薄膜材料物理--第一章薄膜的形成-文庫吧資料
2025-01-13 07:52本頁面
【正文】 、小島的表面能和界面能，小島將有一個最低 能量溝形，該形狀具有一定的高經(jīng)比。 核結(jié)合時的傳質(zhì)機理是體擴(kuò)散和表面擴(kuò)散（以表面擴(kuò)散為主）以便表面能降低。而新出現(xiàn)的基片面積上會發(fā)生二次成核，復(fù)結(jié)合后的復(fù)合島若有足夠時間，可形成晶體形狀，多為六角形。 說明：核生長以吸附單體在基片表面的擴(kuò)散， 不是由于氣相原子的直接接觸。 凝結(jié)系數(shù) ? 凝結(jié)：吸附原子結(jié)合成對及其以后的過程 . ? 凝結(jié)系數(shù)： ?凝 結(jié) 速 率 凝 結(jié) 在 基 片 上 的 材 料 量淀 積 速 率 淀 積 的 材 料 量a0a p 1 px00a0 a 011S = mn1m v v e x p ( E / ) e x p ( / )vn1 S 1S = mn m nPkT E kT?????? ? ????????? ? ?、 核 的 飽 和 密 度 初 始 ： 每 個 穩(wěn) 定 核 （ 原 子 對 ） 的 捕 獲 面 積 為 ： （ ） 是 每 個 吸 附 原 子 遷 移 接 觸 到 的 吸 附 點 （ 并 成 核 ） 基 片 單 位 面 積 上 的 吸 附 點 數(shù) （ ） 第二講 第一章薄膜的形成 a10a210mn S nnm S 1 S 1 n .n 若 有 個 穩(wěn) 定 核 ， 其 捕 獲 面 積 為 ：顯 然 ， 單 位 面 積 上 非 捕 獲 區(qū) 為 ：??? ??????? ? ? ? ????2a20a00 10a0 Smnn AV 1 nnmn n 0 1 n 0nn n n e x p [ ( ) / ]mTn初 始 不 完 全 凝 結(jié) 區(qū) 域 ： 在 內(nèi) ， 成 穩(wěn) 定 核 的 成 核 速 率 為 ： 當(dāng) 穩(wěn) 定 核 密 度 達(dá) 到 飽 和 值 時 ， 由 此 可 見 ，P PXdISdddvE E kTv??????????? ? ?????? ? ? ?? ? ? ? ?? ? ?第二講 第一章薄膜的形成 P00 1 T e x p ( / ) S n , n , n , 物 理 解 釋 ：即 在 初 始 完 全 不 凝 結(jié) 的 情 況 下 ， 基 片 溫 度 升 高 時 ， 成 核 數(shù) 增 加 . 而 在 初 始 完 全 凝 結(jié) 的 情 況 下 ， 基 片 溫 度 升 高 時 ， 成 核 數(shù) 減 小 （ 但 穩(wěn) 定 核 線 度 變 大 ） . 證 明 如 下 ： PccE kTvm n R???????? ? ? ? ? ? ? ???????a1P120aPapm e x p ( / ) , vmm吸 附 原 子 遷 移 速 度 = cPxccccmv v E kTmnmR?????? ?
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