(lái)源尚未形成定論。 + 在張應(yīng)力作用下，薄膜自身有其收縮的趨勢(shì) → 過(guò)大 → 薄膜開(kāi)裂。 張應(yīng)力過(guò)大 → 薄膜開(kāi)裂、基片翹曲。 薄膜的內(nèi)應(yīng)
試題試卷相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1